[發明專利]蔭罩、蔭罩的制造方法和顯示裝置的制造方法

有效

• 申請號: 201611256253.0
• 申請日: 2016-12-30
• 公開（公告）號: CN107119253B
• 公開（公告）日: 2020-05-19
• 發明（設計）人: 大河原健
• 申請（專利權）人: 株式會社日本顯示器
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322
• 代理人: 邸萬杰

1.一種蔭罩，其特征在于，包括：

設置在與成膜對象物相對的一側的第1樹脂膜；

形成有縫隙的、設置在所述第1樹脂膜的上方的金屬部；和

以覆蓋所述金屬部的上方的至少一部分的方式設置的第2樹脂膜，

所述第2樹脂膜設置在暴露于所述成膜材料的一側，

所述第2樹脂膜的表面被粗化，

所述第2樹脂膜比所述第1樹脂膜薄，

設置有：在所述金屬部的上方形成有所述第2樹脂膜的第1區域；在所述第1樹脂膜的上方形成有所述第2樹脂膜的第2區域；和僅形成有所述第2樹脂膜的第3區域，

所述第2區域設置在所述第1區域的外側，所述第3區域設置在所述第2區域的外側，

所述第3區域比所述第1區域和所述第2區域薄。

2.如權利要求1所述的蔭罩，其特征在于：

所述第2樹脂膜具有與要制作在和所述縫隙重疊的位置的圖案對應的開口部，以覆蓋所述第1樹脂膜和所述金屬部的方式形成。

3.如權利要求1所述的蔭罩，其特征在于：

所述第1樹脂膜具有與要制作在和所述縫隙重疊的位置的圖案對應的開口部，

所述第2樹脂膜以覆蓋所述金屬部的方式形成。

4.如權利要求1所述的蔭罩，其特征在于：

所述第2樹脂膜的表面通過照射激光被粗化。

5.如權利要求1所述的蔭罩，其特征在于：

所述第2樹脂膜的表面通過灰化處理被粗化。

6.一種蔭罩的制造方法，其特征在于，包括：

在基材之上形成第1樹脂膜的步驟；

在所述第1樹脂膜之上貼合設置有縫隙的金屬部的步驟；

除去形成在設置有所述縫隙的區域的一部分的所述第1樹脂膜的步驟；

以覆蓋所述金屬部、所述第1樹脂膜和所述基材的方式形成第2樹脂膜的步驟；

使所述第2樹脂膜的表面粗化的步驟；

在所述第2樹脂膜形成與要制作的圖案對應的開口部的步驟；和

除去所述基材的步驟。

7.一種顯示裝置的制造方法，其特征在于：

在基材之上形成第1樹脂膜的步驟；

在所述第1樹脂膜之上貼合設置有縫隙的金屬部的步驟；

除去形成在設置有所述縫隙的區域的一部分的所述第1樹脂膜的步驟；

以覆蓋所述金屬部、所述第1樹脂膜和所述基材的方式形成第2樹脂膜的步驟；

將所述第2樹脂膜的表面粗化的步驟；

在所述第2樹脂膜形成與要制作的圖案對應的開口部的步驟；和

除去所述基材來得到蔭罩的步驟；和

使用所述蔭罩在顯示面板內形成所述圖案的膜的步驟。