[發(fā)明專利]晶體參考面加工用X射線定向夾具和定向方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201611255893.X
• 申請(qǐng)日: 2016-12-30
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN106737176A
• 公開(kāi)（公告）日: 2017-05-31
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 徐俞;王建峰;徐科
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 蘇州納維科技有限公司
• 主分類號(hào): B24B41/06
• 分類號(hào): B24B41/06;B24B49/00;B24B7/22
• 代理公司: 南京利豐知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙)32256
• 代理人: 王鋒

1.一種晶體參考面加工用X射線定向夾具，其特征在于，包括：

可控傾斜臺(tái)，具有一支撐面，該支撐面相對(duì)水平面的傾斜角度可調(diào)；

夾具組件，安裝于所述可控傾斜臺(tái)上，對(duì)晶體進(jìn)行支撐和固定。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶體參考面加工用X射線定向夾具，其特征在于：所述夾具組件包括：

夾具底板，固定于所述支撐面上；

夾具頂板，與所述夾具底板上下設(shè)置，該夾具頂板與夾具底板之間可拆卸固定，所述夾具頂板和夾具底板之間形成一晶體固定槽，所述夾具頂板上開(kāi)設(shè)有與所述晶體固定槽連通的開(kāi)口，該開(kāi)口的大小滿足：晶體固定后其參考面位于所述夾具頂板的上方。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶體參考面加工用X射線定向夾具，其特征在于：所述可控傾斜臺(tái)包括上下間隔設(shè)置的上支撐板和下支撐板，所述上支撐板和下支撐板之間設(shè)置有萬(wàn)向球，所述上支撐板相對(duì)所述下支撐板傾角可變。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的晶體參考面加工用X射線定向夾具，其特征在于：所述上支撐板和下支撐板之間連接有第一調(diào)節(jié)螺釘和第二調(diào)節(jié)螺釘，轉(zhuǎn)動(dòng)該第一調(diào)節(jié)螺釘以調(diào)節(jié)上支撐板沿平行晶體固定槽延伸方向轉(zhuǎn)動(dòng)，轉(zhuǎn)動(dòng)第二調(diào)節(jié)螺釘以調(diào)節(jié)上支撐板沿垂直晶體固定槽延伸方向轉(zhuǎn)動(dòng)。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的晶體參考面加工用X射線定向夾具，其特征在于：所述上支撐板和下支撐板之間連接有至少一個(gè)鎖定螺釘，該鎖定螺釘鎖緊以實(shí)現(xiàn)上支撐板和下支撐板相對(duì)位置的固定。

6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的晶體參考面加工用X射線定向夾具，其特征在于：所述夾具底板的上表面形成有對(duì)晶體進(jìn)行支撐的第一V形凹槽。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的晶體參考面加工用X射線定向夾具，其特征在于：所述第一V形凹槽的支撐面上設(shè)有墊片，該墊片的硬度小于所述第一V形凹槽的支撐面材料以及晶體材料的硬度。

8.根據(jù)權(quán)利要求1或6所述的晶體參考面加工用X射線定向夾具，其特征在于：所述夾具頂板的下表面形成有對(duì)晶體頂面進(jìn)行限位的第二V形凹槽。

9.基于權(quán)利要求1至9任一所述的晶體參考面加工用X射線定向夾具的晶體參考面定向方法，其特征在于，包括步驟：

s1、將晶體支撐于夾具底板上；

s2、將X射線入射在晶體上，并通過(guò)探測(cè)器對(duì)反射的X射線進(jìn)行探測(cè)；

s3、粗調(diào)：轉(zhuǎn)動(dòng)晶體，并通過(guò)探測(cè)器獲取所需晶體參考面；

s4、將夾具頂板固定于夾具底板上方，并將晶體相對(duì)固定于晶體固定槽內(nèi)；

s5、細(xì)調(diào)：改變可控傾斜臺(tái)支撐面的傾斜角度，通過(guò)探測(cè)器進(jìn)一步修正晶體參考面位置，獲取標(biāo)準(zhǔn)晶體參考面。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的晶體參考面加工用X射線定向夾具的晶體參考面定位方法，其特征在于：還包括步驟：

s6、轉(zhuǎn)動(dòng)鎖定螺釘，實(shí)現(xiàn)上支撐板和下支撐板相對(duì)位置的固定。