[發明專利]一種等離子體處理裝置及其射頻濾波電路

在審

• 申請號: 201611254289.5
• 申請日: 2016-12-30
• 公開（公告）號: CN108270412A
• 公開（公告）日: 2018-07-10
• 發明（設計）人: 梁潔;崔強;葉如彬
• 申請（專利權）人: 中微半導體設備（上海）有限公司
• 主分類號: H03H1/02
• 分類號: H03H1/02;H01J37/32
• 代理公司: 上海信好專利代理事務所(普通合伙) 31249
• 代理人: 潘朱慧

本發明提供了一種射頻濾波電路和應用該射頻濾波電路的等離子體處理裝置，其中，所述射頻濾波電路包括，一級濾波器和二級濾波器，所述二級濾波器包括兩個或兩個以上的濾波器并行連接，所述一級濾波器通過一開關可選擇地和二級濾波器中的其中之一相連；所述射頻濾波電路還包括一加熱裝置及一直流電源，所述直流電源用于對所述加熱裝置進行加熱；所述一級濾波器和二級濾波器設置于所述加熱裝置及所述直流電源之間，用于過濾射頻信號自所述加熱裝置進入所述直流電源。利用本發明的射頻濾波電路可以大大降低調節難度，提高射頻濾波電路的準確性。

技術領域

本發明涉及射頻技術領域，尤其涉及一種能夠濾除多個射頻功率信號的射頻濾波電路以及包括該射頻濾波電路的等離子體處理裝置。

背景技術

在射頻技術領域中，通常需要濾除多余的射頻能量，為此，需要設置射頻濾波器。而且，在一些加工工藝如等離子體加工工藝中，通常會采用多個射頻頻率的射頻源來控制等離子體加工的不同特性。為了濾除多個不同射頻頻率的射頻能量，需要設置與需要濾除的射頻信號數量相等級數的濾波器，如圖1所示，當需要濾除的射頻信號數量為3個時，需要設置首尾串聯的三級濾波器,以實現對3個射頻信號的逐級濾除。由于各級濾波器之間進行調節時會互相影響，每多引入一級過濾器即會大大提高濾波器的調節設置難度，因此，本領域技術人員急需一種能夠降低調節難度的濾波電路。

發明內容

有鑒于此，本發明的第一方面提供了一種可靠的射頻濾波電路。包括，一級濾波器和二級濾波器，所述二級濾波器包括兩個或兩個以上的濾波器并行連接，所述一級濾波器通過一開關可選擇地和二級濾波器中的其中之一相連。

優選的，所述射頻濾波電路還包括一加熱裝置及一直流電源，所述直流電源用于對所述加熱裝置進行加熱；所述一級濾波器和二級濾波器設置于所述加熱裝置及所述直流電源之間，用于過濾射頻信號自所述加熱裝置進入所述直流電源。

所述射頻濾波電路還包括一直流電極及一直流電源，所述一級濾波器和二級濾波器設置于所述直流電極及所述直流電源之間，用于過濾射頻信號自所述直流電極進入所述直流電源。

優選的，所述一級濾波器和二級濾波器分別包括至少一組共模電感。

優選的，所述加熱裝置設置在所述一級濾波器的輸入端。

優選的，所述直流電源設置在所述二級濾波器的輸出端。

優選的，所述二級濾波器并聯的兩個或兩個以上的濾波器用于過濾不同頻率的射頻信號。

優選的，所述一級濾波器和二級濾波器分別用于過濾不同頻率的射頻信號。

優選的，所述一級濾波器用于過濾源射頻信號，所述二級濾波器用于過濾偏置射頻信號。

優選的，所述一級濾波器用于過濾偏置射頻信號，所述二級濾波器用于過濾源射頻信號。

優選的，所述第一濾波器用于過濾60MHZ的射頻信號，所述二級濾波器分別用于過濾2MHZ和13.56MHZ的射頻信號。

進一步的，本發明還公開了一種等離子體處理裝置，所述處理裝置包括：

一反應腔，一靜電卡盤設置在所述反應腔內；

射頻功率源，用于對所述反應腔提供至少兩個不同頻率的射頻信號；

所述靜電卡盤內部設置一加熱裝置，一直流電源用于對所述加熱裝置施加直流電源；

所述加熱裝置與所述直流電源之間設置一射頻濾波電路，所述射頻濾波電路包括上文所述的技術特征。

進一步的，一種等離子體處理裝置，所述處理裝置包括：

一反應腔，一靜電卡盤設置在所述反應腔內；