[發(fā)明專利]一種等離子體處理裝置及其射頻濾波電路

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201611254289.5
• 申請日: 2016-12-30
• 公開（公告）號: CN108270412A
• 公開（公告）日: 2018-07-10
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 梁潔;崔強(qiáng);葉如彬
• 申請（專利權(quán)）人: 中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）有限公司
• 主分類號: H03H1/02
• 分類號: H03H1/02;H01J37/32
• 代理公司: 上海信好專利代理事務(wù)所(普通合伙) 31249
• 代理人: 潘朱慧

1.一種射頻濾波電路，其特征在于，包括，一級濾波器和二級濾波器，所述二級濾波器包括兩個或兩個以上的濾波器并行連接，所述一級濾波器通過一開關(guān)可選擇地和二級濾波器中的其中之一相連。

2.如權(quán)利要求1所述的射頻濾波電路，其特征在于，所述射頻濾波電路還包括一加熱裝置及一直流電源，所述直流電源用于對所述加熱裝置進(jìn)行加熱；所述一級濾波器和二級濾波器設(shè)置于所述加熱裝置及所述直流電源之間，用于過濾射頻信號自所述加熱裝置進(jìn)入所述直流電源。

3.如權(quán)利要求1所述的射頻濾波電路，其特征在于，所述射頻濾波電路還包括一直流電極及一直流電源，所述一級濾波器和二級濾波器設(shè)置于所述直流電極及所述直流電源之間，用于過濾射頻信號自所述直流電極進(jìn)入所述直流電源。

4.如權(quán)利要求1所述的射頻濾波電路，其特征在于，所述一級濾波器和二級濾波器分別包括至少一組共模電感。

5.如權(quán)利要求2所述的射頻濾波電路，其特征在于，所述加熱裝置設(shè)置在所述一級濾波器的輸入端。

6.如權(quán)利要求3所述的射頻濾波電路，其特征在于，所述直流電極設(shè)置在所述一級濾波器的輸入端。

7.如權(quán)利要求2或3所述的射頻濾波電路，其特征在于，所述直流電源設(shè)置在所述二級濾波器的輸出端。

8.如權(quán)利要求1所述的射頻濾波電路，其特征在于，所述二級濾波器并聯(lián)的兩個或兩個以上的濾波器用于過濾不同頻率的射頻信號。

9.如權(quán)利要求1所述的射頻濾波電路，其特征在于，所述一級濾波器和二級濾波器分別用于過濾不同頻率的射頻信號。

10.如權(quán)利要求1所述的射頻濾波電路，其特征在于，所述一級濾波器用于過濾源射頻信號，所述二級濾波器用于過濾偏置射頻信號。

11.如權(quán)利要求1所述的射頻濾波電路，其特征在于，所述一級濾波器用于過濾偏置射頻信號，所述二級濾波器用于過濾源射頻信號。

12.如權(quán)利要求1所述的射頻濾波電路，其特征在于，所述第一濾波器用于過濾60MHZ的射頻信號，所述二級濾波器分別用于過濾2MHZ和13.56MHZ的射頻信號。

13.一種等離子體處理裝置，其特征在于，所述處理裝置包括：

一反應(yīng)腔，一靜電卡盤設(shè)置在所述反應(yīng)腔內(nèi)；

射頻功率源，用于對所述反應(yīng)腔提供至少兩個不同頻率的射頻信號；

所述靜電卡盤內(nèi)部設(shè)置一加熱裝置，一直流電源用于對所述加熱裝置施加直流電源；

所述加熱裝置與所述直流電源之間設(shè)置一射頻濾波電路，所述射頻濾波電路具有如權(quán)利要求1-12任一項所述的特征。

14.一種等離子體處理裝置，其特征在于，所述處理裝置包括：

一反應(yīng)腔，一靜電卡盤設(shè)置在所述反應(yīng)腔內(nèi)；

射頻功率源，用于對所述反應(yīng)腔提供至少兩個不同頻率的射頻信號；

所述靜電卡盤內(nèi)部設(shè)置一直流電極，一直流電源用于對所述直流電極施加直流電源；

所述直流電極與所述直流電源之間設(shè)置一射頻濾波電路，所述射頻濾波電路具有如權(quán)利要求1-12任一項所述的特征。