[發明專利]一種等離子體處理裝置及其射頻濾波電路

在審

• 申請號: 201611254289.5
• 申請日: 2016-12-30
• 公開（公告）號: CN108270412A
• 公開（公告）日: 2018-07-10
• 發明（設計）人: 梁潔;崔強;葉如彬
• 申請（專利權）人: 中微半導體設備（上海）有限公司
• 主分類號: H03H1/02
• 分類號: H03H1/02;H01J37/32
• 代理公司: 上海信好專利代理事務所(普通合伙) 31249
• 代理人: 潘朱慧

1.一種射頻濾波電路，其特征在于，包括，一級濾波器和二級濾波器，所述二級濾波器包括兩個或兩個以上的濾波器并行連接，所述一級濾波器通過一開關可選擇地和二級濾波器中的其中之一相連。

2.如權利要求1所述的射頻濾波電路，其特征在于，所述射頻濾波電路還包括一加熱裝置及一直流電源，所述直流電源用于對所述加熱裝置進行加熱；所述一級濾波器和二級濾波器設置于所述加熱裝置及所述直流電源之間，用于過濾射頻信號自所述加熱裝置進入所述直流電源。

3.如權利要求1所述的射頻濾波電路，其特征在于，所述射頻濾波電路還包括一直流電極及一直流電源，所述一級濾波器和二級濾波器設置于所述直流電極及所述直流電源之間，用于過濾射頻信號自所述直流電極進入所述直流電源。

4.如權利要求1所述的射頻濾波電路，其特征在于，所述一級濾波器和二級濾波器分別包括至少一組共模電感。

5.如權利要求2所述的射頻濾波電路，其特征在于，所述加熱裝置設置在所述一級濾波器的輸入端。

6.如權利要求3所述的射頻濾波電路，其特征在于，所述直流電極設置在所述一級濾波器的輸入端。

7.如權利要求2或3所述的射頻濾波電路，其特征在于，所述直流電源設置在所述二級濾波器的輸出端。

8.如權利要求1所述的射頻濾波電路，其特征在于，所述二級濾波器并聯的兩個或兩個以上的濾波器用于過濾不同頻率的射頻信號。

9.如權利要求1所述的射頻濾波電路，其特征在于，所述一級濾波器和二級濾波器分別用于過濾不同頻率的射頻信號。

10.如權利要求1所述的射頻濾波電路，其特征在于，所述一級濾波器用于過濾源射頻信號，所述二級濾波器用于過濾偏置射頻信號。

11.如權利要求1所述的射頻濾波電路，其特征在于，所述一級濾波器用于過濾偏置射頻信號，所述二級濾波器用于過濾源射頻信號。

12.如權利要求1所述的射頻濾波電路，其特征在于，所述第一濾波器用于過濾60MHZ的射頻信號，所述二級濾波器分別用于過濾2MHZ和13.56MHZ的射頻信號。

13.一種等離子體處理裝置，其特征在于，所述處理裝置包括：

一反應腔，一靜電卡盤設置在所述反應腔內；

射頻功率源，用于對所述反應腔提供至少兩個不同頻率的射頻信號；

所述靜電卡盤內部設置一加熱裝置，一直流電源用于對所述加熱裝置施加直流電源；

所述加熱裝置與所述直流電源之間設置一射頻濾波電路，所述射頻濾波電路具有如權利要求1-12任一項所述的特征。

14.一種等離子體處理裝置，其特征在于，所述處理裝置包括：

一反應腔，一靜電卡盤設置在所述反應腔內；

射頻功率源，用于對所述反應腔提供至少兩個不同頻率的射頻信號；

所述靜電卡盤內部設置一直流電極，一直流電源用于對所述直流電極施加直流電源；

所述直流電極與所述直流電源之間設置一射頻濾波電路，所述射頻濾波電路具有如權利要求1-12任一項所述的特征。