日韩在线一区二区三区,日本午夜一区二区三区,国产伦精品一区二区三区四区视频,欧美日韩在线观看视频一区二区三区 ,一区二区视频在线,国产精品18久久久久久首页狼,日本天堂在线观看视频,综合av一区

[發明專利]焊墊開口及熔絲焊接口的制作方法與焊墊開口結構有效

專利信息
申請號: 201611247351.8 申請日: 2016-12-29
公開(公告)號: CN108257934B 公開(公告)日: 2021-02-19
發明(設計)人: 張峰溢;李甫哲;邱僅鑫 申請(專利權)人: 聯華電子股份有限公司;福建省晉華集成電路有限公司
主分類號: H01L23/488 分類號: H01L23/488;H01L21/60
代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105 代理人: 陳小雯
地址: 中國臺*** 國省代碼: 臺灣;71
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 開口 焊接 制作方法 結構
【權利要求書】:

1.一種焊墊開口結構,包含:

介電層;

導電墊,設置于該介電層中;

掩模層,位于該介電層上;以及

焊墊開口,設置于該介電層和該掩模層中、位于該導電墊的正上方并且該導電墊由該焊墊開口暴露出來,其中該焊墊開口包含第一部分和第二部分,該第一部分的寬度大于該第二部分的寬度,且該第一部分在該第二部分之上,

其中該介電層包含氧化硅層和氮化硅層,該氮化硅層位于該氧化硅層上,

其中該焊墊開口的該第一部分位于該掩模層、該氮化硅層以及部分的氧化硅層中,

第二部分只由介電層中的氧化硅層構成,且第二部分的側壁、第一部分的側壁和氧化硅層的上表面共同形成一階梯輪廓。

2.如權利要求1所述的焊墊開口結構,其中該掩模層包含感光性聚酰亞胺。

3.如權利要求1所述的焊墊開口結構,另包含導電凸塊或打線,位于焊墊開口內并且電連結該導電墊。

4.一種焊墊開口結構,包含:

介電層;

導電墊,設置于該介電層中;

第一溝槽,設置于該介電層中;

第二溝槽,設置于該介電層中,該第二溝槽和該第一溝槽相通并且該第二溝槽位于該第一溝槽下方,該第一溝槽的寬度大于該第二溝槽的寬度;以及

感光性聚酰亞胺材料層,位于該介電層上,其中該感光性聚酰亞胺材料層延伸至該第一溝槽,使得該感光性聚酰亞胺材料層的側壁和該第二溝槽的側壁切齊,其中該感光性聚酰亞胺和該第二溝槽組成一焊墊開口,該導電墊由該焊墊開口暴露出來,

該介電層包含氧化硅層和氮化硅層,該氮化硅層位于該氧化硅層上,該第一溝槽位于該感光性聚酰亞胺材料層、該氮化硅層以及部分的氧化硅層中,

第二溝槽只由介電層中的氧化硅層構成,且第二溝槽的側壁、第一溝槽的側壁和氧化硅層的上表面共同形成一階梯輪廓。

5.如權利要求4所述的焊墊開口結構,另包含導電凸塊或打線,位于焊墊開口內并且電連結該導電墊。

6.一種焊墊開口及熔絲焊接口的制作方法,包含:

提供一介電層,其中一導電墊和一熔絲位于該介電層中;

形成一第一掩模,覆蓋該介電層,該第一掩模包含第一開口,該第一開口位于該導電墊的正上方;

進行第一次移除制作工藝,以該第一掩模為掩模,移除部分的該介電層以形成一第一溝槽,其中該導電墊位于該第一溝槽的正下方并且未從該第一溝槽暴露出來;

移除該第一掩模;

形成一第二掩模覆蓋該介電層,其中該第二掩模包含第二開口和第三開口,該第二開口暴露該第一溝槽,該第三開口位于該熔絲的正上方;

進行第二次移除制作工藝,以該第二掩模為掩模,移除該第一溝槽正下方的該介電層以形成一焊墊開口,并且同時移除該熔絲正上方的該介電層以形成一熔絲焊接口,其中該導電墊由該焊墊開口暴露出來,其中在該第二次移除制作工藝完成后,保留該第二掩模。

7.如權利要求6所述的焊墊開口及熔絲焊接口的制作方法,其中該第二開口對齊該第一溝槽。

8.如權利要求6所述的焊墊開口及熔絲焊接口的制作方法,其中該第二掩模延伸至該第一溝槽內,并且該第二開口位于該第一溝槽內。

9.如權利要求6所述的焊墊開口及熔絲焊接口的制作方法,其中該第二開口的寬度大于該第一溝槽的寬度,并且該第一溝槽由該第二開口暴露出來。

10.如權利要求6所述的焊墊開口及熔絲焊接口的制作方法,其中該第二掩模層包含感光性聚酰亞胺。

下載完整專利技術內容需要扣除積分,VIP會員可以免費下載。

該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息,商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于聯華電子股份有限公司;福建省晉華集成電路有限公司,未經聯華電子股份有限公司;福建省晉華集成電路有限公司許可,擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作,請聯系【客服

本文鏈接:http://www.szxzyx.cn/pat/books/201611247351.8/1.html,轉載請聲明來源鉆瓜專利網。

×

專利文獻下載

說明:

1、專利原文基于中國國家知識產權局專利說明書;

2、支持發明專利 、實用新型專利、外觀設計專利(升級中);

3、專利數據每周兩次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、內容包括專利技術的結構示意圖流程工藝圖技術構造圖

5、已全新升級為極速版,下載速度顯著提升!歡迎使用!

請您登陸后,進行下載,點擊【登陸】 【注冊】

關于我們 尋求報道 投稿須知 廣告合作 版權聲明 網站地圖 友情鏈接 企業標識 聯系我們

鉆瓜專利網在線咨詢

周一至周五 9:00-18:00

咨詢在線客服咨詢在線客服
tel code back_top
主站蜘蛛池模板: 亚洲国产欧美一区二区三区丁香婷| 国产伦精品一区二区三区无广告| 国产人伦精品一区二区三区| 精品国产18久久久久久依依影院| 日韩av在线中文| 国产精品美乳在线观看 | 国产91综合一区在线观看| 亚洲国产精品一区在线| 性生交大片免费看潘金莲| 国产一区欧美一区| 国产精品一区二区免费| 久久精品爱爱视频| 国产日韩麻豆| 日韩av在线播| 国产精品视频1区| 91精品久久久久久综合五月天 | 精品久久9999| 精品国产伦一区二区三区| 日本一区中文字幕| 国产在线不卡一区| 91精品一区| 久久影视一区二区| 亚洲欧美一卡| 四虎久久精品国产亚洲av| 日韩av在线网址| 欧美一区二区三区免费电影| 国产精品视频二区不卡| 国产视频一区二区不卡| 鲁一鲁一鲁一鲁一鲁一av| 欧美激情视频一区二区三区免费| 99久久久国产精品免费无卡顿| 久久黄色精品视频| 免费毛片**| 久热精品视频在线| 欧美精品一区二区三区视频| 蜜臀久久99精品久久久 | 久久久久久久久亚洲精品一牛| 久久夜靖品2区| 午夜影院黄色片| 综合色婷婷一区二区亚洲欧美国产 | 久久激情网站| 久久aⅴ国产欧美74aaa| 国产一区在线视频观看| 中文字幕区一区二| 国产在线精品一区二区在线播放| 日本少妇一区二区三区| 在线观看欧美日韩国产| 国产毛片精品一区二区| 午夜激情在线播放| 私人影院av| 久久免费精品国产| 欧美国产三区| 午夜av资源| 欧美xxxxxhd| 理论片午午伦夜理片在线播放| 一区不卡av| 欧美精品二区三区| 91久久国语露脸精品国产高跟| 国内精品久久久久影院日本| 欧美一区二区三区免费视频| 日韩一区二区三区福利视频| 日本美女视频一区二区三区| 国产精欧美一区二区三区久久久| 久久久久国产一区二区三区不卡| 午夜剧场a级片| 久久久精品99久久精品36亚| 中文字幕区一区二| 精品国产一二区| 国产精品日本一区二区不卡视频 | 国产中文字幕一区二区三区| 亚洲一区二区福利视频| 一区二区三区四区视频在线| 视频一区二区中文字幕| 欧美日本三级少妇三级久久| 日韩亚洲精品在线| 久久久精品a| 强制中出し~大桥未久10| 午夜裸体性播放免费观看| 免费看片一区二区三区| 日韩一区免费| 国产一卡二卡在线播放| 午夜国产一区| 免费91麻豆精品国产自产在线观看| 精品少妇一区二区三区免费观看焕 | 99re6国产露脸精品视频网站| 国产乱了高清露脸对白| 国产乱人伦偷精品视频免下载| 久99久视频| 国产日韩欧美三级| 欧美日本一二三区| 国产毛片精品一区二区| 欧美激情视频一区二区三区| 999国产精品999久久久久久| 强制中出し~大桥未久在线播放| 亚洲一二三四区| 性刺激久久久久久久久九色| 99视频一区| 日韩一区高清| 国产二区免费| 欧美3级在线| 一区二区三区欧美在线| xxxx国产一二三区xxxx| 国产精品欧美一区乱破| 天干天干天干夜夜爽av| 天堂av一区二区三区| 欧美激情视频一区二区三区免费 | 日本一区二区电影在线观看| 国产精品久久久久久久四虎电影| 精品久久久久久中文字幕| 国产精品久久久久久久久久软件| 性欧美精品动漫| 一区二区三区在线观看国产| 97视频久久久| 国产麻豆91欧美一区二区| 99久国产| 激情欧美一区二区三区| 精品少妇一区二区三区| 日本一区二区电影在线观看| 91久久精品久久国产性色也91| 91制服诱惑| 青苹果av| 午夜看大片| 国产一区不卡视频| 国产理论片午午午伦夜理片2021| 狠狠色狠狠色合久久伊人| 久久九精品| 国产在线视频二区| 91免费国产| 久久国产麻豆| 国模精品免费看久久久| 欧美久久精品一级c片| 久久久午夜爽爽一区二区三区三州| 国产一区二区在线观看免费| 精品国产乱码久久久久久虫虫| 91区国产| 国内揄拍国产精品| 日本激情视频一区二区三区| 国产一区二区三区大片| 国内少妇自拍视频一区| 中文字幕一级二级三级| 亚洲乱码av一区二区三区中文在线:| 蜜臀久久99静品久久久久久| 国产日韩精品一区二区| 夜夜躁狠狠躁日日躁2024| 日韩av中文字幕第一页| 亚洲一级中文字幕| 国产午夜精品一区理论片飘花| 99久久精品免费视频| 欧美一区二区三区精品免费| 国产在线一区观看| 日本护士hd高潮护士| 国产一区不卡视频| 亚洲精品国产91| 91久久精品国产91久久性色tv | 国产精品日韩视频| 夜夜嗨av一区二区三区中文字幕| 福利片91| 日韩精品1区2区3区| 免费欧美一级视频| 中文字幕一区2区3区| 日本精品一区在线| 国产1区2| 精品在线观看一区二区| 国产精品美乳在线观看| 婷婷午夜影院| 国产一区二区手机在线观看| 在线精品一区二区| 黄色91在线观看| 国产视频一区二区视频| 亚洲国产偷| 狠狠色噜噜狠狠狠狠2021天天| 欧美一区二区色| 亚洲四区在线| 午夜色大片| 精品久久久久久亚洲综合网 | 狠狠色丁香久久综合频道日韩| 日韩欧美激情| 欧美视屏一区| 亚洲va国产2019| 国产99久久九九精品| 久久精品视频3| xx性欧美hd| 国产日韩一区二区三区| 国产一级片网站| 国产69精品久久久久app下载| xxxxhdvideosex| 羞羞免费视频网站| 国产免费一区二区三区四区五区| 日韩av在线网址| 欧美激情片一区二区| 国产精品99在线播放| 精品国产亚洲一区二区三区| 香蕉av一区二区三区| 欧美一区二区三区在线免费观看| 中文在线一区二区三区| 亚洲乱在线| xxxx18hd护士hd护士| 日本久久不卡| 97人人模人人爽视频一区二区| 免费的午夜毛片| 欧美黄色一二三区| 在线观看黄色91| 激情久久一区二区| 午夜一区二区三区在线观看| 视频一区欧美| 日韩av免费电影| 国产一区在线视频播放| 一区二区三区欧美视频| 久久国产精品99国产精| 午夜影院伦理片| 午夜精品一二三区| 国产精品偷拍| 日韩av在线播放网址| 93精品国产乱码久久久| 国产一二三区免费| 三级午夜片| 日韩三区三区一区区欧69国产| 精品国产伦一区二区三区| 国产女人和拘做受视频免费| 福利片午夜| 日本高清不卡二区| 日韩精品一区二区三区不卡| 国产偷国产偷亚洲清高| 午夜av影视| 日韩欧美国产第一页| 国产在线一区观看| 国产1区2区3区中文字幕| 99爱国产精品| 伊人欧美一区| 亚洲精品久久久中文| 四季av中文字幕一区| 国产乱码精品一区二区三区中文| 亚洲国产精品一区二区久久,亚洲午夜| 欧美日韩国产在线一区二区三区 | 亚洲国产精品入口| 精品国产乱码一区二区三区a| 中文字幕一级二级三级| 精品久久久久久中文字幕大豆网| 91国偷自产一区二区介绍| 精品久久久久99| 午夜wwww| 欧美精品五区| 亚洲国产一区二区久久久777| 欧美一级免费在线视频| 国产高清在线一区| 久久久久久中文字幕|