[發(fā)明專(zhuān)利]氧化鎂氧化鋅靶坯的制造方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201611245666.9
• 申請(qǐng)日: 2016-12-29
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN108249911A
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-07-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 姚力軍;潘杰;相原俊夫;王學(xué)澤;王鉅寶
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 寧波江豐電子材料股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C04B35/453
• 分類(lèi)號(hào): C04B35/453;C04B35/626;C23C14/34
• 代理公司: 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11227
• 代理人: 高靜;吳敏

本發(fā)明提供一種氧化鎂氧化鋅靶坯的制造方法，包括：提供氧化鋅、氧化鎂混合粉末；將所述氧化鋅、氧化鎂混合粉末裝入模具后，對(duì)所述氧化鋅、氧化鎂混合粉末進(jìn)行熱壓燒結(jié)工藝，形成氧化鎂氧化鋅合金；將所述氧化鎂氧化鋅合金從所述模具中取出，獲得氧化鎂氧化鋅靶坯。相比常壓燒結(jié)或冷壓成型工藝的方案，本發(fā)明所述方案可以提高所形成氧化鎂氧化鋅靶坯的致密度以及微觀結(jié)構(gòu)均勻性、降低所述氧化鎂氧化鋅靶坯出現(xiàn)裂紋的概率，使所述氧化鎂氧化鋅靶坯的致密度可以達(dá)到98％及以上，且使所述氧化鎂氧化鋅靶坯具有均勻的色澤，從而提高所形成氧化鎂氧化鋅靶坯的性能，使所述氧化鎂氧化鋅靶坯具有穩(wěn)定的物理性能且滿(mǎn)足濺射靶材性能要求。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及靶材濺射領(lǐng)域，尤其涉及一種氧化鎂氧化鋅靶坯的制造方法。

背景技術(shù)

濺射技術(shù)是靶材濺射領(lǐng)域的常用工藝之一，隨著濺射技術(shù)的日益發(fā)展，濺射靶材在濺射技術(shù)中起到了越來(lái)越重要的作用。濺射靶材主要由靶坯和背板組成，其中，靶坯的質(zhì)量直接影響到了濺射靶材的成膜質(zhì)量。

氧化鋅(ZnO)是一種直接帶隙寬禁帶(3.37eV)Ⅱ-Ⅵ族化合物半導(dǎo)體材料，具有較大的激子束縛能(60meV)，且氧化鋅還是優(yōu)質(zhì)的壓電、氣敏及光電材料。由于氧化鋅在結(jié)構(gòu)、能帶、電學(xué)和光學(xué)方面具有諸多優(yōu)點(diǎn)，且氧化鋅薄膜的制作方法很多，因此氧化鋅在器件應(yīng)用方面具有廣闊的應(yīng)用范圍，可以被用來(lái)制造透明電極、壓敏電阻、太陽(yáng)能電池窗口、表面聲波器件、氣體傳感器、發(fā)光二極管等。

目前，氧化鎂氧化鋅靶坯已被廣泛應(yīng)用于金屬鍍膜、磁存儲(chǔ)材料等高強(qiáng)耐磨行業(yè)領(lǐng)域。為了保證濺射靶材的成膜質(zhì)量，不僅對(duì)氧化鎂氧化鋅靶坯的純度以及相對(duì)致密度有很高的要求，同時(shí)對(duì)氧化鎂氧化鋅靶坯的微觀結(jié)構(gòu)均勻性也有著很高的要求。

然而，現(xiàn)有技術(shù)所形成氧化鎂氧化鋅靶坯的性能有待提高。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明解決的問(wèn)題是提供一種氧化鎂氧化鋅靶坯的制造方法，以提高氧化鎂氧化鋅靶坯的性能。

為解決上述問(wèn)題，本發(fā)明提供一種氧化鎂氧化鋅靶坯的制造方法，包括：提供氧化鋅、氧化鎂混合粉末；將所述氧化鋅、氧化鎂混合粉末裝入模具后，對(duì)所述氧化鋅、氧化鎂混合粉末進(jìn)行熱壓燒結(jié)工藝，形成氧化鎂氧化鋅合金；將所述氧化鎂氧化鋅合金從所述模具中取出，獲得氧化鎂氧化鋅靶坯。

可選的，所述熱壓燒結(jié)工藝的步驟包括：將裝有所述氧化鋅、氧化鎂混合粉末的模具置于熱壓爐內(nèi)；對(duì)所述熱壓爐進(jìn)行抽真空至預(yù)設(shè)真空值；所述熱壓爐達(dá)到所述預(yù)設(shè)真空值后，對(duì)所述氧化鋅、氧化鎂混合粉末進(jìn)行熱壓燒結(jié)。

可選的，所述預(yù)設(shè)真空值小于100Pa。

可選的，對(duì)所述氧化鋅、氧化鎂混合粉末進(jìn)行熱壓燒結(jié)的步驟包括：以第一升溫速率對(duì)所述熱壓爐進(jìn)行第一升溫操作，使所述熱壓爐升溫至第一預(yù)設(shè)溫度，且在所述第一升溫操作過(guò)程中，保持所述模具受到的壓力為第一壓力值；所述熱壓爐升溫至所述第一預(yù)設(shè)溫度后，以第二升溫速率對(duì)所述熱壓爐進(jìn)行第二升溫操作，使所述熱壓爐升溫至第二預(yù)設(shè)溫度；所述熱壓爐升溫至所述第二預(yù)設(shè)溫度后，對(duì)所述模具進(jìn)行保溫操作；所述保溫操作結(jié)束后，以預(yù)設(shè)升壓速率對(duì)所述模具進(jìn)行升壓操作，直至所述模具受到的單位面積壓力達(dá)到第二壓力值；在所述第二預(yù)設(shè)溫度和第二壓力值下，對(duì)所述模具進(jìn)行保溫保壓操作。

可選的，所述第一升溫速率為5攝氏度/分鐘至10攝氏度/分鐘，所述第一預(yù)設(shè)溫度為900攝氏度至1000攝氏度。

可選的，所述第一壓力值為10噸至15噸。

可選的，所述第二升溫速率為3攝氏度/分鐘至5攝氏度/分鐘，所述第二預(yù)設(shè)溫度為1200攝氏度至1500攝氏度。

可選的，對(duì)所述模具進(jìn)行保溫操作的步驟中，保溫時(shí)間為1小時(shí)至2小時(shí)。

可選的，所述預(yù)設(shè)升壓速率為1噸/分鐘至5噸/分鐘，所述第二壓力值為20MPa至30MPa。