[發明專利]氧化鎂氧化鋅靶坯的制造方法

在審

• 申請號: 201611245666.9
• 申請日: 2016-12-29
• 公開（公告）號: CN108249911A
• 公開（公告）日: 2018-07-06
• 發明（設計）人: 姚力軍;潘杰;相原俊夫;王學澤;王鉅寶
• 申請（專利權）人: 寧波江豐電子材料股份有限公司
• 主分類號: C04B35/453
• 分類號: C04B35/453;C04B35/626;C23C14/34
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 高靜;吳敏

1.一種氧化鎂氧化鋅靶坯的制造方法，其特征在于，包括：

提供氧化鋅、氧化鎂混合粉末；

將所述氧化鋅、氧化鎂混合粉末裝入模具后，對所述氧化鋅、氧化鎂混合粉末進行熱壓燒結工藝，形成氧化鎂氧化鋅合金；

將所述氧化鎂氧化鋅合金從所述模具中取出，獲得氧化鎂氧化鋅靶坯。

2.如權利要求1所述的氧化鎂氧化鋅靶坯的制造方法，其特征在于，所述熱壓燒結工藝的步驟包括：將裝有所述氧化鋅、氧化鎂混合粉末的模具置于熱壓爐內；

對所述熱壓爐進行抽真空至預設真空值；

所述熱壓爐達到所述預設真空值后，對所述氧化鋅、氧化鎂混合粉末進行熱壓燒結。

3.如權利要求2所述的氧化鎂氧化鋅靶坯的制造方法，其特征在于，所述預設真空值小于100Pa。

4.如權利要求2所述的氧化鎂氧化鋅靶坯的制造方法，其特征在于，對所述氧化鋅、氧化鎂混合粉末進行熱壓燒結的步驟包括：以第一升溫速率對所述熱壓爐進行第一升溫操作，使所述熱壓爐升溫至第一預設溫度，且在所述第一升溫操作過程中，保持所述模具受到的壓力為第一壓力值；

所述熱壓爐升溫至所述第一預設溫度后，以第二升溫速率對所述熱壓爐進行第二升溫操作，使所述熱壓爐升溫至第二預設溫度；

所述熱壓爐升溫至所述第二預設溫度后，對所述模具進行保溫操作；

所述保溫操作結束后，以預設升壓速率對所述模具進行升壓操作，直至所述模具受到的單位面積壓力達到第二壓力值；

在所述第二預設溫度和第二壓力值下，對所述模具進行保溫保壓操作。

5.如權利要求4所述的氧化鎂氧化鋅靶坯的制造方法，其特征在于，所述第一升溫速率為5攝氏度/分鐘至10攝氏度/分鐘，所述第一預設溫度為900攝氏度至1000攝氏度。

6.如權利要求4所述的氧化鎂氧化鋅靶坯的制造方法，其特征在于，所述第一壓力值為10噸至15噸。

7.如權利要求4所述的氧化鎂氧化鋅靶坯的制造方法，其特征在于，所述第二升溫速率為3攝氏度/分鐘至5攝氏度/分鐘，所述第二預設溫度為1200攝氏度至1500攝氏度。

8.如權利要求4所述的氧化鎂氧化鋅靶坯的制造方法，其特征在于，對所述模具進行保溫操作的步驟中，保溫時間為1小時至2小時。

9.如權利要求4所述的氧化鎂氧化鋅靶坯的制造方法，其特征在于，所述預設升壓速率為1噸/分鐘5噸/分鐘，所述第二壓力值為20MPa至30MPa。

10.如權利要求4所述的氧化鎂氧化鋅靶坯的制造方法，其特征在于，對所述模具進行保溫保壓操作的步驟中，保溫保壓的時間為30分鐘至60分鐘。

11.如權利要求1所述的氧化鎂氧化鋅靶坯的制造方法，其特征在于，提供所述氧化鋅、氧化鎂混合粉末的步驟包括：提供氧化鋅粉末和氧化鎂粉末；采用混粉機對所述氧化鋅粉末和氧化鎂粉末進行機械混合，形成氧化鋅、氧化鎂混合粉末。

12.如權利要求11所述的氧化鎂氧化鋅靶坯的制造方法，其特征在于，所述氧化鋅粉末和氧化鎂粉末的質量比為77:23至97:3。

13.如權利要求11所述的氧化鎂氧化鋅靶坯的制造方法，其特征在于，所述機械混合的工藝為濕混工藝；

采用混粉機對所述氧化鋅粉末和氧化鎂粉末進行機械混合的步驟中，向所述混粉機中加入溶劑，所述氧化鋅粉末和氧化鎂粉末混合后形成混合漿料；

在所述機械混合后，所述制造方法還包括：將所述混合漿料置于干燥箱中進行干燥處理，并在干燥處理后進行篩分造粒處理。

14.如權利要求13所述的氧化鎂氧化鋅靶坯的制造方法，其特征在于，所述溶劑為工業酒精、純水或四氯化碳溶液。