[發(fā)明專利]一種銀鈦合金靶材防開裂軋制工藝

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201611243155.3
• 申請(qǐng)日: 2016-12-29
• 公開（公告）號(hào): CN106893989B
• 公開（公告）日: 2019-10-01
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張劍;方家芳;馬丹萍
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 昆山全亞冠環(huán)保科技有限公司
• 主分類號(hào): C23C14/35
• 分類號(hào): C23C14/35
• 代理公司: 北京科億知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11350
• 代理人: 湯東鳳

本發(fā)明屬于金屬軋制技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種銀鈦合金靶材防開裂軋制工藝，將銀和鈦進(jìn)行澆鑄鑄錠，然后通過一道以上的熱軋工序軋制成型；其中第一道熱軋時(shí)，退火溫度為200～800℃，保溫時(shí)間為1～3小時(shí)，軋制方向垂直于熔湯澆鑄方向，軋制變形量為10～30％；后道熱軋時(shí)，退火溫度為200～800℃，保溫時(shí)間為0.5～3小時(shí)，軋制方向垂直于熔湯澆鑄方向，軋制變形量為10～30％。本發(fā)明工藝能使銀鈦合金靶材熱軋的開裂率下降到0％，避免了軋制失敗帶來的報(bào)廢支出，節(jié)省了軋制成本。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及金屬軋制技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種銀鈦合金靶材防開裂軋制工藝。

背景技術(shù)

靶材，顧名思義，被“攻擊”的材料，通常應(yīng)用于鍍膜行業(yè)。一般的靶材，對(duì)純度、氣體元素、金相等有嚴(yán)格的要求，因此，在制備的過程中，具有一定的工藝技術(shù)難題。

對(duì)于合金靶，成分和微觀組織的均勻性尤其重要。在合金靶的熔煉過程中，某些元素容易揮發(fā)或偏析，導(dǎo)致鑄錠中合金元素含量成分比例差異或組織分布不均，進(jìn)而影響其加工成型性能。而銀鈦合金在鈦含量一定的范圍內(nèi)，其塑性變形性能相較純銀及固溶型銀合金差，由于鈦元素有合金強(qiáng)化作用，增加了材料的抗變形能力，大幅降低了塑性，增加了脆性。導(dǎo)致軋制過程中會(huì)出現(xiàn)各種問題，譬如，裂紋產(chǎn)生，軋胚側(cè)邊開裂，嚴(yán)重的鑄錠長(zhǎng)度方向開裂。由于銀鈦合金軋制易開裂，導(dǎo)致得料率低下，制作成本劇增。

因此，有必要提供一種銀鈦合金靶材防開裂軋制工藝配方來解決以上問題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的主要目的是為了提供一種銀鈦合金靶材防開裂軋制工藝。

本發(fā)明通過如下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)上述目的：

一種銀鈦合金靶材防開裂軋制工藝，將銀和鈦進(jìn)行澆鑄鑄錠，然后通過一道以上的熱軋工序軋制成型；其中第一道熱軋時(shí)，退火溫度為200～800℃，保溫時(shí)間為1～3小時(shí)，軋制方向垂直于熔湯澆鑄方向，軋制變形量為10～30％；后道熱軋時(shí)，退火溫度為200～800℃，保溫時(shí)間為0.5～3小時(shí)，軋制方向垂直于熔湯澆鑄方向，軋制變形量為10～30％。

具體的，所述銀鈦合金包含0.1～5wt％的鈦、0.5wt％以下的雜質(zhì)金屬和余量的銀。

具體的，所述第一道熱軋中，退火溫度為400～600℃，保溫時(shí)間為2～3小時(shí)。

具體的，所述第一道熱軋中，軋制變形量為10～25％。

具體的，后道熱軋中，退火溫度為300～500℃，保溫時(shí)間為0.5～2小時(shí)。

具體的，所述后道熱軋中，軋制變形量為20～30％。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明一種銀鈦合金靶材防開裂軋制工藝的有益效果在于：

本工藝能使銀鈦合金靶材熱軋的開裂率下降到0％，避免了軋制失敗帶來的報(bào)廢支出，節(jié)省了軋制成本。

具體實(shí)施方式

一種銀鈦合金靶材防開裂軋制工藝，將銀和鈦進(jìn)行澆鑄鑄錠，然后通過一道以上的熱軋工序軋制成型；其中第一道熱軋時(shí)，退火溫度為200～800℃，保溫時(shí)間為1～3小時(shí)，軋制方向垂直于熔湯澆鑄方向，軋制變形量為10～30％；后道熱軋時(shí)，退火溫度為200～800℃，保溫時(shí)間為0.5～3小時(shí)，軋制方向垂直于熔湯澆鑄方向，軋制變形量為10～30％。

其中軋制變形量＝(軋前厚度-軋后厚度)/軋前厚度。

本發(fā)明的防開裂原理為澆鑄鑄錠組織呈現(xiàn)中間為粗大等軸晶，模具接觸面為細(xì)小等軸晶，粗大等軸晶與細(xì)小等軸晶之間會(huì)出現(xiàn)過度的柱狀晶組織，且垂直于澆鑄方向，鈦元素會(huì)在銀中析出，所以軋制時(shí)控制軋制方向和軋制溫度及變形量，能有效防止合金出現(xiàn)開裂問題。

以下實(shí)施例用于說明本發(fā)明，但不用來限制本發(fā)明的范圍。