[發明專利]一種銀鈦合金靶材防開裂軋制工藝

有效

• 申請號: 201611243155.3
• 申請日: 2016-12-29
• 公開（公告）號: CN106893989B
• 公開（公告）日: 2019-10-01
• 發明（設計）人: 張劍;方家芳;馬丹萍
• 申請（專利權）人: 昆山全亞冠環保科技有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35
• 代理公司: 北京科億知識產權代理事務所(普通合伙) 11350
• 代理人: 湯東鳳

1.一種銀鈦合金靶材防開裂軋制工藝，其特征在于：將銀和鈦進行澆鑄鑄錠，然后通過一道以上的熱軋工序軋制成型；其中第一道熱軋時，退火溫度為200～800℃，保溫時間為1～3小時，軋制方向垂直于熔湯澆鑄方向，軋制變形量為10～30％；后道熱軋時，退火溫度為200～800℃，保溫時間為0.5～3小時，軋制方向垂直于熔湯澆鑄方向，軋制變形量為10～30％；所述銀鈦合金包含0.1～5wt％的鈦、0.5wt％以下的雜質金屬和余量的銀。

2.根據權利要求1所述的銀鈦合金靶材防開裂軋制工藝，其特征在于：所述第一道熱軋中，退火溫度為400～600℃，保溫時間為2～3小時。

3.根據權利要求1所述的銀鈦合金靶材防開裂軋制工藝，其特征在于：所述第一道熱軋中，軋制變形量為10～25％。

4.根據權利要求1所述的銀鈦合金靶材防開裂軋制工藝，其特征在于：后道熱軋中，退火溫度為300～500℃，保溫時間為0.5～2小時。

5.根據權利要求1所述的銀鈦合金靶材防開裂軋制工藝，其特征在于：所述后道熱軋中，軋制變形量為20～30％。