[發(fā)明專利]定位拍板機構(gòu)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201611235541.8 | 申請日: | 2016-12-28 |
| 公開(公告)號: | CN106653669B | 公開(公告)日: | 2019-04-30 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 陳建鋒;孫魯男 | 申請(專利權(quán))人: | 武漢華星光電技術(shù)有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/68 | 分類號: | H01L21/68;H01L51/56;G02F1/1333 |
| 代理公司: | 深圳市德力知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 44265 | 代理人: | 林才桂 |
| 地址: | 430070 湖北省武漢市*** | 國省代碼: | 湖北;42 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 定位 拍板 機構(gòu) | ||
本發(fā)明提供一種定位拍板機構(gòu),設(shè)置伺服馬達(2)驅(qū)動右旋螺桿(3),與右旋螺桿(3)旋合的右滑塊(6)在右旋螺桿(3)的帶動下沿直線導(dǎo)軌(5)運動,固定在右滑塊(6)與左滑塊(7)頂端的拍板導(dǎo)柱(8)接觸基板,通過控制伺服馬達(2)便能夠做出對基板的定位設(shè)定,從而能夠在基板運送過程中進行定位拍板,節(jié)省單件產(chǎn)品生產(chǎn)時間,提高生產(chǎn)效率,同時減少撞片、卡板、破片等問題的產(chǎn)生。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及顯示器件制程技術(shù)領(lǐng)域,尤其涉及一種定位拍板機構(gòu)。
背景技術(shù)
在顯示技術(shù)領(lǐng)域,液晶顯示器件(Liquid Crystal Display,LCD)與有機發(fā)光二極管顯示器件(Organic Light Emitting Diode,OLED)等平板顯示器件已經(jīng)逐步取代CRT顯示器。
LCD顯示器件是由一片薄膜晶體管陣列基板(Thin Film Transistor ArraySubstrate,TFT Array Substrate)與一片彩色濾光片(Color Filter,CF)基板貼合而成,且在TFT基板與CF基板之間灌入液晶,通過通電與否來控制液晶分子改變方向,將背光模組的光線折射出來產(chǎn)生畫面。
OLED具有自發(fā)光、驅(qū)動電壓低、發(fā)光效率高、響應(yīng)時間短、清晰度與對比度高、近180°視角、使用溫度范圍寬,可實現(xiàn)柔性顯示與大面積全色顯示等諸多優(yōu)點,被業(yè)界公認(rèn)為是最有發(fā)展?jié)摿Φ娘@示器件。OLED顯示器件通常包括:基板、設(shè)于基板上的陽極、設(shè)于陽極上的空穴注入層、設(shè)于空穴注入層上的空穴傳輸層、設(shè)于空穴傳輸層上的發(fā)光層、設(shè)于發(fā)光層上的電子傳輸層、設(shè)于電子傳輸層上的電子注入層、及設(shè)于電子注入層上的陰極,發(fā)光原理為半導(dǎo)體材料和有機發(fā)光材料在電場驅(qū)動下,通過載流子注入和復(fù)合導(dǎo)致發(fā)光。
由此可見,不論是LCD顯示器件還是OLED顯示器件,基板都是不可或缺的重要組成部分。
在實際的生產(chǎn)制造過程中,涉及到對基板進行刻蝕、清洗等多種制程,為配合上游設(shè)備運送基板至刻蝕設(shè)備或清洗設(shè)備,減少單件產(chǎn)品生產(chǎn)時間(Tact Time),基板的傳送速度會較快,而刻蝕設(shè)備或清洗設(shè)備為防止基板速度過快造成的基板偏移,會在其入料段設(shè)置定位拍板(Alignment)機構(gòu),確保基板進入刻蝕藥液或清洗藥液之前的方向性及傳送穩(wěn)定性,但現(xiàn)有的定位拍板機構(gòu)通常先將基板停止下來做定位,之后再做拍板,效率不夠高,且存在撞片、卡板、破片等問題。
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種定位拍板機構(gòu),能夠在基板運送過程中進行定位拍板,節(jié)省單件產(chǎn)品生產(chǎn)時間,提高生產(chǎn)效率,同時減少撞片、卡板、破片等問題的產(chǎn)生。
為實現(xiàn)上述目的,本發(fā)明提供一種定位拍板機構(gòu),包括基座、固定在所述基座一端的伺服馬達、連接所述伺服馬達并受伺服馬達驅(qū)動的右旋螺桿、連接所述右旋螺桿的左旋螺桿、沿所述基座的長度方向固定鋪設(shè)在基座上的直線導(dǎo)軌、設(shè)在直線導(dǎo)軌上并與右旋螺桿旋合的右滑塊、設(shè)在直線導(dǎo)軌上并與左旋螺桿旋合的左滑塊、以及分別固定在右滑塊與左滑塊頂端的沿基座的寬度方向平行排成直線的兩列拍板導(dǎo)柱。
所述伺服馬達與右旋螺桿通過第一連軸器連接,所述右旋螺桿與左旋螺桿通過第二連軸器連接。
所述直線導(dǎo)軌的側(cè)面設(shè)有極限開關(guān)用于限定右滑塊在直線導(dǎo)軌上的極限位置。
所述極限開關(guān)為光電感應(yīng)式開關(guān)。
所述定位拍板機構(gòu)還包括分別設(shè)置在基座四角的四個支撐柱、以及于拍板導(dǎo)柱下方固定在所述四個支撐柱上的防漏液蓋板。
所述防漏液蓋板透明。
所述防漏液蓋板的材質(zhì)為聚氯乙烯。
所述防漏液蓋板通過四顆螺絲固定在相應(yīng)的支撐柱上。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





