[發明專利]定位拍板機構有效
| 申請號: | 201611235541.8 | 申請日: | 2016-12-28 |
| 公開(公告)號: | CN106653669B | 公開(公告)日: | 2019-04-30 |
| 發明(設計)人: | 陳建鋒;孫魯男 | 申請(專利權)人: | 武漢華星光電技術有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/68 | 分類號: | H01L21/68;H01L51/56;G02F1/1333 |
| 代理公司: | 深圳市德力知識產權代理事務所 44265 | 代理人: | 林才桂 |
| 地址: | 430070 湖北省武漢市*** | 國省代碼: | 湖北;42 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 定位 拍板 機構 | ||
1.一種定位拍板機構,其特征在于,包括基座(1)、固定在所述基座(1)一端的伺服馬達(2)、連接所述伺服馬達(2)并受伺服馬達(2)驅動的右旋螺桿(3)、連接所述右旋螺桿(3)的左旋螺桿(4)、沿所述基座(1)的長度方向固定鋪設在基座(1)上的直線導軌(5)、設在直線導軌(5)上并與右旋螺桿(3)旋合的右滑塊(6)、設在直線導軌(5)上并與左旋螺桿(4)旋合的左滑塊(7)、以及分別固定在右滑塊(6)與左滑塊(7)頂端的沿基座(1)的寬度方向平行排成直線的兩列拍板導柱(8);
所述伺服馬達(2)與右旋螺桿(3)通過第一連軸器(11)連接,所述右旋螺桿(3)與左旋螺桿(4)通過第二連軸器(12)連接。
2.如權利要求1所述的定位拍板機構,其特征在于,所述直線導軌(5)的側面設有極限開關(51)用于限定右滑塊(6)在直線導軌(5)上的極限位置。
3.如權利要求2所述的定位拍板機構,其特征在于,所述極限開關(51)為光電感應式開關。
4.如權利要求1所述的定位拍板機構,其特征在于,還包括分別設置在基座(1)四角的四個支撐柱(9)、以及于拍板導柱(8)下方固定在所述四個支撐柱(9)上的防漏液蓋板(10)。
5.如權利要求4所述的定位拍板機構,其特征在于,所述防漏液蓋板(10)透明。
6.如權利要求5所述的定位拍板機構,其特征在于,所述防漏液蓋板(10)的材質為聚氯乙烯。
7.如權利要求4所述的定位拍板機構,其特征在于,所述防漏液蓋板(10)通過四顆螺絲固定在相應的支撐柱(9)上。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





