[發明專利]精細掩膜板及其制作方法

有效

• 申請號: 201611233974.X
• 申請日: 2016-12-28
• 公開（公告）號: CN106591776B
• 公開（公告）日: 2019-12-03
• 發明（設計）人: 沐俊應
• 申請（專利權）人: 武漢華星光電技術有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;C23C14/24
• 代理公司: 44265 深圳市德力知識產權代理事務所
• 代理人: 林才桂<國際申請>=<國際公布>=<進入

1.一種精細掩膜板的制作方法，其特征在于，包括如下步驟：

步驟1、提供第一掩膜(11)、張網機、及載板(50)，所述第一掩膜(11)上設有數個第一像素開孔(111)；所述張網機具有多個抓手(71)；利用張網機的抓手(71)將所述第一掩膜(11)固定在載板(50)上，確保所述第一掩膜(11)充分延展；

步驟2、提供基板(60)，在基板(60)上涂覆形成一層有機材料膜(12’)，對有機材料膜(12’)進行一次固化；

步驟3、對基板(60)與第一掩膜(11)進行對位，將基板(60)從有機材料膜(12’)一側與所述第一掩膜(11)進行貼合；對所述有機材料膜(12’)進行二次固化，將有機材料膜(12’)與所述第一掩膜(11)粘合在一起；

步驟4、將基板(60)與有機材料膜(12’)分離，此時，所述有機材料膜(12’)在所述第一掩膜(11)上露出所述第一掩膜(11)的邊緣區域，以在后續在該區域對所述第一掩膜(11)進行激光焊接；

步驟5、提供掩膜邊框(15)，將掩膜邊框(15)投入至張網機中；將載板(50)轉移到掩膜邊框(15)上方，對所述第一掩膜(11)與掩膜邊框(15)進行粗對位；

步驟6、通過張網機的抓手(71)固定所述第一掩膜(11)的兩端，將載板(50)與所述第一掩膜(11)分離；

步驟7、通過抓手(71)將第一掩模(11)翻轉，使得附著在所述第一掩模(11)上的有機材料膜(12’)位于最上方，然后對所述第一掩膜(11)與掩膜邊框(15)進行粗對位，再通過張網機對所述第一掩膜(11)與掩膜邊框(15)進行精確對位，通過激光焊接將所述第一掩膜(11)固定在掩膜邊框(15)上；

步驟8、利用激光設備在有機材料膜(12’)上激光燒蝕出數個第二像素開孔(121)，具體過程為，對激光設備的激光頭與第一掩膜(11)進行精確對位，將激光頭發出的激光光束定位到所述第一掩膜(11)的第一像素開孔(111)所露出的有機材料膜(12’)上，在有機材料膜(12’)上對應每一第一像素開孔(111)的區域內均激光燒蝕出一個以上的第二像素開孔(121)，形成第二掩膜(12)；

第二掩膜(12)上的第二像素開孔(121)的寬度w2小于第一像素開孔(111)的寬度w1，于真空蒸鍍過程中使得蒸鍍材料在第二像素開孔(121)邊緣處的入射角度Θ2，相較于單從第一像素開孔(111)邊緣處射出的入射角度Θ1更小，從而能夠減小鍍膜陰影區域；

所述步驟1中提供的載板(50)包括載板母體(51)、分別安裝在載板母體(51)兩相對側面上的兩彈性模塊(52)、分別設于所述兩彈性模塊(52)兩側的兩側部壓力件(53)、設于所述載板母體(51)上方與所述兩側部壓力件(53)活動連接的頂部固定板(54)、驅動所述側部壓力件(53)左右移動的壓力件驅動機構(55)、及驅動所述頂部固定板(54)上下移動的固定板驅動機構(56)；

每一側部壓力件(53)均包括一側面壓力板(531)、及分別垂直連接于側面壓力板(531)兩端的兩連接板(532)，從而整體呈U形；每一連接板(532)的上表面上均設有向下延伸的固定孔(535)；

所述載板母體(51)設有彈性模塊(52)的兩側面上，均在相應彈性模塊(52)的兩側分別設有對應相應側部壓力件(53)的兩連接板(532)的兩連接凹槽(511)；

所述頂部固定板(54)的下表面上對應每一固定孔(535)均設有一向下延伸的固定桿(545)。