[發明專利]清模夾具及清模系統有效
| 申請號: | 201611221404.9 | 申請日: | 2016-12-26 |
| 公開(公告)號: | CN108242402B | 公開(公告)日: | 2020-10-30 |
| 發明(設計)人: | 季剛;吳澤星;衛勇峰;林志杰 | 申請(專利權)人: | 無錫華潤華晶微電子有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/56 | 分類號: | H01L21/56 |
| 代理公司: | 北京博思佳知識產權代理有限公司 11415 | 代理人: | 林祥 |
| 地址: | 214028 江蘇省無錫*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 夾具 系統 | ||
1.一種清模夾具,其特征在于,包括:夾具本體、設置于所述夾具本體上的定位孔以及設置于所述夾具本體上的管腳,其中所述管腳自所述夾具本體的一側沿所述夾具本體的寬度方向凸伸而成,用于與注塑模具上的齒槽配合;在清模時,所述管腳嵌入所述齒槽內。
2.根據權利要求1所述的清模夾具,其特征在于,所述定位孔設置于所述夾具本體的與所述管腳一側相對的另一側。
3.根據權利要求1所述的清模夾具,其特征在于,所述定位孔的數目至少為3個。
4.根據權利要求1所述的清模夾具,其特征在于,還包括設置于所述夾具本體上的至少兩個用于穿過托針的讓位孔。
5.根據權利要求4所述的清模夾具,其特征在于,所述讓位孔設置于所述夾具本體的與所述管腳一側相對的另一側。
6.根據權利要求1所述的清模夾具,其特征在于,所述管腳至少為兩組,每組包括若干管腳;
相鄰兩組管腳之間的組間距離大于每組管腳中相鄰兩個管腳之間的組內距離;其中,
所述組間距離等于相鄰兩組管腳中前一組管腳中的末位管腳與后一組管腳中的首位管腳之間的距離。
7.根據權利要求1所述的清模夾具,其特征在于,所述管腳的長度小于0.6毫米,所述夾具本體的長度范圍為200毫米~250毫米。
8.一種清模系統,包括:注塑模具;其中,所述注塑模具包括注塑模具本體、設置于所述注塑模具本體上的定位針以及齒槽;其特征在于,所述清模系統還包括如權利要求1至7任一項所述的清模夾具。
9.根據權利要求8所述的清模系統,其特征在于,所述清模夾具的管腳放置于所述齒槽內,且所述管腳的體積與所述齒槽的容積相吻合。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





