[發明專利]真空泵及被用于其中的轉子及定子

有效

• 申請號: 201611217564.6
• 申請日: 2016-12-26
• 公開（公告）號: CN107044430B
• 公開（公告）日: 2021-10-15
• 發明（設計）人: 大立好伸;前島靖;高阿田勉
• 申請（專利權）人: 埃地沃茲日本有限公司
• 主分類號: F04D19/04
• 分類號: F04D19/04
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 張雨;劉林華

1.一種真空泵，

前述真空泵具備：轉子，前述轉子具備轉子軸和轉子翼，前述轉子翼至少經由圓環部與該轉子軸連接，并且在轉子軸向上形成多級；定子，形成有被配設于前述轉子翼間的定子翼；定子柱，插入有前述轉子軸；基部，支承前述定子柱，

形成有通過使前述轉子翼相對于前述定子翼相對旋轉來將氣體排出的渦輪分子泵排氣部，在前述渦輪分子泵排氣部的真空排氣方向下游側，形成有將粘性流區域的氣體排出、具有形成有螺旋槽的螺旋定子的排氣部，其特征在于，

前述轉子與前述定子柱之間的間隙的徑向長度比前述轉子與前述基部之間的間隙的軸向長度短，

前述定子在由于前述轉子軸向的撓曲變形而與前述轉子接觸時，與前述圓環部接觸。

2.如權利要求1所述的真空泵，其特征在于，

前述定子具備承接部，前述承接部被設置于前述定子翼的內周側，在由于前述轉子軸向的撓曲變形而與前述轉子接觸時，與前述圓環部接觸。

3.如權利要求2所述的真空泵，其特征在于，

前述承接部是前述定子的內周側邊緣部。

4.如權利要求3所述的真空泵，其特征在于，

前述內周側邊緣部形成為向前述轉子軸向的上級側傾斜。

5.如權利要求2所述的真空泵，其特征在于，

前述承接部是從前述定子的內周緣向前述轉子軸向的上級側突出地設置的突出部。

6.如權利要求2所述的真空泵，其特征在于，

前述承接部是從前述定子的內周緣向前述轉子軸向的下級側突出地設置的突出部。

7.如權利要求1所述的真空泵，其特征在于，

前述定子翼在由于前述轉子軸向的撓曲變形而與前述轉子接觸時，與前述圓環部接觸。

8.如權利要求1至7中任一項所述的真空泵，其特征在于，

前述定子通過加壓成型來制作。

9.如權利要求1至7中任一項所述的真空泵，其特征在于，

前述圓環部及前述定子至少被設置于各個最下級。

10.一種轉子，其特征在于，

被用于權利要求1至9中任一項所述的真空泵。

11.一種定子，其特征在于，

被用于權利要求1至9中任一項所述的真空泵。