[發(fā)明專利]厚度縮減裝置及厚度縮減方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201611216784.7
• 申請(qǐng)日: 2016-12-26
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN108237468B
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-08-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 牛寶華;蘇纮儀;莊榮祥
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 臺(tái)灣積體電路制造股份有限公司
• 主分類號(hào): B24B37/10
• 分類號(hào): B24B37/10;B24B37/04;G01N1/28
• 代理公司: 北京同立鈞成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11205
• 代理人: 馬雯雯;臧建明

本發(fā)明提供一種厚度縮減裝置及厚度縮減方法，厚度縮減裝置包括旋轉(zhuǎn)載臺(tái)及研磨輪。旋轉(zhuǎn)載臺(tái)具有承載面且適于以第一轉(zhuǎn)動(dòng)軸為軸旋轉(zhuǎn)，其中所述承載面適于承載樣品。研磨輪配置于所述承載面上方，其中所述研磨輪適于以垂直所述第一轉(zhuǎn)動(dòng)軸的第二轉(zhuǎn)動(dòng)軸為軸旋轉(zhuǎn)而研磨所述承載面上的所述樣品，以縮減所述樣品的至少局部區(qū)域的厚度。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明的實(shí)施例涉及一種厚度縮減裝置及厚度縮減方法，尤其涉及一種包括研磨輪的厚度縮減裝置及厚度縮減方法。

背景技術(shù)

為了提高半導(dǎo)體工藝的良率，需獨(dú)立地進(jìn)行產(chǎn)品測(cè)試。例如，可利用激光掃描顯微鏡(laser scanning microscope，LSM)等光學(xué)掃描顯微鏡對(duì)半導(dǎo)體組件的待檢測(cè)區(qū)域進(jìn)行影像獲取，以判斷半導(dǎo)體組件的制造質(zhì)量。

由于半導(dǎo)體組件及其待檢測(cè)區(qū)域的尺寸極小，因此光學(xué)掃描顯微鏡一般需使用固態(tài)浸沒(méi)式透鏡(solid immersion lens，SIL)來(lái)獲取其影像。此外，因半導(dǎo)體組件的材質(zhì)較難讓光學(xué)式掃描顯微鏡的掃描光線穿透，故需先對(duì)半導(dǎo)體組件的待檢測(cè)區(qū)域進(jìn)行厚度縮減，然后再利用光學(xué)掃描式顯微鏡檢測(cè)待檢測(cè)區(qū)域。然而，若經(jīng)厚度縮減的待檢測(cè)區(qū)域的面積不足，則難以將固態(tài)浸沒(méi)式透鏡置放于待檢測(cè)區(qū)域上。此外，若經(jīng)厚度縮減的待檢測(cè)區(qū)域的表面不夠平整，則固態(tài)浸沒(méi)式透鏡無(wú)法確實(shí)地靠合于待檢測(cè)區(qū)域的表面以準(zhǔn)確地進(jìn)行檢測(cè)。

發(fā)明內(nèi)容

一種厚度縮減裝置，包括旋轉(zhuǎn)載臺(tái)及研磨輪。旋轉(zhuǎn)載臺(tái)具有承載面且適于以第一轉(zhuǎn)動(dòng)軸為軸旋轉(zhuǎn)，其中所述承載面適于承載樣品。研磨輪配置于所述承載面上方，其中所述研磨輪適于以垂直所述第一轉(zhuǎn)動(dòng)軸的第二轉(zhuǎn)動(dòng)軸為軸旋轉(zhuǎn)而研磨所述承載面上的所述樣品，以縮減所述樣品的至少局部區(qū)域的厚度。

一種厚度縮減方法，包括：經(jīng)由旋轉(zhuǎn)載臺(tái)的承載面承載樣品，并驅(qū)動(dòng)所述旋轉(zhuǎn)載臺(tái)以第一轉(zhuǎn)動(dòng)軸為軸旋轉(zhuǎn)；驅(qū)動(dòng)所述承載面上方的研磨輪以垂直所述第一轉(zhuǎn)動(dòng)軸的第二轉(zhuǎn)動(dòng)軸為軸旋轉(zhuǎn)，而使所述研磨輪研磨所述承載面上的所述樣品，以縮減所述樣品的至少局部區(qū)域的厚度。

附圖說(shuō)明

圖1是本發(fā)明一實(shí)施例的厚度縮減裝置的示意圖；

圖2是本發(fā)明一實(shí)施例的厚度縮減方法流程圖；

圖3A示出經(jīng)厚度縮減后的樣品的俯視圖；

圖3B示出圖3A的樣品沿I-I’線的剖面圖；

圖4示出固態(tài)浸沒(méi)式透鏡靠合于圖3B的樣品；

圖5是本發(fā)明另一實(shí)施例的厚度縮減裝置的示意圖。

圖6A至圖6C示出圖5的研磨輪被替換。

附圖標(biāo)號(hào)說(shuō)明

50：樣品；

50a：待檢測(cè)區(qū)域；

52：背面；

60：透鏡；

100、200：厚度縮減裝置；

110、210：旋轉(zhuǎn)載臺(tái)；

110a：承載面；

120、220、320、420、520：研磨輪；

120a：研磨面；

230：平移載臺(tái)；

A1：第一轉(zhuǎn)動(dòng)軸；

A2：第二轉(zhuǎn)動(dòng)軸；

D：直徑；

T1、T2：厚度；

V1：第一方向；

V2：第二方向；