[發(fā)明專利]二硫化鉬薄膜條帶結(jié)構(gòu)可調(diào)太赫茲波濾波器

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201611206659.8
• 申請(qǐng)日: 2016-12-23
• 公開（公告）號(hào): CN106785254B
• 公開（公告）日: 2019-02-19
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 章樂;李九生
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國計(jì)量大學(xué)
• 主分類號(hào): H01P1/20
• 分類號(hào): H01P1/20
• 代理公司: 杭州求是專利事務(wù)所有限公司 33200
• 代理人: 張法高

本發(fā)明公開了一種二硫化鉬薄膜條帶結(jié)構(gòu)可調(diào)太赫茲波濾波器。它包括基底層、二氧化硅層、右端矩形二硫化鉬薄膜、條狀二硫化鉬薄膜、左端矩形二硫化鉬薄膜、第一圓形開槽、第二圓形開槽、第三圓形開槽、第四圓形開槽、第五半圓形開槽、第六半圓形開槽、第七圓形開槽、第八圓形開槽、第九圓形開槽、第十圓形開槽、信號(hào)輸入端、信號(hào)輸出端，通過調(diào)節(jié)施加在二硫化鉬薄膜層與基底層之間的偏置直流電壓，調(diào)節(jié)二硫化鉬薄膜的有效介電常數(shù)，實(shí)現(xiàn)太赫茲信號(hào)的可調(diào)濾波功能。本發(fā)明具有結(jié)構(gòu)簡單，尺寸小，響應(yīng)快，操控方法靈活易實(shí)現(xiàn)等優(yōu)點(diǎn)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及太赫茲波濾波器，尤其涉及一種二硫化鉬薄膜條帶結(jié)構(gòu)可調(diào)太赫茲波濾波器。

背景技術(shù)

太赫茲(THz)波是指頻率介于0.1～10THz(波長30～3mm)之間的電磁波，位于電磁波譜中的微波與可見光波之間。過去由于太赫茲波的產(chǎn)生和探測較為困難,人們對(duì)這一波段的特性知之甚少。近年來，隨著太赫茲源和探測技術(shù)的逐步成熟，太赫茲技術(shù)取得了快速的發(fā)展，在通信、成像、醫(yī)藥、生物、化學(xué)等領(lǐng)域展現(xiàn)出巨大的應(yīng)用價(jià)值。作為太赫茲應(yīng)用系統(tǒng)中的重要組成部分，太赫茲調(diào)制器、隔離器、偏振控制器、傳感器等功能器件必不可少。設(shè)計(jì)制備性能優(yōu)良，使用方便的太赫茲功能器件是當(dāng)今太赫茲研究領(lǐng)域的一大熱點(diǎn)。

如果將太赫茲用于通信方面,我們可獲得很高的傳輸速率,尤其是在衛(wèi)星通信領(lǐng)域。這就使得太赫茲通信能夠非常寬的帶寬進(jìn)行高保密衛(wèi)星通信。盡管由于高效的太赫茲發(fā)射源的缺乏,使其還不能在通信領(lǐng)域得商業(yè)化,但新型的發(fā)射裝置和發(fā)射源的實(shí)現(xiàn)必將打破這一局限。太赫茲濾波器是太赫茲通信和成像系統(tǒng)的重要功能部件之一，太赫茲濾波器的深入研巧對(duì)太赫茲科學(xué)和技術(shù)的應(yīng)用具有深遠(yuǎn)意義。隨著太赫茲濾波器研究的不斷深入,近年來陸續(xù)提出的基于二硫化鉬薄膜的太赫茲濾波器的具體實(shí)現(xiàn)結(jié)構(gòu),很大程度上促進(jìn)了應(yīng)用于太赫茲波段的濾波器的研究。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明為了克服現(xiàn)有技術(shù)不足，提供一種結(jié)構(gòu)簡單、濾波性能高的二硫化鉬薄膜條帶結(jié)構(gòu)可調(diào)太赫茲波濾波器。

為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明的技術(shù)方案如下：

二硫化鉬薄膜條帶結(jié)構(gòu)可調(diào)太赫茲波濾波器包括基底層、二氧化硅層、右端矩形二硫化鉬薄膜、條狀二硫化鉬薄膜、左端矩形二硫化鉬薄膜、第一圓形開槽、第二圓形開槽、第三圓形開槽、第四圓形開槽、第五半圓形開槽、第六半圓形開槽、第七圓形開槽、第八圓形開槽、第九圓形開槽、第十圓形開槽、信號(hào)輸入端、信號(hào)輸出端；基底層的上層為二氧化硅層，二氧化硅層的上層鋪有右端矩形二硫化鉬薄膜、條狀二硫化鉬薄膜、左端矩形二硫化鉬薄膜，條形二硫化鉬薄膜上設(shè)有第一圓形開槽、第二圓形開槽、第三圓形開槽、第四圓形開槽、第五半圓形開槽、第六半圓形開槽、第七圓形開槽、第八圓形開槽、第九圓形開槽、第十圓形開槽，第一圓形開槽、第二圓形開槽、第三圓形開槽、第四圓形開槽、第五半圓形開槽、第六半圓形開槽、第七圓形開槽、第八圓形開槽、第九圓形開槽、第十圓形開槽在條形二硫化鉬薄膜中部自左向右順序排列，右端矩形二硫化鉬薄膜的左端與條形二硫化鉬薄膜的右端相連，條形二硫化鉬薄膜的左端與左端矩形二硫化鉬薄膜的右端相連，右端矩形二硫化鉬薄膜的右端與二氧化硅層的右端相連，左端矩形二硫化鉬薄膜的左端與二氧化硅層的左端相連，左端矩形二硫化鉬薄膜的左端設(shè)有信號(hào)輸入端，右端矩形二硫化鉬薄膜的右端設(shè)有信號(hào)輸出端；太赫茲信號(hào)從信號(hào)輸入端輸入，從信號(hào)輸出端輸出。二硫化鉬薄膜層與基底分別連接偏置直流電壓源的兩極，調(diào)節(jié)外加偏置直流電壓源的電壓會(huì)改變二硫化鉬薄膜的有效介電常數(shù)，從而可以控制太赫茲波的傳輸，實(shí)現(xiàn)可調(diào)濾波器效果。