[發明專利]電弧等離子體廢氣處理裝置

有效

• 申請號: 201611191600.6
• 申請日: 2016-12-21
• 公開（公告）號: CN108607337B
• 公開（公告）日: 2021-07-30
• 發明（設計）人: 金翼年;姜成玉;安在閏;嚴敏欽
• 申請（專利權）人: 韓國三重核心株式會社
• 主分類號: B01D53/32
• 分類號: B01D53/32
• 代理公司: 北京銘碩知識產權代理有限公司 11286
• 代理人: 孫昌浩;李盛泉

本發明涉及電弧等離子體廢氣處理裝置，本發明的電弧等離子體廢氣處理裝置包括：等離子體發生部(1)，通過電弧放電產生火焰，通過所流入的工作氣體生成等離子體；反應部(5)，使從上述等離子體發生部(1)移送的等離子體與所流入的廢氣混合來進行處理；以及洗滌部(3)，通過對在上述反應部(5)進行處理的氣體進行洗滌，使溫度降低，上述等離子體發生部(1)通過多級旋渦結構體(200)以多級的方式向陽極部(100)供給工作氣體，上述洗滌部(3)通過多個冷卻模塊依次供給冷卻流體來執行冷卻。

技術領域

本發明涉及電弧等離子體廢氣處理裝置，更詳細地，為了多級供給向工作氣體而在多個電極的周圍配置多級旋渦結構體來可控制所形成的火焰的長度的電弧等離子體廢氣處理裝置。

背景技術

通常，等離子體為由具有電極性的電子及離子構成的第四物質狀態，整體上以負電荷數和正電荷數幾乎相同的密度分布，在電方面幾乎形成中性。等離子體分為如電弧等的溫度高的高溫等離子體和低溫等離子體，在低溫等離子體中，電子的能量雖高，但離子的能量低，因而實際感受到的溫度相當于室溫，大多借助直流、交流、超高頻、電子束等的電放電來生成。

在韓國公開專利10-2016-0043820號中，公開了利用這種等離子體來處理廢氣等的裝置結構。

通常，這種等離子體的發生方式之一為通過電弧放電來發生等離子體，在此情況下，廢氣處理裝置包括：等離子體發生部，通過電弧放電產生氣炬，即火焰，通過所流入的工作氣體來生成等離子體；反應部，使從上述等離子體發生部移送的等離子體與所流入的廢氣混合來進行處理；以及洗滌部，借助水等來對在上述反應部進行處理的氣體進行洗滌，使溫度降低。

在上述等離子體發生部中，為了在陰電極與陽電極之間發生等離子體，通過供給管以可使工作氣體做回旋運動的方式注入工作氣體，通過施加電源來產生電弧放電，從而形成射流等離子體。

另一方面，需借助陰電極與陽電極之間的電極間隔來產生火焰，在通過點火形成火焰后，需通過供給工作氣體來控制火焰長度，但以往技術采用通過單一旋渦結構物供給工作氣體的方式，因而存在所形成的火焰的長度多少受限制的缺點。

另一方面，需要一種在有效管理在反應部混合等離子體和所流入的廢氣后在通過洗滌部降低溫度之后排出的過程中所產生的熱量的同時可減少有害產物的方案。

專利文獻1：韓國公開專利10-2016-0043820A

發明內容

本發明用于解決如上所述的以往的問題，本發明的目的在于提供為了多級供給向陰電極與陽電極之間供給的工作氣體而在多個電極的周圍配置多級旋渦結構體來可控制所形成的火焰的長度的電弧等離子體廢氣處理裝置。

用于實現如上所述的目的的電弧等離子體廢氣處理裝置包括：等離子體發生部1，通過電弧放電產生火焰，通過所流入的工作氣體生成等離子體；反應部5，使從上述等離子體發生部1移送的等離子體與所流入的廢氣混合來進行處理；以及洗滌部3，通過對在上述反應部5進行處理的氣體進行洗滌，使溫度降低，上述等離子體發生部1通過多級旋渦結構體200以多級的方式向陽極部100供給工作氣體，上述洗滌部3通過多個冷卻模塊依次供給冷卻流體來執行冷卻。

上述等離子體發生部包括：陰極部10；陽極部100，向上述陰極部10的下部方向與上述陰極部10隔開配置；以及旋渦結構體200，以包圍上述陰極部10和陽極部100的方式配置，上述陽極部100包括：上部陽極110，以包圍上述陰極部10的下部的一部分的形態配置；以及下部陽極120，在與上述上部陽極110之間形成能夠供給工作氣體的空間的狀態下沿著上述上部陽極110的下部方向相結合，上述旋渦結構體200包括：第一旋渦結構體210，通過形成于上述上部陽極110的第一工作氣體噴嘴115來供給工作氣體；以及第二旋渦結構體220，通過形成于上述下部陽極120的第二工作氣體噴嘴124來供給工作氣體。