[發明專利]提高點火性能的低壓等離子體反應器

有效

• 申請號: 201611191598.2
• 申請日: 2016-12-21
• 公開（公告）號: CN108615667B
• 公開（公告）日: 2020-04-14
• 發明（設計）人: 金翼年;姜成玉;安在閏;嚴敏欽
• 申請（專利權）人: 韓國三重核心株式會社
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32
• 代理公司: 北京銘碩知識產權代理有限公司 11286
• 代理人: 孫昌浩;李盛泉

本發明涉及提高點火性能的低壓等離子體反應器。根據本發明，提供一種低壓等離子體反應器，上述低壓等離子體反應器包括：放電管(140)，由電介質構成；金屬鍍金部(150)，形成于上述放電管的內壁面；以及導波管(130)，向上述放電管引導微波，多個上述金屬鍍金部在上述放電管的內壁面隔開配置。

技術領域

本發明涉及等離子體反應器，更詳細地涉及利用微波(microwave)點火方式的低壓等離子體反應器。

背景技術

通常，等離子體為由具有電極性的電子及離子構成的第四物質狀態，整體上以負電荷數和正電荷數幾乎相同的密度分布，在電方面幾乎形成中性。等離子體分為如電弧等的溫度高的高溫等離子體和低溫等離子體，在低溫等離子體中，電子的能量雖高，但離子的能量低，因而實際感受到的溫度相當于室溫，大多借助直流、交流、超高頻、電子束等的電放電來生成。

在韓國公開專利10-2016-0043820號中，公開了利用這種等離子體來處理廢氣等的裝置結構。

通常，這種等離子體的發生方式之一為通過電弧放電來產生等離子體，在此情況下，等離子體洗滌器包括：火炬部，通過電弧放電產生火炬，即火焰；反應部，使由上述火炬部產生的火炬延伸來對所流入的處理氣體進行處理；以及洗滌部，借助水等來對在上述反應部進行處理的氣體進行洗滌，使溫度降低。

另一方面，等離子體的應用范圍根據等離子體的發生壓力而不同，由于可在低壓狀態下穩定地發生等離子體，因而可用于半導體部件的清洗、蝕刻及蒸鍍，大氣壓狀態的等離子體可用于表面清洗、環境污染物質處理、新材料合成及醫療器械等。作為低壓等離子體反應器，在韓國授權專利第10-1382003號中公開了利用微波點火方式的等離子體反應器。在利用微波的情況下，以在由電介質形成的放電管內所形成的電磁場集中能量形成點火，由于電介質受污染，因而微波的透射率變得不同，因此具有在電場變弱的情況下導致點火性能下降的問題。

發明內容

本發明的目的在于，提供利用微波點火方式的低壓等離子體反應器中的提高點火性能的等離子體反應器。

為了實現本發明的目的，本發明一實施方式的低壓等離子體反應器包括：放電管140，由電介質構成；金屬鍍金部150，形成于上述放電管的內壁面；以及導波管130，向上述放電管引導微波。

多個上述金屬鍍金部可在上述放電管的內壁面隔開配置。

多個上述金屬鍍金部可在上述放電管的內壁面沿著圓周方向隔開配置。

上述低壓等離子體反應器還可包括用于對上述金屬鍍金部進行冷卻的冷卻單元。

上述低壓等離子體反應器還可包括包圍上述放電管并進行支撐的支撐體160，上述冷卻單元設置于上述支撐體。

根據本發明，可全部實現在上述中記載的本發明的目的。具體地，本發明的低壓等離子體反應器包括在電介質放電管的內壁面所形成的金屬鍍金部，因而可借助從金屬鍍金部排出的電子來引導點火，從而提高點火性能。

附圖說明

圖1為示出本發明一實施例的低壓等離子體反應器的俯視圖。

圖2為示出圖1所示的低壓等離子體反應器的側視圖。

符號說明

100：低壓等離子體反應器

110：高頻振蕩器

120：供電部

130：導波管

140：放電管

150：金屬鍍金部

160：支撐體

具體實施方式