[發明專利]提高點火性能的低壓等離子體反應器有效
| 申請號: | 201611191598.2 | 申請日: | 2016-12-21 |
| 公開(公告)號: | CN108615667B | 公開(公告)日: | 2020-04-14 |
| 發明(設計)人: | 金翼年;姜成玉;安在閏;嚴敏欽 | 申請(專利權)人: | 韓國三重核心株式會社 |
| 主分類號: | H01J37/32 | 分類號: | H01J37/32 |
| 代理公司: | 北京銘碩知識產權代理有限公司 11286 | 代理人: | 孫昌浩;李盛泉 |
| 地址: | 韓國京畿*** | 國省代碼: | 暫無信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 提高 點火 性能 低壓 等離子體 反應器 | ||
1.一種低壓等離子體反應器,其特征在于,包括:
放電管(140),由電介質構成;
金屬鍍金部(150),形成于所述放電管的內壁面;以及
導波管(130),向所述放電管引導微波,
通過借助所述微波的誘導加熱,從所述金屬鍍金部向所述金屬鍍金部的前方區域排出電子,由此誘導點火來發生等離子體。
2.根據權利要求1所述的低壓等離子體反應器,其特征在于,多個所述金屬鍍金部在上述放電管的內壁面隔開配置。
3.根據權利要求2所述的低壓等離子體反應器,其特征在于,多個所述金屬鍍金部在上述放電管的內壁面沿著圓周方向隔開配置。
4.根據權利要求1所述的低壓等離子體反應器,其特征在于,還包括用于對所述金屬鍍金部進行冷卻的冷卻單元。
5.根據權利要求4所述的低壓等離子體反應器,其特征在于,
還包括包圍所述放電管并進行支撐的支撐體(160),
所述冷卻單元設置于所述支撐體。
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