[發(fā)明專利]溫度控制裝置以及渦輪分子泵

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201611191535.7
• 申請日: 2016-12-21
• 公開（公告）號: CN107191388B
• 公開（公告）日: 2021-06-18
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 小崎純一郎
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社島津制作所
• 主分類號: F04D19/04
• 分類號: F04D19/04;F04D29/58;F04D27/00
• 代理公司: 北京中原華和知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11019
• 代理人: 壽寧;張華輝

本發(fā)明提供能夠通過發(fā)出與反應(yīng)生成物堆積相關(guān)的警報而進行適當?shù)木S護，并且能夠?qū)崿F(xiàn)轉(zhuǎn)子壽命延長與維護期間延長的溫度控制裝置。溫度控制裝置(2)為渦輪分子泵的溫度控制裝置，所述渦輪分子泵包括：定子，設(shè)置于基底；泵轉(zhuǎn)子，相對于定子旋轉(zhuǎn)驅(qū)動；加熱器(5)，對基底進行加熱；基底溫度傳感器(6)，對基底(3)的溫度進行檢測；以及轉(zhuǎn)子溫度傳感器(8)，檢測泵轉(zhuǎn)子(4a)的轉(zhuǎn)子溫度(Tr)，所述溫度控制裝置包括：溫度控制部(21)，基于轉(zhuǎn)子溫度傳感器(8)的檢測值來控制加熱器(5)對基底(3)的加熱；以及顯示部(23)及輸出部(26)，在基底溫度傳感器(6)的檢測溫度為規(guī)定溫度(T2)以下的情況下發(fā)出警報。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種溫度控制裝置以及渦輪分子泵。

背景技術(shù)

渦輪分子泵被用作各種半導(dǎo)體制造裝置的排氣泵，如果在蝕刻工藝(etchingprocess)等中進行排氣，則反應(yīng)生成物會堆積于泵內(nèi)部。尤其容易堆積于泵下游側(cè)的氣體流路，如果轉(zhuǎn)子(rotor)與定子(stator)的間隙被堆積物填埋而反應(yīng)生成物堆積，則會產(chǎn)生各種不良情況。例如，轉(zhuǎn)子固接于定子而轉(zhuǎn)子無法旋轉(zhuǎn)，或轉(zhuǎn)子翼與定子側(cè)接觸而破損。因此，已知有一種對泵基底(base)部進行加熱而抑制反應(yīng)生成物的堆積的構(gòu)成的渦輪分子泵(例如參照專利文獻1：日本專利特開平10-266991號公報)。

專利文獻1中記載的渦輪分子泵包括：基底溫度設(shè)定單元，基于由旋轉(zhuǎn)翼溫度檢測單元求出的旋轉(zhuǎn)翼的溫度來設(shè)定基底部的目標溫度；溫差算出單元，算出基底溫度設(shè)定單元的目標溫度與基底部中實測到的溫度之間的差；以及溫度控制單元，基于溫差算出單元的輸出信號來控制基底部的加熱或冷卻。而且，在為了防止生成物的堆積而加熱基底部時，為了防止旋轉(zhuǎn)翼的溫度變得異常，通過基于由旋轉(zhuǎn)翼溫度檢測單元求出的旋轉(zhuǎn)翼的溫度來設(shè)定基底部的目標溫度，而實現(xiàn)旋轉(zhuǎn)翼的保護，且防止反應(yīng)生成物的堆積。

然而，即便在為了防止旋轉(zhuǎn)翼的溫度變得異常而設(shè)定了基底部的目標溫度的情況下，也難以完全地防止反應(yīng)生成物的堆積，從而無法避免反應(yīng)生成物的堆積。因此，會產(chǎn)生如下問題，即，隨著泵運轉(zhuǎn)時間的經(jīng)過而反應(yīng)生成物的堆積量增加，最終因反應(yīng)生成物而轉(zhuǎn)子固接于定子。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是通過提供一種溫度控制裝置以及渦輪分子泵，以解決隨著泵運轉(zhuǎn)時間的經(jīng)過而反應(yīng)生成物的堆積量增加，最終因反應(yīng)生成物而轉(zhuǎn)子固接于定子的問題。

本發(fā)明解決其技術(shù)問題是采用以下技術(shù)方案來實現(xiàn)的。

本發(fā)明的優(yōu)選實施方式的溫度控制裝置為渦輪分子泵的溫度控制裝置，所述渦輪分子泵包括：定子，設(shè)置于泵基底部；轉(zhuǎn)子，相對于所述定子旋轉(zhuǎn)驅(qū)動；加熱部，對所述泵基底部進行加熱；基底溫度檢測部，對所述泵基底部的溫度進行檢測；以及轉(zhuǎn)子溫度檢測部，檢測相當于所述轉(zhuǎn)子的溫度的物理量即溫度相當量，所述溫度控制裝置包括：加熱控制部，基于所述轉(zhuǎn)子溫度檢測部的檢測值來控制所述加熱部對所述泵基底部的加熱；以及通知部，在所述基底溫度檢測部的檢測溫度為規(guī)定閾值以下的情況下發(fā)出警報。

更優(yōu)選的實施方式中，所述加熱控制部以所述轉(zhuǎn)子溫度檢測部的檢測值為規(guī)定目標值的方式，控制所述加熱部對所述泵基底部的加熱。

本發(fā)明的優(yōu)選實施方式的溫度控制裝置為渦輪分子泵的溫度控制裝置，所述渦輪分子泵包括：定子，設(shè)置于泵基底部；轉(zhuǎn)子，相對于所述定子旋轉(zhuǎn)驅(qū)動；加熱部，對所述泵基底部進行加熱；以及轉(zhuǎn)子溫度檢測部，檢測相當于所述轉(zhuǎn)子的溫度的物理量即溫度相當量，所述溫度控制裝置以所述轉(zhuǎn)子溫度檢測部的檢測值為規(guī)定目標值的方式，控制所述加熱部對所述泵基底部的加熱。

更優(yōu)選的實施方式中，所述轉(zhuǎn)子溫度檢測部包括：強磁性體靶材，設(shè)置于所述轉(zhuǎn)子；以及傳感器，以相對于所述強磁性體靶材相向的方式配置，對所述強磁性體靶材的磁導(dǎo)率變化進行檢測，基于所述強磁性體靶材的居里點附近的磁導(dǎo)率變化，檢測所述轉(zhuǎn)子的溫度。