[發(fā)明專(zhuān)利]一種用于平面波導(dǎo)傳感器芯片的微流通道的制備方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201611187891.1
• 申請(qǐng)日: 2016-12-20
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN106807460A
• 公開(kāi)（公告）日: 2017-06-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 胡海鑫;吳金東
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 深圳太辰光通信股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): B01L3/00
• 分類(lèi)號(hào): B01L3/00
• 代理公司: 深圳新創(chuàng)友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司44223
• 代理人: 江耀純

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及平面波導(dǎo)傳感器芯片領(lǐng)域，具體涉及用于平面波導(dǎo)傳感器芯片的微流通道的制備方法。

背景技術(shù)

微流控芯片是指通過(guò)微細(xì)加工技術(shù)，比如單晶硅片的濕法刻蝕和硅橡膠壓印構(gòu)建的由儲(chǔ)液池、微反應(yīng)室、微通道等微功能元件構(gòu)成的微流系統(tǒng)芯片，在這種芯片上集成微反應(yīng)室可進(jìn)行復(fù)雜的反應(yīng)，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)樣本的快速分析，因而，該類(lèi)芯片已被廣泛用于生物，化學(xué)領(lǐng)域的微量檢測(cè)。微流通道的大小一般為微米級(jí)別，因此很大程度地解決了樣本量非常少比如體積一微升左右的樣品的處理。平面光波導(dǎo)生物傳感器的微流通道在采用聚二甲基硅氧烷(PDMS)為載體，制作出抗腐蝕性微流通道時(shí)，制備好的微流通道從模板上取出時(shí)容易破損影響后續(xù)使用。

發(fā)明內(nèi)容

為了解決現(xiàn)有技術(shù)中平面波導(dǎo)傳感器芯片的微流通道在脫模過(guò)程中容易破損的技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明提出一種用于平面波導(dǎo)傳感器芯片的微流通道的制備方法。

本發(fā)明的技術(shù)問(wèn)題通過(guò)以下的技術(shù)方案予以解決：一種用于平面波導(dǎo)傳感器芯片的微流通道的制備方法，包括以下步驟：S1、將圖案刻入到可拆卸模具的襯底上；S2、配制PDMS膠，注入到步驟S1中的所述模具，之后進(jìn)行脫泡、固化處理，形成所述微流通道；S3、拆卸所述模具的側(cè)壁，再將步驟S2中所述微流通道從所述襯底上剝離下來(lái)，得到所述微流通道。

具體地，步驟S1包括：

T1、選擇與所述圖案尺寸相匹配的所述襯底；

T2、將所述圖案刻入到所述襯底上獲取微流通道模板；

T3、將側(cè)壁與所述襯底組裝成上端開(kāi)口的所述模具。

具體地，在步驟T2中，包括在所述圖案上進(jìn)行勻膠處理，用于防止剝離所述微流通道時(shí)對(duì)所述微流通道模板的損傷。

進(jìn)一步地，所述勻膠處理包括以下：

C1、將AZ5214膠和異丙醇按體積比1:10-1:8混合均勻，靜置處理，取上清液進(jìn)行勻膠；

C2、將勻膠后的襯底進(jìn)行烘干處理。

更進(jìn)一步地，在步驟T2中包括：

D1、將光刻膠聚甲基丙烯酸甲酯旋涂在所述襯底上；

D2、將所述襯底烘干，之后進(jìn)行曝光處理，從而將圖案轉(zhuǎn)移到所述襯底上；

D3、將曝光后的所述襯底進(jìn)行顯影，再置于IPA中浸泡，之后用去離子水沖洗干凈，最后烘干。

具體地，其特征在于，在步驟S3中，所述側(cè)壁由至少兩個(gè)可拆卸部分構(gòu)成。

進(jìn)一步地，所述可拆卸部分之間、所述側(cè)壁與所述襯底是通過(guò)高溫膠帶固定。

具體地，在步驟S2中，所述PDMS膠是由PDMS膠前驅(qū)體和固化劑以10:1的質(zhì)量比構(gòu)成。

具體地，在步驟S2中，所述脫泡時(shí)間為4-10min；所述固化處理的溫度為80-130℃,時(shí)間為10-30min。

本發(fā)明還包括一種采用上述任一所述用于平面波導(dǎo)傳感器芯片的微流通道的制備方法在制備平面波導(dǎo)傳感器芯片的微流通道的應(yīng)用。

本發(fā)明與現(xiàn)有技術(shù)對(duì)比的有益效果包括：通過(guò)采取可拆卸模具制備微流通道模具，采用PDMS膠制備微流通道，取出制備好的微流通道時(shí)，先將模具的側(cè)壁從模具上拆卸下來(lái)，再將微流通道從襯底上剝離出來(lái)，保證了微流通道的完整性，方法簡(jiǎn)單實(shí)用。

在某些優(yōu)選的實(shí)施例中的有益效果還包括：在圖案上進(jìn)行勻膠處理，防止在剝離所述微流通道時(shí)對(duì)所述微流通道模板的損傷，延長(zhǎng)了微流通道模板的使用壽命。

附圖說(shuō)明

圖1是本發(fā)明實(shí)施例1中襯底的俯視圖。

圖2是本發(fā)明實(shí)施例1中襯底的主視圖。

圖3是本發(fā)明實(shí)施例2中微流通道模板的立體圖。

圖4本發(fā)明實(shí)施例2中模具的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖5是本發(fā)明實(shí)施例3中打孔后的微流通道結(jié)構(gòu)示意圖。

圖6是本發(fā)明實(shí)施例3中微流通道固定在平面波導(dǎo)傳感器芯片上的立體圖。

具體實(shí)施方式

下面對(duì)照附圖并結(jié)合優(yōu)選的實(shí)施方式對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步說(shuō)明。

需要說(shuō)明的是，PDMS是指聚二甲基硅氧烷，MIPK是指甲基異丙稀基甲酮、IPA是指異丙醇，這幾種溶液都為工業(yè)級(jí)別的溶液。

實(shí)施例1

一種用于平面波導(dǎo)傳感器芯片的微流通道的制備方法，包括以下步驟：

S1、將圖案刻入到可拆卸模具的襯底上；

S2、配制PDMS膠，注入到步驟S1中的所述模具，之后進(jìn)行脫泡、固化處理，形成所述微流通道；

S3、拆卸所述模具的側(cè)壁，再將步驟S2中所述微流通道從所述襯底上剝離下來(lái)，得到所述微流通道。