[發(fā)明專利]一種用于平面波導傳感器芯片的微流通道的制備方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201611187891.1 | 申請日： | 2016-12-20 |
| 公開（公告）號： | CN106807460A | 公開（公告）日： | 2017-06-09 |
| 發(fā)明（設計）人： | 胡海鑫;吳金東 | 申請（專利權）人： | 深圳太辰光通信股份有限公司 |
| 主分類號： | B01L3/00 | 分類號： | B01L3/00 |
| 代理公司： | 深圳新創(chuàng)友知識產(chǎn)權代理有限公司44223 | 代理人： | 江耀純 |
| 地址： | 518040 廣東省深圳*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 用于 平面 波導 傳感器 芯片 流通 制備 方法 | ||
1.一種用于平面波導傳感器芯片的微流通道的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：
S1、將圖案刻入到可拆卸模具的襯底上；
S2、配制PDMS膠，注入到步驟S1中的所述模具，之后進行脫泡、固化處理，形成所述微流通道；
S3、拆卸所述模具的側壁，再將步驟S2中所述微流通道從所述襯底上剝離下來，得到所述微流通道。
2.如權利要求1所述用于平面波導傳感器芯片的微流通道的制備方法，其特征在于，步驟S1包括：
T1、選擇與所述圖案尺寸相匹配的所述襯底；
T2、將所述圖案刻入到所述襯底上獲取微流通道模板；
T3、將側壁與所述襯底組裝成上端開口的所述模具。
3.如權利要求2所述用于平面波導傳感器芯片的微流通道的制備方法，其特征在于，在步驟T2中，包括在所述圖案上進行勻膠處理，用于防止剝離所述微流通道時PDMS膠對所述微流通道模板的損傷。
4.如權利要求3所述用于平面波導傳感器芯片的微流通道的制備方法，其特征在于，所述勻膠處理包括以下步驟：
C1、將AZ5214膠和異丙醇按體積比1:10-1:8混合均勻，靜置處理，取上清液進行勻膠；
C2、將勻膠后的襯底進行烘干處理。
5.如權利要求2所述用于平面波導傳感器芯片的微流通道的制備方法，其特征在于，在步驟T2中包括：
D1、將光刻膠聚甲基丙烯酸甲酯旋涂在所述襯底上；
D2、將所述襯底烘干，之后進行曝光處理，從而將圖案轉移到所述襯底上；
D3、將曝光后的所述襯底進行顯影，再置于IPA中浸泡，之后用去離子水沖洗干凈，最后烘干。
6.如權利要求1所述用于平面波導傳感器芯片的微流通道的制備方法，其特征在于，在步驟S3中，所述側壁由至少兩個可拆卸部分構成。
7.如權利要求6所述用于平面波導傳感器芯片的微流通道的制備方法，其特征在于，所述可拆卸部分之間、所述側壁與所述襯底是通過高溫膠帶固定。
8.如權利要求1所述用于平面波導傳感器芯片的微流通道的制備方法，其特征在于，所述襯底的結構包括上層和下層，所述上層的表面積小于所述下層的表面積；所述上層位于所述下層的中心位置，所述圖案刻入在所述上層。
9.如權利要求1所述用于平面波導傳感器芯片的微流通道的制備方法，其特征在于，在步驟S2中，所述脫泡時間為4-10min；所述固化處理的溫度為80-130℃,時間為10-30min。
10.一種采用上述權利要求1-9任一所述用于平面波導傳感器芯片的微流通道的制備方法在制備平面波導傳感器芯片的微流通道的應用。
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