[發(fā)明專利]用于硅片水平提拉的加熱裝置在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201611186237.9 | 申請日： | 2016-12-20 |
| 公開（公告）號： | CN106521622A | 公開（公告）日： | 2017-03-22 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 徐曉東;丁建寧;袁寧一 | 申請（專利權(quán)）人： | 常州大學(xué) |
| 主分類號： | C30B28/10 | 分類號： | C30B28/10;C30B29/06 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 213164 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 用于 硅片 水平 加熱 裝置 | ||
【說明書】：
下載完整專利技術(shù)內(nèi)容需要扣除積分，VIP會員可以免費(fèi)下載。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于常州大學(xué)，未經(jīng)常州大學(xué)許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作，請聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/201611186237.9/2.html，轉(zhuǎn)載請聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。
