[發明專利]用于硅片水平提拉的加熱裝置在審
| 申請號： | 201611186237.9 | 申請日： | 2016-12-20 |
| 公開（公告）號： | CN106521622A | 公開（公告）日： | 2017-03-22 |
| 發明（設計）人： | 徐曉東;丁建寧;袁寧一 | 申請（專利權）人： | 常州大學 |
| 主分類號： | C30B28/10 | 分類號： | C30B28/10;C30B29/06 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 213164 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 用于 硅片 水平 加熱 裝置 | ||
【權利要求書】：
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