[發明專利]光加工裝置

有效

• 申請號: 201611186186.X
• 申請日: 2016-12-20
• 公開（公告）號: CN106914703B
• 公開（公告）日: 2019-06-28
• 發明（設計）人: 中島智宏;中村涼真;杉浦康一
• 申請（專利權）人: 株式會社理光
• 主分類號: B23K26/362
• 分類號: B23K26/362;B23K26/082;B23K26/064;B23K26/70
• 代理公司: 北京紀凱知識產權代理有限公司 11245
• 代理人: 徐東升;趙蓉民

本發明涉及光加工裝置，其目的在于改善輸送部間歇性輸送加工對象物時發生的停止位置偏離造成的加工位置偏離。本發明的光加工裝置具有向加工區域(36)照射加工光(L)的光源(11)、向輸送方向(B)間歇輸送加工對象物(35)而使加工對象物上的被加工部分依次送入加工區域的輸送部(32)、以及在被加工部分停止在加工區域上的狀態下根據加工數據控制工光加工被加工部分的加工控制部(40)，進一步具有在被加工部分停止在加工區域上時檢測加工對象物上的檢測用標記(37)的位置的位置檢測部(33、34)，加工控制部(40)根據位置檢測部的檢測結果，補償輸送部輸送的加工對象物的停止位置偏離造成的加工位置偏離。

技術領域

本發明涉及光加工裝置。

背景技術

現有的光加工裝置在用加工光對長加工對象物的被加工部分進行加工時，間歇性輸送加工對象物，將加工對象物的被加工部分依次送入用加工光加工的加工區域，在加工對象物停止輸送期間中，對處于加工區域內的被加工部分進行光加工。

例如，專利文獻1(JP特2003-205384號公報)公開了一種激光加工裝置。該激光加工裝置對從保持卷繞成卷狀的長加工對象物的加工對象物供給部拉出加工對象物，并使得該加工對象物的被加工部分向激光加工區域移動，用激光對該加工對象物的被加工部分進行激光加工。該激光加工裝置用掃描振鏡(光掃描裝置)進行二維掃描，向加工區域(光掃描范圍)內的加工對象物的被加工部分照射光源發射的激光光束(加工光)，對加工對象物上的ITO薄膜實施圖案加工，或者對以金屬薄板形成的加工對象物本身實行切削加工。加工結束后，激光加工裝置進一步拉出加工對象物，使得下一被加工部分移動到加工區域，對該被加工部分進行激光加工。如此，激光加工裝置反復進行上述加工處理。

上述光加工裝置通過間歇性地輸送加工對象物，將加工對象物的被加工部分依次送入加工區域，并在加工對象物停止輸送期間，對進入加工區域的被加工對象部分進行光加工。但是，出于輸送裝置的輸送誤差，可能發生停止位置偏離問題，即加工對象物的停止位置偏離目標位置。如果發生這樣的停止位置偏位，受到加工光照射的被加工部分上的光照射位置便偏離需要加工的位置，從而發生加工位置偏離的問題。

發明內容

為了解決上述問題，本發明的光加工裝置，其中具有：光照射部，用于向加工區域照射該加工光，其中具備發射加工光的光源；輸送部，用于向規定的輸送方向，間歇性地輸送加工對象物，將該加工對象物的被加工面上的被加工部分依次送入所述加工區域；以及，加工控制部，用于在所述加工對象物上的被加工部分停止在所述加工區域上的狀態下，根據加工數據，實行加工控制，用所述光源照射的加工光加工該被加工部分，其特征在于，具有位置檢測部，用于在所述加工對象物上的被加工部分停止在所述加工區域上時，檢測設于該加工對象物上的檢測用標記的位置，所述加工控制部根據所述位置檢測部的檢測結果，補償所述輸送部輸送的加工對象物的停止位置偏離所造成的加工位置偏離。

本發明對于改善加工對象物的停止位置偏離所造成的加工位置偏離具有優異的效果。

附圖說明

圖1是實施方式的激光圖案加工裝置的主要部分的結構示意圖。

圖2是上述激光圖案加工裝置中的激光發振器的一例示意圖。

圖3是上述激光圖案加工裝置中的光掃描裝置的變形例的示意圖。

圖4是上述激光圖案加工裝置中的加工對象輸送部的一例示意圖。

圖5是上述激光圖案加工裝置中的加工對象輸送部的另一例示意圖。

圖6是上述激光圖案加工裝置中載體分別位于主掃描方向上不同位置時的激光光路的示意圖。

圖7是在載體未搭載掃描振鏡的變形例中載體分別位于主掃描方向上不同位置時的激光光路的示意圖。

圖8是實施方式的激光圖案加工裝置實行圖案加工處理的一例流程圖。