[發明專利]柔性OLED顯示面板的制作方法有效
| 申請號: | 201611185420.7 | 申請日: | 2016-12-20 |
| 公開(公告)號: | CN106711355B | 公開(公告)日: | 2018-07-10 |
| 發明(設計)人: | 余威 | 申請(專利權)人: | 武漢華星光電技術有限公司 |
| 主分類號: | H01L51/56 | 分類號: | H01L51/56;H01L51/00;H01L51/52 |
| 代理公司: | 深圳市德力知識產權代理事務所 44265 | 代理人: | 林才桂;聞盼盼 |
| 地址: | 430070 湖北省武漢市*** | 國省代碼: | 湖北;42 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 剛性基板 擋墻 有機材料薄膜 鐳射切割機 面板區域 襯底 制程 激光剝離 鐳射切割 制造成本 面涂布 制作 切割 剝離 分割 節約 | ||
本發明提供一種柔性OLED顯示面板的制作方法,通過在剛性基板上首先形成數圈無機擋墻,所述數圈無機擋墻在剛性基板上圍出數個面板區域,從而在所述剛性基板與數圈無機擋墻上整面涂布有機材料薄膜時,可以利用數圈無機擋墻的分割作用,直接在剛性基板的數個面板區域上分別形成數個柔性襯底,后續采用激光剝離技術將所述數個柔性襯底從剛性基板上剝離后,即可得到數個柔性OLED顯示面板,與現有技術相比,本發明省去了采用鐳射切割機臺對有機材料薄膜與剛性基板同時進行切割的制程,節省了鐳射切割機臺的購置成本同時節約了一道鐳射切割制程,從而降低了柔性OLED顯示面板的制造成本。
技術領域
本發明涉及顯示技術領域,尤其涉及一種柔性OLED顯示面板的制作方法。
背景技術
有機發光二極管顯示裝置(Organic Light Emitting Display,OLED)具有自發光、驅動電壓低、發光效率高、響應時間短、清晰度與對比度高、近180°視角、使用溫度范圍寬,可實現柔性顯示與大面積全色顯示等諸多優點,被業界公認為是最有發展潛力的顯示裝置。
OLED按照驅動方式可以分為無源矩陣型OLED(Passive Matrix OLED,PMOLED)和有源矩陣型OLED(Active Matrix OLED,AMOLED)兩大類,即直接尋址和薄膜晶體管矩陣尋址兩類。其中,AMOLED具有呈陣列式排布的像素,屬于主動顯示類型,發光效能高,通常用作高清晰度的大尺寸顯示裝置。
OLED器件通常包括:基板、設于基板上的陽極、設于陽極上的空穴注入層、設于空穴注入層上的空穴傳輸層、設于空穴傳輸層上的發光層、設于發光層上的電子傳輸層、設于電子傳輸層上的電子注入層、及設于電子注入層上的陰極。OLED器件的發光原理為半導體材料和有機發光材料在電場驅動下,通過載流子注入和復合導致發光。具體的,OLED器件通常采用氧化銦錫(ITO)電極和金屬電極分別作為器件的陽極和陰極,在一定電壓驅動下,電子和空穴分別從陰極和陽極注入到電子傳輸層和空穴傳輸層,電子和空穴分別經過電子傳輸層和空穴傳輸層遷移到發光層,并在發光層中相遇,形成激子并使發光分子激發,后者經過輻射弛豫而發出可見光。
基于OLED的平板顯示及照明領域近年來受到科研和學術界的廣泛關注。尤其是最近幾年以來,具有廣闊前景的柔性OLED顯示面板已經嶄露頭角,成為各大面板廠商競爭的焦點。
目前主流的柔性OLED顯示面板的制作方法是:以玻璃基板為載體,在整面玻璃基板上涂布一層聚酰亞胺(PI)膜,對PI膜進行固化,PI膜充當柔性基板,然后在固化的PI膜上制作水氧阻隔層,然后從水氧阻隔層往上依次制作薄膜晶體管(TFT)層、OLED器件層和薄膜封裝層,如此即制得柔性OLED顯示母板。通過切割將柔性OLED顯示母板制作成各柔性OLED顯示面板,因玻璃基板上附著有整面的PI膜,所以無法使用傳統的刀輪切割機進行切割,需要使用昂貴的鐳射切割機才能將玻璃基板和PI膜同時切開,切割完成后通過激光剝離(Laser lift off,LLO)機臺將PI膜與玻璃基板分離,即得到柔性OLED顯示面板。但是,上述制程中使用的鐳射切割機臺價格昂貴且能量均一性需要進行嚴格控制,從而增加了制造成本。
發明內容
本發明的目的在于提供一種柔性OLED顯示面板的制作方法,能夠節省鐳射切割機臺的購置成本同時節約一道鐳射切割制程,從而降低了柔性OLED顯示面板的制造成本。
為實現上述目的,本發明提供一種柔性OLED顯示面板的制作方法,包括如下步驟:
步驟1、提供一剛性基板,在所述剛性基板上形成間隔設置的數圈無機擋墻,所述數圈無機擋墻在所述剛性基板上圍出數個面板區域;
步驟2、在所述剛性基板與數圈無機擋墻上整面涂布有機材料薄膜,在數圈無機擋墻的分割作用下,所述有機材料薄膜上位于所述剛性基板的數個面板區域上的部分分別形成數個柔性襯底;
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L51-00 使用有機材料作有源部分或使用有機材料與其他材料的組合作有源部分的固態器件;專門適用于制造或處理這些器件或其部件的工藝方法或設備
H01L51-05 .專門適用于整流、放大、振蕩或切換且并具有至少一個電位躍變勢壘或表面勢壘的;具有至少一個電位躍變勢壘或表面勢壘的電容器或電阻器
H01L51-42 .專門適用于感應紅外線輻射、光、較短波長的電磁輻射或微粒輻射;專門適用于將這些輻射能轉換為電能,或者適用于通過這樣的輻射進行電能的控制
H01L51-50 .專門適用于光發射的,如有機發光二極管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料選擇





