[發(fā)明專利]柔性OLED顯示面板的制作方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201611185420.7
• 申請日: 2016-12-20
• 公開（公告）號: CN106711355B
• 公開（公告）日: 2018-07-10
• 發(fā)明（設計）人: 余威
• 申請（專利權）人: 武漢華星光電技術有限公司
• 主分類號: H01L51/56
• 分類號: H01L51/56;H01L51/00;H01L51/52
• 代理公司: 深圳市德力知識產(chǎn)權代理事務所 44265
• 代理人: 林才桂;聞盼盼

1.一種柔性OLED顯示面板的制作方法，其特征在于，包括如下步驟：

步驟1、提供一剛性基板(10)，在所述剛性基板(10)上形成間隔設置的數(shù)圈無機擋墻(20)，所述數(shù)圈無機擋墻(20)在所述剛性基板(10)上圍出數(shù)個面板區(qū)域(11)；

步驟2、在所述剛性基板(10)與數(shù)圈無機擋墻(20)上整面涂布有機材料薄膜(30)，在數(shù)圈無機擋墻(20)的分割作用下，所述有機材料薄膜(30)上位于所述剛性基板(10)的數(shù)個面板區(qū)域(11)上的部分分別形成數(shù)個柔性襯底(31)；

步驟3、在所述數(shù)個柔性襯底(31)上分別形成數(shù)個水氧阻隔層(40)，在數(shù)個水氧阻隔層(40)上分別從下到上依次制作薄膜晶體管層(50)與OLED器件層(60)，對所述薄膜晶體管層(50)與OLED器件層(60)進行封裝，形成位于所述OLED器件層(60)與水氧阻隔層(40)上的數(shù)個薄膜封裝層(70)，每個薄膜封裝層(70)包覆位于其下方的OLED器件層(60)與薄膜晶體管層(50)，從而在剛性基板(10)上形成分別位于數(shù)圈無機擋墻(20)內(nèi)的數(shù)個柔性OLED顯示面板(80)；

步驟4、采用激光剝離技術將所述數(shù)個柔性襯底(31)分別從所述剛性基板(10)上剝離，得到數(shù)個柔性OLED顯示面板(80)；

所述數(shù)圈無機擋墻(20)的材料包括氧化硅、氮化硅、及氮氧化硅中的至少一種。

2.如權利要求1所述的柔性OLED顯示面板的制作方法，其特征在于，所述剛性基板(10)為玻璃基板。

3.如權利要求1所述的柔性OLED顯示面板的制作方法，其特征在于，所述數(shù)圈無機擋墻(20)的材料為氧化硅，所述數(shù)圈無機擋墻(20)的制備方法為：提供玻璃膠，所述玻璃膠包括氧化硅與溶劑，采用絲網(wǎng)印刷工藝在所述剛性基板(10)上涂布數(shù)圈玻璃膠，加熱固化后得到數(shù)圈無機擋墻(20)。

4.如權利要求1所述的柔性OLED顯示面板的制作方法，其特征在于，所述步驟2中，所述有機材料薄膜(30)為聚酰亞胺薄膜。

5.如權利要求1所述的柔性OLED顯示面板的制作方法，其特征在于，所述柔性襯底(31)的厚度小于所述無機擋墻(20)的高度。

6.如權利要求1所述的柔性OLED顯示面板的制作方法，其特征在于，所述水氧阻隔層(40)的面積小于或者等于所述柔性襯底(31)的面積，同時大于所述OLED器件層(60)與薄膜晶體管層(50)的面積。

7.如權利要求1所述的柔性OLED顯示面板的制作方法，其特征在于，所述水氧阻隔層(40)與薄膜封裝層(70)分別包括層疊且交替設置的多個無機物層(41)與有機物層(42)。

8.如權利要求7所述的柔性OLED顯示面板的制作方法，其特征在于，所述無機物層(41)的材料包括氧化硅、氮化硅、及氮氧化硅中的至少一種；所述有機物層(42)的材料包括丙烯酸脂、六甲基二甲硅醚、聚丙烯酸酯、聚碳酸脂、及聚苯乙烯中的一種或多種。

9.如權利要求1所述的柔性OLED顯示面板的制作方法，其特征在于，所述柔性OLED顯示面板(80)包括柔性襯底(31)、在所述柔性襯底(31)上從下到上依次層疊設置的水氧阻隔層(40)、薄膜晶體管層(50)與OLED器件層(60)、以及設于所述OLED器件層(60)與水氧阻隔層(40)上的薄膜封裝層(70)，所述薄膜封裝層(70)包覆位于其下方的OLED器件層(60)與薄膜晶體管層(50)。