[發明專利]一種GaN基復合襯底的制備方法有效
| 申請號： | 201611184509.1 | 申請日： | 2016-12-20 |
| 公開（公告）號： | CN106531862B | 公開（公告）日： | 2019-03-29 |
| 發明（設計）人： | 汪青;張國義;童玉珍 | 申請（專利權）人： | 東莞市中鎵半導體科技有限公司 |
| 主分類號： | H01L33/32 | 分類號： | H01L33/32;H01L33/22;H01L33/00;H01L21/02 |
| 代理公司： | 廣州粵高專利商標代理有限公司 44102 | 代理人： | 羅曉林;楊桂洋 |
| 地址： | 523000 廣*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 gan 復合 襯底 制備 方法 | ||
【說明書】：
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