[發(fā)明專利]一種GaN基復(fù)合襯底的制備方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201611184509.1 | 申請日： | 2016-12-20 |
| 公開（公告）號： | CN106531862B | 公開（公告）日： | 2019-03-29 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 汪青;張國義;童玉珍 | 申請（專利權(quán)）人： | 東莞市中鎵半導(dǎo)體科技有限公司 |
| 主分類號： | H01L33/32 | 分類號： | H01L33/32;H01L33/22;H01L33/00;H01L21/02 |
| 代理公司： | 廣州粵高專利商標代理有限公司 44102 | 代理人： | 羅曉林;楊桂洋 |
| 地址： | 523000 廣*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 gan 復(fù)合 襯底 制備 方法 | ||
【權(quán)利要求書】：
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