[發明專利]可更換子板的探針卡及其使用方法

在審

• 申請號: 201611183663.7
• 申請日: 2016-12-20
• 公開（公告）號: CN107015035A
• 公開（公告）日: 2017-08-04
• 發明（設計）人: 張嘉泰
• 申請（專利權）人: 旺矽科技股份有限公司
• 主分類號: G01R1/073
• 分類號: G01R1/073
• 代理公司: 北京紀凱知識產權代理有限公司11245
• 代理人: 關暢,王燕秋

技術領域

本發明與探針卡有關，特別是指一種可更換子板的探針卡及其使用方法。

背景技術

請參閱中國臺灣專利編號577988的專利內容，所述專利所提供的探針卡主要包含有一母板、一設于母板底面且設有探針的探針頭，以及一設于母板頂面的子板，母板的頂面設有多個用于與測試機電性連接的測試接點，通過母板及子板的內部電路以及設于母板及子板的電子元件所構成的處理電路，各測試接點分別與探針電性連接。此種探針卡中，可讓處理電路的至少部分電子元件設于所述子板，以解決無子板的探針卡可供測試接點及處理電路設置的面積不足的問題。

隨著現今電子產品的電子元件運作條件越趨高頻，探針卡的性能需求也越趨高頻化，探針卡必須能在受測的電子元件與測試機之間有效傳輸高頻測試信號，如此方能準確地反應出測試結果。然而，習用的如前述具有子、母板的探針卡沒有符合高頻測試需求的設計，因此仍有待改進。

發明內容

針對上述問題，本發明的主要目的在于提供一種可更換子板的探針卡，可符合高頻測試的需求。

為達到上述目的，本發明所提供的一種可更換子板的探針卡，其特征在于包含有：一母板，具有朝向相反方向的一上表面及一下表面、多個設于所述上表面的電性接點、一子板對應區，以及一位于所述子板對應區內的探針區，所述各電性接點將所述母板的上表面區分出一鄰接所述母板一周緣的第一測試區、位于所述子板對應區與所述第一測試區之間的至少一第二測試區，以及位于所述子板對應區內的至少一中介體連接區，所述母板的電性接點包含有多個位于所述第一測試區的第一測試接點、多個位于所述第二測試區的第二測試接點，以及多個位于所述中介體連接區的中介體連接點；一子板，設有至少一電子元件，所述子板具有朝向相反方向的一上表面及一下表面，所述子板的下表面具有至少一中介體連接區，所述子板的中介體連接區設有多個中介體連接點；至少一中介體，連接所述母板的中介體連接點及所述子板的中介體連接點，使得所述子板以其下表面朝向所述母板的上表面且位置對應所述子板對應區地設置于所述母板上方，所述各第一測試接點及第二測試接點其中一部分與所述母板的中介體連接點電性連接并通過所述中介體與所述子板電性連接；一探針頭，設于所述母板的下表面，所述探針頭設有位置對應于所述探針區的多個探針，各所述探針與所述各第一測試接點及第二測試接點至少其中之一電性連接，部分的所述探針通過所述母板及所述中介體與所述子板電性連接。

由此，各第一測試接點及第二測試接點其中一部分能先將測試信號傳送至子板，以使測試信號經由子板上的電子元件處理后再傳送至探針；而各第一測試接點及第二測試接點中的另一部分則可將測試信號不經由子板直接傳送至探針，未經子板的信號傳送路徑較短，可使測試信號受到較少的電磁干擾，因此適用于傳送高頻信號。此外，各第二測試接點比各第一測試接點更靠近子板及各探針，因此經由第二測試接點的信號傳送路徑也會較短，尤其是未與子板電性連接的第二測試接點更可符合高頻測試需求。

上述本發明的技術方案中，所述母板的第二測試區及中介體連接區共同圍繞所述探針區。

所述母板具有多個所述第二測試區及多個所述中介體連接區，各所述中介體連接區位于二所述第二測試區之間。由此，所述第二測試區與所述探針區之間不受中介體連接區分隔開，使得第二測試接點更靠近子板及探針，因此更縮短信號傳送路徑，探針甚至可直接焊接于所述母板下表面位置對應于第二測試區的電性接點，不但不會受到所述母板下表面位置對應于中介體連接區的電性接點影響，也不會增加布針復雜度，更可縮短信號傳送路徑。

所述母板具有位于所述探針區的二相對側的二所述第二測試區，以及位于所述探針區的另二相對側的二所述中介體連接區，所述母板能定義出一實質上通過各所述第二測試區中心的第一假想直線以及一實質上垂直于所述第一假想直線的第二假想直線，所述第二假想直線實質上通過所述母板的各所述中介體連接區中心。換言之，相鄰的第二測試區與中介體連接區的中心位置約相差90度，如此設計使得所述母板的電性接點分布得更為簡潔，不但可提高空間利用性，且可降低布針復雜度。

所述母板具有一將其第二測試區及中介體連接區與所述第一測試區分隔開的中間區。如此設計使得所述母板的電性接點分布得更為簡潔、降低布針復雜度，并可供電子元件或其他電性接點設于所述中間區。