[發明專利]可更換子板的探針卡及其使用方法

在審

• 申請號: 201611183663.7
• 申請日: 2016-12-20
• 公開（公告）號: CN107015035A
• 公開（公告）日: 2017-08-04
• 發明（設計）人: 張嘉泰
• 申請（專利權）人: 旺矽科技股份有限公司
• 主分類號: G01R1/073
• 分類號: G01R1/073
• 代理公司: 北京紀凱知識產權代理有限公司11245
• 代理人: 關暢,王燕秋

1.一種可更換子板的探針卡，其特征在于包含有：

一母板，具有朝向相反方向的一上表面及一下表面、多個設于所述上表面的電性接點、一子板對應區，以及一位于所述子板對應區內的探針區，所述各電性接點將所述母板的上表面區分出一鄰接所述母板一周緣的第一測試區、位于所述子板對應區與所述第一測試區之間的至少一第二測試區，以及位于所述子板對應區內的至少一中介體連接區，所述母板的電性接點包含有多個位于所述第一測試區的第一測試接點、多個位于所述第二測試區的第二測試接點，以及多個位于所述中介體連接區的中介體連接點；

一子板，設有至少一電子元件，所述子板具有朝向相反方向的一上表面及一下表面，所述子板的下表面具有至少一中介體連接區，所述子板的中介體連接區設有多個中介體連接點；

至少一中介體，連接所述母板的中介體連接點及所述子板的中介體連接點，使得所述子板以其下表面朝向所述母板的上表面且位置對應所述子板對應區地設置于所述母板上方，所述各第一測試接點及第二測試接點其中一部分與所述母板的中介體連接點電性連接并通過所述中介體與所述子板電性連接；

一探針頭，設于所述母板的下表面，所述探針頭設有位置對應于所述探針區的多個探針，各所述探針與所述各第一測試接點及第二測試接點至少其中之一電性連接，部分的所述探針通過所述母板及所述中介體與所述子板電性連接。

2.如權利要求1所述的可更換子板的探針卡，其特征在于：所述母板的第二測試區及中介體連接區共同圍繞所述探針區。

3.如權利要求2所述的可更換子板的探針卡，其特征在于：所述母板具有多個所述第二測試區及多個所述中介體連接區，各所述中介體連接區位于二所述第二測試區之間。

4.如權利要求3所述的可更換子板的探針卡，其特征在于：所述母板具有位于所述探針區的二相對側的二所述第二測試區，以及位于所述探針區的另二相對側的二所述中介體連接區，所述母板能定義出一實質上通過各所述第二測試區中心的第一假想直線以及一實質上垂直于所述第一假想直線的第二假想直線，所述第二假想直線實質上通過所述母板的各所述中介體連接區中心。

5.如權利要求2所述的可更換子板的探針卡，其特征在于：所述母板具有一將其第二測試區及中介體連接區與所述第一測試區分隔開的中間區。

6.如權利要求1所述的可更換子板的探針卡，其特征在于：所述子板具有一位置對應所述探針區的電子元件區，以及位于所述電子元件區外圍的多個所述中介體連接區，所述至少一電子元件設于所述電子元件區，所述母板具有位于所述探針區外圍的多個所述中介體連接區，所述子板的中介體連接區通過多個所述中介體分別連接于所述母板的中介體連接區。

7.如權利要求1所述的可更換子板的探針卡，其特征在于：與所述中介體連接點電性連接的第一測試接點的數量大于與所述中介體連接點電性連接的第二測試接點的數量。

8.如權利要求1所述的可更換子板的探針卡，其特征在于：未與所述子板電性連接的第二測試接點在全部第二測試接點中所占的比例高于未與所述子板電性連接的第一測試接點在全部第一測試接點中所占的比例。

9.如權利要求1所述的可更換子板的探針卡，其特征在于：所述母板具有一位于所述探針區的下透光孔，所述子板具有一位置對應所述下透光孔的上透光孔。

10.如權利要求1所述的可更換子板的探針卡，其特征在于：所述子板的上表面設有多個電性接點，所述各電性接點位置對應所述子板的中介體連接區且分別與所述子板的中介體連接點電性連接。

11.如權利要求1所述的可更換子板的探針卡，其特征在于：所述中介體為一具有彈性頂針的電路板、一穿設有多個彈性件的連接板以及一異方性導電膠三者其中之一。

12.一種如權利要求1所述的可更換子板的探針卡的使用方法，包含有下列步驟：

a)使用所述探針卡測試一第一待測物；

b)備制適用于測試一第二待測物的另一子板；

c)拆卸所述探針卡的子板；

d)將所述另一子板安裝于所述探針卡；

e)使用設有所述另一子板的探針卡測試所述第二待測物。