[發明專利]一種單臺面直寫式曝光機

有效

• 申請號: 201611183042.9
• 申請日: 2016-12-20
• 公開（公告）號: CN106527056B
• 公開（公告）日: 2019-03-12
• 發明（設計）人: 蔡志國;王友車;吳斌
• 申請（專利權）人: 湖北凱昌光電科技有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 深圳市千納專利代理有限公司 44218
• 代理人: 黃良寶

1.一種單臺面直寫式曝光機，包括底座，底座上設有龍門立柱，龍門立柱上設有X軸向排列的曝光鏡頭，其特征在于：還包括工作臺，工作臺上設有底架、處于底架上的用于標定曝光鏡頭的標定模塊以及用于驅動標定模塊X軸方向滑動的標定模組，工作臺下方設有用于驅動工作臺X軸方向滑動的第一驅動模組，底座上設有用于驅動工作臺Y軸方向滑動的第二驅動模組，第一驅動模組設置在第二驅動模組上方；標定模組包括X軸方向設置在底架上的絲桿、驅動絲桿轉動的絲桿電機以及連接絲桿和絲桿電機的聯軸器，標定模塊套在絲桿上；

標定模組還包括設置在底架上用于限制標定模塊移動位置的限位開關；

第一驅動模組包括X軸方向設置的第一基板、X軸方向設置在第一基板上的第一滑軌和沿著第一滑軌滑動的第一滑板，第一基板上設有第一定子組，第一滑板內設有用于驅動第一滑板滑動的第一動子組，第一動子組與第一定子組配合，工作臺設置在第一滑板上；第二驅動模組包括Y軸方向固定在底座上的第二基板、Y軸方向設置在第二基板上的第二滑軌和沿著第二滑軌滑動的第二滑板，第二基板上設有第二定子組，第二滑板內設有用于驅動第二滑板滑動的第二動子組，第二動子組與第二定子組配合，第二基板穿過龍門立柱，第一基板設置在第二滑板上。

2.根據權利要求1所述的單臺面直寫式曝光機，其特征在于：第一基板上還設有用于限制第一滑板的滑動位置的第一限位開關。

3.根據權利要求1所述的單臺面直寫式曝光機，其特征在于：第一基板上還設有用于防止第一滑板自第一滑軌上脫落的第一限位塊。

4.根據權利要求1所述的單臺面直寫式曝光機，其特征在于：第二基板上還設有用于限制第二滑板的滑動位置的第二限位開關。

5.根據權利要求1所述的單臺面直寫式曝光機，其特征在于：第二基板上還設有用于防止第二滑板自第二滑軌上脫落的第二限位塊。