[發(fā)明專利]一種特氣分配箱及其零件更換方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201611162195.5
• 申請(qǐng)日: 2016-12-15
• 公開（公告）號(hào): CN106764436B
• 公開（公告）日: 2018-09-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 周成志
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 武漢新芯集成電路制造有限公司
• 主分類號(hào): F17D1/04
• 分類號(hào): F17D1/04;F17D3/01
• 代理公司: 北京輕創(chuàng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11212
• 代理人: 楊立;陳璐

本發(fā)明涉及一種特氣分配箱及其零件更換方法，包括氮?dú)馓幚砉苈罚玫獨(dú)馓幚砉苈分懈咚倭鲃?dòng)的氮?dú)猱a(chǎn)生虹吸負(fù)壓，抽取待更換零件所在管路內(nèi)部的特氣，氮?dú)庵鞴苈吩傧虼鼡Q零件所在管路內(nèi)部灌入氮?dú)?，抽取與灌入重復(fù)多次，直至此管路中特氣濃度趨近于零時(shí)，再更換待更換零件；用氮?dú)馓幚砉苈诽娲F(xiàn)有技術(shù)中的外接抽氣泵和尾氣處理系統(tǒng)，有效避免受現(xiàn)場(chǎng)空間和環(huán)境的影響及廠務(wù)安排的制約，且零件更換操作簡(jiǎn)單安全，成功率高。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及工藝制程領(lǐng)域，特別涉及一種特氣分配箱及其零件更換方法。

背景技術(shù)

在諸如半導(dǎo)體工藝制程中會(huì)使用到易燃易爆、有毒有害、腐蝕性等各類特氣，如甲硅烷、氨氣和氯氣等。機(jī)臺(tái)使用的特氣是由廠務(wù)端經(jīng)過中央供氣系統(tǒng)輸送過來的，從廠務(wù)端輸送過來的一條特氣管路并非單獨(dú)給某一個(gè)機(jī)臺(tái)供氣，而是同時(shí)給多個(gè)機(jī)臺(tái)供氣。特氣分配箱就是用來將一個(gè)主管路分配成幾個(gè)支管路，以此來實(shí)現(xiàn)同時(shí)給多個(gè)機(jī)臺(tái)供氣。

特氣分配箱中零件，如手動(dòng)閥和氣動(dòng)閥的作用是實(shí)現(xiàn)特氣的開啟與關(guān)停，它們的質(zhì)量對(duì)特氣的運(yùn)轉(zhuǎn)狀況是否平穩(wěn)起到至關(guān)重要的作用，當(dāng)手動(dòng)閥或氣動(dòng)閥需要關(guān)停，卻關(guān)不死，出現(xiàn)內(nèi)漏；或特氣管路內(nèi)的特氣泄露到特氣分配箱，出現(xiàn)外漏時(shí)，就需要對(duì)相應(yīng)管路的手動(dòng)閥或氣動(dòng)閥進(jìn)行更換?，F(xiàn)有零件更換方法通常為外接抽氣泵和尾氣處理系統(tǒng)，與特氣分配箱內(nèi)的氮?dú)夤苈废嗯浜希闅獗脤⒋鼡Q零件的相應(yīng)管路中的特氣抽取到尾氣處理系統(tǒng)，氮?dú)夤苈吩傧虼斯苈饭嗳氲獨(dú)?，抽取與灌入重復(fù)多次，直至此管路中特氣濃度趨近于零時(shí)，才更換相應(yīng)的零件。但是，此種方法外接抽氣泵和尾氣處理系統(tǒng)受現(xiàn)場(chǎng)空間和環(huán)境的影響，還受到廠務(wù)安排的制約，如果尾氣處理系統(tǒng)距離特氣分配箱距離較遠(yuǎn)，還需添加配管，因此，操作性極差。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明目的是提供一種特氣分配箱及其零件更換方法，解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的上述問題。

本發(fā)明解決上述技術(shù)問題的技術(shù)方案如下：

一種特氣分配箱，包括第一特氣主管路，所述第一特氣主管路的一端用于與特氣供應(yīng)系統(tǒng)連接，另一端分別與至少兩個(gè)特氣支管路的一端連接，每個(gè)所述特氣支管路的另一端分別用于與待供氣機(jī)臺(tái)連接；所述第一特氣主管路上設(shè)置有第一特氣主管路閥，每個(gè)所述特氣支管路上沿特氣供應(yīng)方向依次設(shè)置有第一特氣支管路閥和第二特氣支管路閥；每個(gè)所述特氣支管路位于所述第一特氣支管路閥和第二特氣支管路閥之間的部分連接有第一氮?dú)庵Ч苈?，每個(gè)所述第一氮?dú)庵Ч苈废鄬?duì)所述特氣支管路的另一端均與氮?dú)庵鞴苈返囊欢诉B接，所述氮?dú)庵鞴苈返牧硪欢擞糜谂c氮?dú)夤?yīng)系統(tǒng)連接，每個(gè)所述第一氮?dú)庵Ч苈飞显O(shè)置有第一氮?dú)庵Ч苈烽y；還包括氮?dú)馓幚砉苈?，所述氮?dú)馓幚砉苈返囊欢擞糜谂c氮?dú)夤?yīng)系統(tǒng)連接，另一端用于與尾氣處理系統(tǒng)連接；每個(gè)所述特氣支管路位于所述第一特氣支管路閥和第二特氣支管路閥之間的部分還連接有第二氮?dú)庵Ч苈?，每個(gè)所述第二氮?dú)庵Ч苈废鄬?duì)所述特氣支管路的另一端均與所述氮?dú)馓幚砉苈肺挥诘獨(dú)夤?yīng)系統(tǒng)和尾氣處理系統(tǒng)之間的部分連接，每個(gè)所述第二氮?dú)庵Ч苈飞显O(shè)置有第二氮?dú)庵Ч苈烽y，每個(gè)所述第二氮?dú)庵Ч苈肺挥谔貧庵Ч苈泛偷诙獨(dú)庵Ч苈烽y之間的部分設(shè)置有第一壓力傳感器。

本發(fā)明的有益效果是：利用氮?dú)馓幚砉苈分懈咚倭鲃?dòng)的氮?dú)猱a(chǎn)生虹吸負(fù)壓，抽取待更換零件所在管路內(nèi)部的特氣，氮?dú)庵鞴苈吩傧虼鼡Q零件所在管路內(nèi)部灌入氮?dú)?，抽取與灌入重復(fù)多次，直至此管路中特氣濃度趨近于零時(shí)，再更換待更換零件；用氮?dú)馓幚砉苈诽娲F(xiàn)有技術(shù)中的外接抽氣泵和尾氣處理系統(tǒng)，有效避免受現(xiàn)場(chǎng)空間和環(huán)境的影響及廠務(wù)安排的制約，且零件更換操作簡(jiǎn)單安全，成功率高。

在上述技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，本發(fā)明還可以做如下改進(jìn)。

進(jìn)一步，所述氮?dú)馓幚砉苈飞显O(shè)置有氮?dú)馓幚砉苈烽y。

采用上述進(jìn)一步方案的有益效果是：對(duì)氮?dú)馓幚砉苈分械獨(dú)獾牧鲃?dòng)進(jìn)行控制，當(dāng)無零件更換時(shí)，關(guān)閉氮?dú)馓幚砉苈烽y，避免氮?dú)獾睦速M(fèi)。

進(jìn)一步，所述氮?dú)庵鞴苈飞显O(shè)置有氮?dú)庵鞴苈烽y。