[發明專利]一種特氣分配箱及其零件更換方法

有效

• 申請號: 201611162195.5
• 申請日: 2016-12-15
• 公開（公告）號: CN106764436B
• 公開（公告）日: 2018-09-07
• 發明（設計）人: 周成志
• 申請（專利權）人: 武漢新芯集成電路制造有限公司
• 主分類號: F17D1/04
• 分類號: F17D1/04;F17D3/01
• 代理公司: 北京輕創知識產權代理有限公司 11212
• 代理人: 楊立;陳璐

1.一種特氣分配箱，其特征在于，包括第一特氣主管路(1)，所述第一特氣主管路(1)的一端用于與特氣供應系統連接，另一端分別與至少兩個特氣支管路(2)的一端連接，每個所述特氣支管路(2)的另一端分別用于與待供氣機臺連接；所述第一特氣主管路(1)上設置有第一特氣主管路閥(11)，每個所述特氣支管路(2)上沿特氣供應方向依次設置有第一特氣支管路閥(21)和第二特氣支管路閥(22)；每個所述特氣支管路(2)位于所述第一特氣支管路閥(21)和第二特氣支管路閥(22)之間的部分連接有第一氮氣支管路(31)，每個所述第一氮氣支管路(31)相對所述特氣支管路(2)的另一端均與氮氣主管路(3)的一端連接，所述氮氣主管路(3)的另一端用于與氮氣供應系統連接，每個所述第一氮氣支管路(31)上設置有第一氮氣支管路閥(311)；還包括氮氣處理管路(4)，所述氮氣處理管路(4)的一端用于與氮氣供應系統連接，另一端用于與尾氣處理系統連接；每個所述特氣支管路(2)位于所述第一特氣支管路閥(21)和第二特氣支管路閥(22)之間的部分還連接有第二氮氣支管路(41)，每個所述第二氮氣支管路(41)相對所述特氣支管路(2)的另一端均與所述氮氣處理管路(4)位于氮氣供應系統和尾氣處理系統之間的部分連接，每個所述第二氮氣支管路(41)上設置有第二氮氣支管路閥(411)，每個所述第二氮氣支管路(41)位于特氣支管路(2)和第二氮氣支管路閥(411)之間的部分設置有第一壓力傳感器(412)。

2.根據權利要求1所述一種特氣分配箱，其特征在于，所述氮氣處理管路(4)上設置有氮氣處理管路閥(42)。

3.根據權利要求1所述一種特氣分配箱，其特征在于，所述氮氣主管路(3)上設置有氮氣主管路閥(32)。

4.根據權利要求3所述一種特氣分配箱，其特征在于，所述氮氣主管路(3)位于氮氣主管路閥(32)和第一氮氣支管路(31)之間的部分設置有第二壓力傳感器(33)。

5.根據權利要求1所述一種特氣分配箱，其特征在于，所述第一特氣主管路閥(11)包括分別設置在第一特氣主管路(1)上的手動閥和氣動閥。

6.根據權利要求1所述一種特氣分配箱，其特征在于，所述第一特氣支管路閥(21)為氣動閥。

7.根據權利要求1所述一種特氣分配箱，其特征在于，所述第二特氣支管路閥(22)、第一氮氣支管路閥(311)和第二氮氣支管路閥(411)均為手動閥。

8.根據權利要求1所述一種特氣分配箱，其特征在于，所述第一特氣主管路(1)位于所述第一特氣主管路閥(11)和特氣支管路(2)之間的部分設置有第三壓力傳感器(12)。

9.根據權利要求1至8任一所述一種特氣分配箱，其特征在于，所述第一特氣主管路(1)位于其用于與特氣供應系統連接的一端和所述第一特氣主管路閥(11)之間的部分設置有第二特氣主管路閥(13)，且位于所述第一特氣主管路閥(11)和第二特氣主管路閥(13)之間連接有第二特氣主管路(5)，所述第二特氣主管路(5)相對于所述第一特氣主管路(1)的另一端用于與其它特氣分配箱連接，且所述第二特氣主管路(5)上設置有第三特氣主管路閥(51)。

10.一種特氣分配箱的零件更換方法，其特征在于，采用權利要求1至9任一所述一種特氣分配箱實現零件更換，包括如下步驟：

步驟1，關閉待更換零件所在管路相應管路閥，使所述待更換零件所在的管路兩端密閉，所述兩端的內部管路導通，且所述內部管路至少連接有一個第一氮氣支管路(31)和一個第二氮氣支管路(41)；

步驟2，待氮氣處理管路(4)中的氣體流動穩定后，打開所述第二氮氣支管路(41)上的第二氮氣支管路閥(411)產生虹吸負壓，通過所述第二氮氣支管路(41)抽取所述內部管路中的氣體；

步驟3，待所述第二氮氣支管路(41)上的第一壓力傳感器(412)的壓力示數變小且穩定，關閉所述第二氮氣支管路閥(411)；

步驟4，打開所述第一氮氣支管路(31)上的第一氮氣支管路閥(311)，氮氣主管路(3)中的氮氣通過所述第一氮氣支管路(31)通入所述內部管路中；

步驟5，待所述第一壓力傳感器(412)的壓力示數變大且穩定，關閉所述第一氮氣支管路閥(311)；

步驟6，判斷所述內部管路中特氣濃度是否趨于零；是，則執行步驟7，反之，返回執行步驟2；

步驟7，更換所述待更換零件；

步驟8，打開所述第一氮氣支管路(31)上的第一氮氣支管路閥(311)，氮氣主管路(3)中的氮氣通過所述第一氮氣支管路(31)通入所述內部管路中，待所述第一壓力傳感器(412)的壓力示數變大且穩定，關閉所述第一氮氣支管路閥(311)，如果，在預設時間內，所述第一壓力傳感器(412)的壓力示數在預設幅度內變化，則保壓測試合格，執行步驟10；反之，則保壓測試不合格，執行步驟9；

步驟9，檢查更換所述待更換零件時拆裝的接頭部分，并更換對應的密封器件，返回執行步驟8；

步驟10，重復執行步驟2至步驟5，待所述內部管路中氮氣濃度趨于100％時停止，打開步驟1中關閉的相應管路閥，恢復特氣供應。