[發(fā)明專利]光學(xué)特性測定裝置以及光學(xué)系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201611160666.9
• 申請日: 2016-12-15
• 公開（公告）號: CN106990052B
• 公開（公告）日: 2021-07-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 岡本宗大;佐野弘幸
• 申請（專利權(quán)）人: 大塚電子株式會(huì)社
• 主分類號: G01N21/27
• 分類號: G01N21/27;G01N21/01
• 代理公司: 北京林達(dá)劉知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇

提供一種能夠?qū)崿F(xiàn)小型化且提高了通用性的光學(xué)特性測定裝置以及光學(xué)系統(tǒng)。光學(xué)特性測定裝置包含：第一光學(xué)元件，其將來自被測定物的測定光變換為平行光；反射型透鏡，其通過反射來自第一光學(xué)元件的平行光來將該平行光變換為會(huì)聚光；受光部，其接收來自反射型透鏡的會(huì)聚光；以及驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其使第一光學(xué)元件相對于被測定物的相對位置變化。

技術(shù)領(lǐng)域

本技術(shù)涉及一種用于測定被測定物的光學(xué)特性的光學(xué)特性測定裝置以及該光學(xué)特性測定裝置中使用的光學(xué)系統(tǒng)。

背景技術(shù)

作為測定被測定物的光學(xué)特性的光學(xué)特性測定裝置的一例，已知的是顯微分光裝置。顯微分光裝置通過對來自任意被測定物的光進(jìn)行分光測量來輸出該被測定物的反射率或折射率、消光系數(shù)、膜厚之類的光學(xué)特性。在日本特開2008-286583號公報(bào)中，作為顯微分光裝置的一例，公開一種能夠提高光學(xué)特性的測定精度并且能夠更容易地進(jìn)行針對被測定物的對焦的光學(xué)特性測定裝置。

日本特開2008-286583號公報(bào)中公開的光學(xué)特性測定裝置具有被稱為有限遠(yuǎn)鏡筒型的顯微鏡的構(gòu)造。與此相對，已知一種被稱為無限遠(yuǎn)鏡筒型的顯微鏡的構(gòu)造。作為采用了這種無限遠(yuǎn)鏡筒型的顯微鏡的結(jié)構(gòu)，日本特開平11-249027號公報(bào)公開了一種能夠自動(dòng)地調(diào)整觀察試樣的調(diào)焦位置的自動(dòng)調(diào)焦顯微鏡。

發(fā)明內(nèi)容

在日本特開平11-249027號公報(bào)所公開的自動(dòng)調(diào)焦顯微鏡中，假定微細(xì)的資料的觀察或者觀察像的視頻拍攝等用途，不能在除了可見區(qū)域之外還需要測定紅外區(qū)域和紫外區(qū)域的光學(xué)特性的光學(xué)特性測定裝置中直接使用。

本技術(shù)的目的在于提供一種能夠?qū)崿F(xiàn)小型化且提高了通用性的光學(xué)特性測定裝置。

按照本發(fā)明的某個(gè)方面的光學(xué)特性測定裝置包含：第一光學(xué)元件，其將來自被測定物的測定光變換為平行光；反射型透鏡，其通過反射來自第一光學(xué)元件的平行光來將該平行光變換為會(huì)聚光；受光部，其接收來自反射型透鏡的會(huì)聚光；以及驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，其使第一光學(xué)元件相對于被測定物的相對位置變化。

光學(xué)特性測定裝置也可以還包含第二光學(xué)元件，該第二光學(xué)元件配置在第一光學(xué)元件與反射型透鏡之間的光學(xué)路徑上，通過反射來自第一光學(xué)元件的平行光來使該平行光的傳播方向變化。

第一光學(xué)元件也可以包含凸面反射鏡和凹面反射鏡的組，其中，該凸面反射鏡和該凹面反射鏡被配置為各自的中心軸與平行光的光軸一致。

第一光學(xué)元件也可以還包含與反射型透鏡相對應(yīng)地配置的曲面鏡以及與該曲面鏡組合的轉(zhuǎn)向鏡。

受光部也可以輸出從反射型透鏡接收到的光所包含的波長譜。

光學(xué)特性測定裝置也可以還包含：第一光源，其產(chǎn)生向被測定物照射的測定光；以及分束器，其配置在從反射型透鏡至受光部的光學(xué)路徑上，并且與第一光源以光學(xué)方式連接。

光學(xué)特性測定裝置也可以還包含第二光源，該第二光源產(chǎn)生波長成分中至少含有可見區(qū)域的觀測光，第一光源產(chǎn)生含有與要從被測定物測定的光學(xué)特性相應(yīng)的波長成分的測定光。

光學(xué)特性測定裝置也可以還包含觀測單元，該觀測單元觀測向被測定物照射的測定光的像。

光學(xué)特性測定裝置也可以還包含控制單元，該控制單元基于由觀測單元觀測到的像的清晰度來驅(qū)動(dòng)驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，由此決定第一光學(xué)元件相對于被測定物的相對位置。

按照本發(fā)明的另一方面的光學(xué)系統(tǒng)包含：第一光學(xué)元件，其將來自被測定物的測定光變換為平行光；反射型透鏡，其通過反射來自第一光學(xué)元件的平行光來將該平行光變換為會(huì)聚光；以及受光部，其接收來自反射型透鏡的會(huì)聚光。

根據(jù)與附圖關(guān)聯(lián)地理解的同本發(fā)明有關(guān)的以下的詳細(xì)說明，能夠明確本發(fā)明的上述及其它目的、特征、方面以及優(yōu)點(diǎn)。

附圖說明

圖1是示出按照實(shí)施方式的測定裝置的裝置結(jié)構(gòu)的示意圖。