[發(fā)明專利]光學特性測定裝置以及光學系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201611160666.9
• 申請日: 2016-12-15
• 公開（公告）號: CN106990052B
• 公開（公告）日: 2021-07-27
• 發(fā)明（設計）人: 岡本宗大;佐野弘幸
• 申請（專利權）人: 大塚電子株式會社
• 主分類號: G01N21/27
• 分類號: G01N21/27;G01N21/01
• 代理公司: 北京林達劉知識產(chǎn)權代理事務所(普通合伙) 11277
• 代理人: 劉新宇

1.一種光學特性測定裝置，其特征在于，具備：

第一光源，其產(chǎn)生向被測定物照射的入射光；

第二光源，其產(chǎn)生波長成分中至少含有可見區(qū)域的觀測光；

第一光學元件，其將向所述被測定物照射所述入射光所產(chǎn)生的測定光變換為平行光；

反射型透鏡，其通過反射來自所述第一光學元件的平行光來使該平行光的傳播方向變化，并且將該平行光變換為會聚光；

受光部，其接收來自所述反射型透鏡的會聚光；

驅動機構，其使所述第一光學元件相對于所述被測定物的相對位置變化；以及

分束器，其配置在從所述反射型透鏡至所述受光部的光學路徑上，并且與所述第一光源及所述第二光源均以光學方式連接，

其中，所述入射光和所述測定光均通過所述第一光學元件和所述反射型透鏡。

2.根據(jù)權利要求1所述的光學特性測定裝置，其特征在于，

還具備第二光學元件，該第二光學元件配置在所述第一光學元件與所述反射型透鏡之間的光學路徑上，通過反射來自所述第一光學元件的平行光來使該平行光的傳播方向變化。

3.根據(jù)權利要求1或2所述的光學特性測定裝置，其特征在于，

所述第一光學元件包含凸面反射鏡和凹面反射鏡的組，其中，該凸面反射鏡和該凹面反射鏡被配置為各自的中心軸與所述平行光的光軸一致。

4.根據(jù)權利要求1或2所述的光學特性測定裝置，其特征在于，

所述第一光學元件包含與所述反射型透鏡相對應地配置的曲面鏡以及與該曲面鏡組合的轉向鏡。

5.根據(jù)權利要求1或2所述的光學特性測定裝置，其特征在于，

所述受光部輸出從所述反射型透鏡接收到的光所包含的波長譜。

6.根據(jù)權利要求1或2所述的光學特性測定裝置，其特征在于，

所述第一光源產(chǎn)生含有與要從所述被測定物測定的光學特性相應的波長成分的所述測定光。

7.根據(jù)權利要求6所述的光學特性測定裝置，其特征在于，

還具備觀測單元，該觀測單元觀測向所述被測定物照射的測定光的像。

8.根據(jù)權利要求7所述的光學特性測定裝置，其特征在于，

還具備控制單元，該控制單元基于由所述觀測單元觀測到的像的清晰度來驅動所述驅動機構，由此決定所述第一光學元件相對于所述被測定物的相對位置。