[發(fā)明專利]涂布器清洗裝置和涂布裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201611149559.6
• 申請日: 2016-12-13
• 公開（公告）號: CN106914366B
• 公開（公告）日: 2020-11-17
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 堀內(nèi)展雄
• 申請（專利權(quán)）人: 東麗工程株式會社
• 主分類號: B05B13/04
• 分類號: B05B13/04;B05B15/55
• 代理公司: 北京三友知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127
• 代理人: 李輝;于靖帥

提供涂布器清洗裝置和涂布裝置，抑制在涂布器中產(chǎn)生因熱變形而導(dǎo)致的變形。涂布器清洗裝置對涂布器進(jìn)行清洗，涂布器從沿一個方向延伸的縫噴嘴噴出涂布液而在基板上形成涂布膜，其中，涂布器清洗裝置具有：清洗槽，其是以能夠浸漬涂布器的縫噴嘴的方式沿一個方向延伸的形狀；清洗液提供部，其向清洗槽提供清洗液；以及振子，其對清洗槽內(nèi)的清洗液施加振動波，清洗液提供部在長度方向上對清洗槽內(nèi)提供清洗液，并且清洗液的提供量被設(shè)定為與清洗槽的長度方向兩端部相比在中央部分多，清洗槽具有使清洗液排出到長度方向兩端部的溢流部，構(gòu)成為在使縫噴嘴浸漬在清洗槽中的狀態(tài)下，清洗槽內(nèi)的清洗液的流動從長度方向中央部分朝向溢流部流動。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及涂布器清洗裝置和涂布裝置，其中，該涂布器清洗裝置用于對噴出涂布液的涂布器進(jìn)行清洗，該涂布裝置具有該涂布器清洗裝置。

背景技術(shù)

在液晶顯示器或等離子顯示器等平板顯示器中，使用在玻璃等基板上涂布有抗蝕液等涂布液的基板(稱為涂布基板)。通過均勻地涂布涂布液的涂布裝置來形成該涂布基板。涂布裝置具有對基板進(jìn)行載置的載臺和向載置的基板噴出涂布液的涂布單元，該涂布裝置一邊從涂布單元的涂布器噴出涂布液，一邊使基板與涂布器相對移動，由此，在基板上形成涂布膜。

在該涂布器上，在與基板相對的基板相對面上形成有縫噴嘴，能夠在縫噴嘴的長度方向上均勻地噴出涂布液。然而，當(dāng)在縫噴嘴上附著有涂布液完全干燥后的干燥殘留液和異物(統(tǒng)稱為異物等)的狀態(tài)下，涂布液的噴出狀態(tài)因該異物等而不均勻化，成為在涂布膜上形成條紋不勻等干燥不勻的原因。因此，為了保持涂布膜的均勻性而通過涂布器清洗裝置對這樣的管口部進(jìn)行定期地清洗(例如參照專利文獻(xiàn)1)。

如圖4所示，該涂布器106清洗裝置具有：清洗槽100，其形狀為沿一個方向延伸并對有機溶劑的清洗液進(jìn)行貯存；清洗液提供部101，其向清洗槽100提供清洗液；以及振子102，其對清洗槽100內(nèi)的清洗液施加超聲波振動，能夠在使縫噴嘴103浸漬在清洗槽100中的狀態(tài)下通過施加超聲波振動而將附著在縫噴嘴103上的異物等去除。并且，在清洗槽100中，在清洗液提供部101的長度方向相反側(cè)設(shè)置有溢流部104，使因異物等的去除而受到污染的清洗液循環(huán)流向溢流槽105，并始終從清洗液提供部101流入干凈的清洗液，由此，能夠維持一定的清洗效果。并且，根據(jù)情況，通過使清洗液從縫噴嘴103進(jìn)入而在涂布器106內(nèi)循環(huán)，也能夠進(jìn)行涂布器106內(nèi)的清洗。由此，涂布器106的清洗作業(yè)不用通過手動作業(yè)來進(jìn)行，能夠自動地進(jìn)行。

專利文獻(xiàn)1：日本特開2004-314048號公報

然而，在以往的涂布器清洗裝置中，存在如下問題：涂布器106因清洗液中產(chǎn)生的熱量而發(fā)生熱變形，從而對涂布膜的品質(zhì)造成影響。即，由于對清洗槽100的清洗液施加超聲波振動，所以從清洗液提供部101提供的清洗液的溫度上升。并且，從清洗液提供部101提供的清洗液在長度方向上朝向溢流槽105流動，因此清洗槽100內(nèi)的清洗液一邊流向溢流槽105側(cè)一邊溫度逐漸上升，溫度較高的清洗液集中在溢流槽105附近。即，在清洗槽100內(nèi)的清洗液中形成溫度從清洗液提供部101朝向溢流槽105上升的溫度分布。

當(dāng)在清洗液中形成溫度分布時，浸漬在清洗液中的涂布器106在長度方向上產(chǎn)生溫度差，由此，縫噴嘴103的開口狀態(tài)(開口寬度)在長度方向上變得不均勻。因此，存在如下問題：狹縫噴嘴103的吐出噴出狀態(tài)變得不穩(wěn)定，對形成在基板上的涂布膜的品質(zhì)造成影響。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明是鑒于上述的問題點而完成的，其目的在于提供涂布器清洗裝置和涂布裝置，能夠抑制因與清洗液的溫度上升相伴的溫度差而在涂布器中產(chǎn)生因熱變形而導(dǎo)致的變形。