[發(fā)明專利]涂布器清洗裝置和涂布裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201611149559.6
• 申請日: 2016-12-13
• 公開（公告）號(hào): CN106914366B
• 公開（公告）日: 2020-11-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 堀內(nèi)展雄
• 申請（專利權(quán)）人: 東麗工程株式會(huì)社
• 主分類號(hào): B05B13/04
• 分類號(hào): B05B13/04;B05B15/55
• 代理公司: 北京三友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127
• 代理人: 李輝;于靖帥

1.一種涂布器清洗裝置，其對涂布器進(jìn)行清洗，該涂布器一邊在基板上掃描，一邊從形成在基板相對面上的沿一個(gè)方向延伸的縫噴嘴噴出涂布液，從而在基板上形成涂布膜，該涂布器清洗裝置的特征在于，

其具有：

清洗槽，其是以能夠浸漬所述涂布器的縫噴嘴的方式沿一個(gè)方向延伸的形狀；

清洗液提供部，其向所述清洗槽提供清洗液；以及

振子，其對所述清洗槽內(nèi)的清洗液施加振動(dòng)波，

所述清洗液提供部在長度方向上對清洗槽內(nèi)提供清洗液，并且清洗液的提供量被設(shè)定為與所述清洗槽的長度方向兩端部相比在中央部分多，

所述清洗槽具有使清洗液排出到長度方向兩端部的溢流部，

在使所述縫噴嘴浸漬在所述清洗槽中的狀態(tài)下，所述清洗槽內(nèi)的清洗液的流動(dòng)形成為從長度方向中央部分分別朝向兩端部的溢流部流動(dòng)，與在所述清洗槽內(nèi)從長度方向一端提供清洗液并從另一端排出的情況相比，能夠減小清洗液相對于所述縫噴嘴流動(dòng)的距離。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的涂布器清洗裝置，其特征在于，

所述清洗液提供部具有沿著所述清洗槽的長度方向配置的清洗液提供配管，該清洗液提供配管形成有噴出清洗液的多個(gè)清洗液提供孔，所述清洗液提供孔被配置成在所述清洗槽的長度方向兩端部疏而在中央部分密。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的涂布器清洗裝置，其特征在于，

在所述清洗槽的底面上，在長度方向上配置有所述振子，所述清洗液提供孔按照朝向所述振子噴出清洗液的方向開口。

4.根據(jù)權(quán)利要求1～3中的任意一項(xiàng)所述的涂布器清洗裝置，其特征在于，

所述清洗槽的溢流部具有清洗槽的長度方向兩端部的側(cè)壁比其他的側(cè)壁在高度方向上低的切口部。

5.根據(jù)權(quán)利要求1～3中的任意一項(xiàng)所述的涂布器清洗裝置，其特征在于，

在所述清洗槽上設(shè)置有密封壁，該密封壁沿著長度方向與所述基板相對面接觸，從而防止清洗槽的清洗液飛散。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的涂布器清洗裝置，其特征在于，

在所述清洗槽上設(shè)置有密封壁，該密封壁沿著長度方向與所述基板相對面接觸，從而防止清洗槽的清洗液飛散。

7.一種涂布裝置，其具有權(quán)利要求1～6中的任意一項(xiàng)所述的涂布器清洗裝置，

該涂布裝置具有：

載臺(tái)，其對基板進(jìn)行載置；以及

涂布器，其從縫噴嘴向載臺(tái)上的基板噴出涂布液，

該涂布裝置一邊使載臺(tái)上所載置的基板與所述涂布器相對移動(dòng)，一邊從所述涂布器噴出涂布液，從而在基板上形成涂布膜。