[發明專利]一種用于空氣或水分敏感樣品的掃描電鏡樣品臺及制樣方法

在審

• 申請號: 201611148451.5
• 申請日: 2016-12-13
• 公開（公告）號: CN107768221A
• 公開（公告）日: 2018-03-06
• 發明（設計）人: 王軍華;郭茂根;鄭利鋒;蔣偉;朱春梅;張娟
• 申請（專利權）人: 萬向一二三股份公司;萬向集團公司
• 主分類號: H01J37/20
• 分類號: H01J37/20;G01N23/22
• 代理公司: 杭州杭誠專利事務所有限公司33109
• 代理人: 尉偉敏

1.一種用于空氣或水分敏感樣品的掃描電鏡樣品臺，包括基座（1），壓蓋（2），密封圈（10）；其特征是：還包括有樣品盤（3），左、右扭力彈簧（13），扭力彈簧固定件（11）；壓蓋（2）的后端和基座（1）的后端鉸接，樣品盤（3）和基座（1）的上端相連；密封圈（10）固定在基座（1）的前端的上端或壓蓋（2）前端的下端上，壓蓋（2）的前端蓋向基座（1）的前端的上端時，密封圈（10）的內外圓漲擠在基座（1）的前端的上端和壓蓋（2）的前端之間，壓蓋（2）的前端、密封圈（10）和基座（1）的前端的上端圍成一個密封的、把樣品盤（3）包圍在其中的樣品置放空間；左、右扭力彈簧（13）的中部分別用扭力彈簧固定件（11）和基座（1）的后端相連，左、右扭力彈簧（13）的一端分別和基座（1）的前端的左、右側固連，左、右扭力彈簧（13）的另一端分別和壓蓋（2）的左、右側相連。

2.根據權利要求1所述的一種用于空氣或水分敏感樣品的掃描電鏡樣品臺，其特征是：還包括有左、右扭力彈簧壓板（4、5），左、右扭力彈簧壓板（4、5）和基座（1）的前端的左、右側分別固連，左、右扭力彈簧壓板（4、5）分別把左、右扭力彈簧（13）和基座相連的一端壓固相連在一起。

3.根據權利要求1所述的一種用于空氣或水分敏感樣品的掃描電鏡樣品臺，其特征是：基座（1）的后端高于前端。

4.根據權利要求3所述的一種用于空氣或水分敏感樣品的掃描電鏡樣品臺，其特征是：還包括有頂板（6），頂板（6）和壓蓋（2）的后端固連，頂板（6）的兩側分別伸離壓蓋（2）的后端兩側后再向下折彎；左、右扭力彈簧（13）的另一端分別和頂板（6）的兩側伸離壓蓋（2）的后端兩側后再向下折彎的部分的下表面相連，從而實現左、右扭力彈簧（13）的另一端分別和壓蓋（2）的左、右側的相連，左、右扭力彈簧（13）的另一端處于平伸向前狀態。

5.根據權利要求1或2或3或4所述的一種用于空氣或水分敏感樣品的掃描電鏡樣品臺，其特征是：還包括有軸（8）和軸承（9）；基座（1）的后端由兩個連接柱構成，連接柱的上設有和軸（8）適配的連接孔；壓蓋（2）的后端設于這兩個連接柱之間，壓蓋（2）的后端還設有和軸承（9）適配的軸承孔，軸（8）的兩端分別和連接孔相連，軸承（9）設于軸（8）和軸承孔之間。

6.根據權利要求1或2或3或4所述的一種用于空氣或水分敏感樣品的掃描電鏡樣品臺，其特征是：還包括有連接座（7）；連接座（7）的上端和基座（1）的下端相連。

7.基于上述樣品臺的用于空氣或水分敏感樣品的掃描電鏡制樣方法，其特征是：包含以下步驟：

步驟一：在手套箱內的惰性氣氛保護下，將表面覆蓋有導電膠的樣品盤放置到基座前端的上表面上，然后將空氣或水分敏感樣品粘到導電膠表面上，再將壓蓋壓向基座，使壓蓋、基座和位于壓蓋與基座間的密封圈圍成一個密閉的空間；

步驟二：將已經壓緊的樣品臺從手套箱取出后，轉移到掃描電鏡樣品室；關閉樣品室后，將樣品室抽真空；

步驟三：待樣品室的真空度不斷提高，壓蓋、基座和位于壓蓋與基座間的密封圈所圍成的密閉空間與樣品室的壓差提高，待壓差達到一定值時，壓蓋與基座相分離，并在扭簧的作用下打開，掃描電鏡抽真空完畢，待掃描電鏡狀態準備就緒；

步驟四：開始對樣品進行觀測、記錄；

步驟五：對觀測、記錄結果進行分析。