[發(fā)明專利]一種減薄機的真空過濾系統(tǒng)及方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201611148299.0
• 申請日: 2016-12-13
• 公開（公告）號: CN106582127A
• 公開（公告）日: 2017-04-26
• 發(fā)明（設計）人: 劉宇光;王仲康;衣忠波;賀東葛;張景瑞;白陽;王欣
• 申請（專利權）人: 北京中電科電子裝備有限公司
• 主分類號: B01D46/00
• 分類號: B01D46/00
• 代理公司: 北京銀龍知識產(chǎn)權代理有限公司11243
• 代理人: 許靜,安利霞

1.一種減薄機的真空過濾系統(tǒng)，其特征在于，所述真空過濾系統(tǒng)包括：

密封腔體，所述密封腔體上分別設有真空接口、氣源接口與排液接口，其中，在豎直方向上，所述真空接口與所述氣源接口在所述密封腔體上的高度均高于所述排液接口在所述密封腔體上的高度；

所述真空接口通過第一管路連接至真空源，所述第一管路上設有一真空電磁閥；

所述氣源接口通過第二管路連接至減薄機的氣路終端；

通過第三管路與所述第二管路連通的氣源，所述第三管路上設有一氣體電磁閥；

與所述排液接口連接的排液管路，所述排液管路上設有一液體電磁閥；

與所述真空電磁閥、所述氣體電磁閥以及所述液體電磁閥電連接的控制裝置；

其中，所述控制裝置用于：控制所述真空電磁閥打開，所述氣體電磁閥與所述液體電磁閥同時關閉，使所述真空源產(chǎn)生的真空通過所述密封腔體達到所述氣路終端；以及，當所述氣路終端產(chǎn)生的廢液通過所述第二管路進入到所述密封腔體時，控制所述液體電磁閥打開，所述真空電磁閥與所述氣體電磁閥同時關閉，使廢液通過所述排液管路排出，以進行氣液分離；

其中，所述控制裝置還用于：控制所述氣體電磁閥打開，所述真空電磁閥與所述液體電磁閥同時關閉，使所述氣源產(chǎn)生的氣體通過所述密封腔體達到所述氣路終端，以供所述氣路終端使用。

2.如權利要求1所述的真空過濾系統(tǒng)，其特征在于，所述第一管路上設有一真空減壓閥，所述真空減壓閥設置于所述真空源與所述真空電磁閥之間，或者所述真空減壓閥設置于所述真空電磁閥與所述真空接口之間。

3.如權利要求1所述的真空過濾系統(tǒng)，其特征在于，所述第三管路上設有一氣體減壓閥，所述氣體減壓閥設置于所述氣源與所述氣體電磁閥之間，或者所述氣體減壓閥設置于所述氣體電磁閥與所述氣源接口之間。

4.如權利要求1所述的真空過濾系統(tǒng)，其特征在于，所述第三管路與所述第二管路連接的末端設有一壓力傳感器，用于檢測所述氣路終端內(nèi)的氣體壓力值。

5.如權利要求1所述的真空過濾系統(tǒng)，其特征在于，所述真空接口與所述氣源接口均設置于所述密封腔體的頂端，所述排液接口設置于所述密封腔體的底端。

6.如權利要求1所述的真空過濾系統(tǒng)，其特征在于，所述真空接口、所述氣源接口以及所述排液接口的數(shù)量至少為一個，所述第一管路、第二管路、排液管路的數(shù)量分別與所述真空接口、所述氣源接口以及所述排液接口的數(shù)量相同。

7.如權利要求1所述的真空過濾系統(tǒng)，其特征在于，所述真空接口、所述氣源接口以及所述排液接口均為快插接口。

8.如權利要求1所述的真空過濾系統(tǒng)，其特征在于，所述氣路終端為承片臺、清洗臺或者真空機械手。

9.一種減薄機的真空過濾方法，應用于如權利要求1～8任一項所述的減薄機的真空過濾系統(tǒng)，其特征在于，所述真空過濾方法包括：

向真空電磁閥、氣體電磁閥以及液體電磁閥發(fā)送第一控制信號，控制所述真空電磁閥打開，所述氣體電磁閥與所述液體電磁閥同時關閉，使所述真空源產(chǎn)生的真空通過所述密封腔體達到所述氣路終端；

當所述氣路終端產(chǎn)生的廢液通過所述第二管路進入到所述密封腔體時，向所述真空電磁閥、所述氣體電磁閥以及所述液體電磁閥發(fā)送第二控制信號，控制所述液體電磁閥打開，所述真空電磁閥與所述氣體電磁閥同時關閉，使廢液通過所述排液管路排出，以進行氣液分離；

其中，所述真空過濾方法還包括：

向所述真空電磁閥、所述氣體電磁閥以及所述液體電磁閥發(fā)送第三控制信號，控制所述氣體電磁閥打開，所述真空電磁閥與所述液體電磁閥同時關閉，使所述氣源產(chǎn)生的氣體通過所述密封腔體達到所述氣路終端，以供所述氣路終端使用。