[發(fā)明專利]一種磨輪位置標(biāo)定系統(tǒng)及方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201611146599.5
• 申請(qǐng)日: 2016-12-13
• 公開（公告）號(hào): CN106737195B
• 公開（公告）日: 2019-07-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 衣忠波;梁津;高岳;李遠(yuǎn)航;孫莉莉;黃佳鑫;姚立新
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京中電科電子裝備有限公司
• 主分類號(hào): B24B51/00
• 分類號(hào): B24B51/00;B24B49/00
• 代理公司: 北京銀龍知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11243
• 代理人: 許靜;安利霞

本發(fā)明提供了一種磨輪位置標(biāo)定系統(tǒng)及方法，其中磨輪位置標(biāo)定系統(tǒng)包括：驅(qū)動(dòng)裝置；與驅(qū)動(dòng)裝置連接的，并在驅(qū)動(dòng)裝置的驅(qū)動(dòng)下運(yùn)動(dòng)的滑動(dòng)裝置，滑動(dòng)裝置包括滑軌和在滑軌上運(yùn)動(dòng)的滑動(dòng)板；固定在滑軌上的光電傳感器；設(shè)置于滑動(dòng)板上，并隨滑動(dòng)板運(yùn)動(dòng)的傳感器擋片和測(cè)量傳感器；以及與驅(qū)動(dòng)裝置、光電傳感器和測(cè)量傳感器連接的控制系統(tǒng)；其中，在光電傳感器被傳感器擋片阻斷時(shí)，控制系統(tǒng)接收光電傳感器發(fā)送的啟動(dòng)信號(hào)確定參考零點(diǎn)，在接收到測(cè)量傳感器檢測(cè)到承片臺(tái)上邊沿時(shí)發(fā)送的第一信號(hào)、檢測(cè)到磨輪下邊沿時(shí)發(fā)送的第二信號(hào)后，確定磨輪與承片臺(tái)之間的距離。本發(fā)明能夠自動(dòng)、實(shí)時(shí)檢測(cè)磨輪與承片臺(tái)的距離，具有很強(qiáng)的安全性，且能夠提高設(shè)備的性價(jià)比。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體設(shè)備用磨輪位置標(biāo)定領(lǐng)域，尤其涉及一種磨輪位置標(biāo)定系統(tǒng)及方法。

背景技術(shù)

集成電路芯片封裝趨勢(shì)向更小型化，更高密度，更高性能，更多功能的方向發(fā)展，芯片的減薄成為半導(dǎo)體后封裝中的重要工序。晶圓減薄能夠減小芯片封裝體積，提高機(jī)械性能和電氣性能，改善芯片的散熱效果。在半導(dǎo)體專用設(shè)備制造過(guò)程中以及晶圓減薄過(guò)程中，晶圓減薄機(jī)針對(duì)不同的工藝，配備不同的磨輪，磨輪的規(guī)格不同，以及磨輪厚度不夠準(zhǔn)確的影響，需要在磨削前對(duì)磨輪的位置進(jìn)行標(biāo)定，目前常規(guī)采用的方法是采用5mm的標(biāo)定塊，手動(dòng)去標(biāo)定，如圖1所示，在磨輪71與承片臺(tái)8之間設(shè)置標(biāo)定塊9來(lái)標(biāo)定磨輪71的位置。具體的相對(duì)位置依靠手感來(lái)確定，存在標(biāo)定位置不夠準(zhǔn)確，操作復(fù)雜的問(wèn)題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明實(shí)施例提供一種磨輪位置標(biāo)定系統(tǒng)及方法，以解決現(xiàn)有技術(shù)中采用手動(dòng)方式標(biāo)定磨輪位置時(shí)存在的標(biāo)定不夠準(zhǔn)確，且操作復(fù)雜的問(wèn)題。

本發(fā)明實(shí)施例提供一種磨輪位置標(biāo)定系統(tǒng)，包括：

驅(qū)動(dòng)裝置；

與所述驅(qū)動(dòng)裝置連接的，并在所述驅(qū)動(dòng)裝置的驅(qū)動(dòng)下運(yùn)動(dòng)的滑動(dòng)裝置，所述滑動(dòng)裝置包括滑軌和在所述滑軌上運(yùn)動(dòng)的滑動(dòng)板；

固定在所述滑軌上的光電傳感器；

設(shè)置于所述滑動(dòng)板上，并在所述驅(qū)動(dòng)裝置的驅(qū)動(dòng)下隨所述滑動(dòng)板運(yùn)動(dòng)的傳感器擋片和測(cè)量傳感器；以及

與所述驅(qū)動(dòng)裝置、所述光電傳感器和所述測(cè)量傳感器連接的控制系統(tǒng)；

其中，在所述光電傳感器被所述傳感器擋片阻斷時(shí)，所述控制系統(tǒng)接收所述光電傳感器發(fā)送的啟動(dòng)信號(hào)確定參考零點(diǎn)，在接收所述測(cè)量傳感器檢測(cè)到承片臺(tái)上邊沿時(shí)發(fā)送的第一信號(hào)、所述測(cè)量傳感器檢測(cè)到磨輪下邊沿時(shí)發(fā)送的第二信號(hào)后，根據(jù)所述參考零點(diǎn)、所述第一信號(hào)和所述第二信號(hào)確定所述磨輪與所述承片臺(tái)之間的距離。

其中，所述磨輪位置標(biāo)定系統(tǒng)還包括：

用于固定所述驅(qū)動(dòng)裝置和所述滑動(dòng)裝置的安裝支架，所述驅(qū)動(dòng)裝置設(shè)置于所述安裝支架的第一端面，所述滑動(dòng)裝置設(shè)置于所述安裝支架的第二端面，所述第一端面與所述第二端面相鄰且垂直。

其中，所述驅(qū)動(dòng)裝置包括與所述安裝支架連接的安裝座，設(shè)置于所述安裝座內(nèi)的聯(lián)軸器，與所述聯(lián)軸器的一端連接的驅(qū)動(dòng)電機(jī)，與所述聯(lián)軸器的另一端連接的軸承座和絲杠結(jié)構(gòu)；

其中所述絲杠結(jié)構(gòu)通過(guò)所述軸承座與所述聯(lián)軸器連接，所述驅(qū)動(dòng)裝置與所述控制系統(tǒng)的信號(hào)輸出端連接。

其中，所述絲杠結(jié)構(gòu)包括：

通過(guò)所述軸承座與所述聯(lián)軸器連接的絲杠；

套設(shè)在所述絲杠上、在所述絲杠轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)沿所述絲杠的軸向上下運(yùn)動(dòng)的絲杠母；以及

套設(shè)在所述絲杠上、與所述絲杠母固定連接的絲杠母座；

其中所述絲杠母的運(yùn)動(dòng)方向?yàn)樗瞿ポ喓退龀衅_(tái)距離的延伸方向。

其中，所述滑動(dòng)裝置還包括：

設(shè)置于所述滑動(dòng)板與所述滑軌之間的滑塊；