[發(fā)明專利]探針卡

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201611146117.6
• 申請(qǐng)日: 2016-12-13
• 公開（公告）號(hào): CN107305218B
• 公開（公告）日: 2020-03-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 蔡錦溢;陳建宏
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 旺矽科技股份有限公司
• 主分類號(hào): G01R1/067
• 分類號(hào): G01R1/067;G01R1/073
• 代理公司: 北京三友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127
• 代理人: 王春光

本發(fā)明提供一種探針卡包含配線板、頂蓋、伸縮結(jié)構(gòu)與探針。頂蓋耦合配線板，且頂蓋具有進(jìn)氣孔。伸縮結(jié)構(gòu)連接頂蓋，且伸縮結(jié)構(gòu)包含第一環(huán)與第二環(huán)。第一環(huán)具有通氣孔，頂蓋具有底表面面對(duì)第一環(huán)，第一環(huán)具有頂表面面對(duì)頂蓋，第一環(huán)的頂表面與頂蓋的底表面共同定義勻化空間，勻化空間連通進(jìn)氣孔與通氣孔。第二環(huán)能移動(dòng)地與第一環(huán)相耦合，且第二環(huán)具有噴氣孔，噴氣孔連通通氣孔，第二環(huán)具有背對(duì)頂蓋的底表面，噴氣孔的出口位于第二環(huán)的底表面，第一環(huán)的內(nèi)側(cè)壁與第二環(huán)的內(nèi)側(cè)壁共同定義壓力空間。探針電性連接配線板，并延伸至壓力空間中。探針卡適用于高氣壓環(huán)境并提高測試效能及效率，并降低探針卡因不必要地接觸到待測物而對(duì)待測物造成破壞的機(jī)會(huì)。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明是關(guān)于一種探針卡，尤其是有關(guān)于適用高電壓測試時(shí)之高氣壓環(huán)境的探針卡。

背景技術(shù)

探針卡的主要功用是通過其探針與待測物(如晶圓、晶片或晶粒)上的焊墊或者是凸塊直接接觸，配合周邊測試機(jī)臺(tái)與軟件控制而達(dá)到量測的目的，并進(jìn)一步篩選出不良品。通常是通過測試機(jī)臺(tái)發(fā)送測試訊號(hào)，經(jīng)探針卡到待測物，再由待測物回送測試結(jié)果訊號(hào)，經(jīng)探針卡到測試機(jī)臺(tái)進(jìn)行分析。但在高電壓測試時(shí)(如高于500伏特)探針卡需適用高氣壓環(huán)境(如大于3個(gè)大氣壓)以增加電壓耐受度及提高測試效能及效率，此為現(xiàn)今技藝所需改進(jìn)之處。

發(fā)明內(nèi)容

因此，本發(fā)明的目的在于提供一種探針卡，其能適用于高電壓測試時(shí)的高氣壓環(huán)境并提高測試效能及效率，并降低探針卡因不必要地接觸到待測物而對(duì)待測物造成破壞的機(jī)會(huì)。

根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施方式，一種探針卡，其中，探針卡包含：

配線板；

頂蓋，頂蓋耦合配線板，頂蓋上具有至少一進(jìn)氣孔；

伸縮結(jié)構(gòu)，伸縮結(jié)構(gòu)連接頂蓋，伸縮結(jié)構(gòu)包含：

第一環(huán)，第一環(huán)上具有多個(gè)通氣孔，頂蓋具有底表面，頂蓋的底表面面對(duì)第一環(huán)，第一環(huán)具有頂表面，第一環(huán)的頂表面面對(duì)頂蓋，第一環(huán)的頂表面與頂蓋的底表面共同定義勻化空間，勻化空間連通頂蓋的進(jìn)氣孔與第一環(huán)的通氣孔；以及

第二環(huán)，第二環(huán)能移動(dòng)地與第一環(huán)相耦合，且第二環(huán)上具有多個(gè)噴氣孔，多個(gè)噴氣孔連通多個(gè)通氣孔，第二環(huán)具有背對(duì)頂蓋的底表面，多個(gè)噴氣孔的出口位于第二環(huán)的底表面，其中，第一環(huán)的內(nèi)側(cè)壁與第二環(huán)的內(nèi)側(cè)壁共同定義壓力空間；

以及

至少一探針，探針探針電性連接配線板，并且探針延伸至壓力空間中。

在本發(fā)明一或多個(gè)實(shí)施方式中，上述的頂蓋上具有多個(gè)進(jìn)氣孔，多個(gè)進(jìn)氣孔中的至少一個(gè)進(jìn)氣孔為緩沖進(jìn)氣孔，緩沖進(jìn)氣孔連通勻化空間，多個(gè)進(jìn)氣孔中的至少一個(gè)進(jìn)氣孔為壓力進(jìn)氣孔，壓力進(jìn)氣孔連通壓力空間。

在本發(fā)明一或多個(gè)實(shí)施方式中，上述的第二環(huán)的底表面與第二環(huán)的外側(cè)壁之間形成的內(nèi)角是銳角。

在本發(fā)明一或多個(gè)實(shí)施方式中，上述的多個(gè)噴氣孔沿著由第二環(huán)的底表面至壓力空間的長度方向與第二環(huán)的軸線之間具有角度，角度大于1度并且小于10度。

在本發(fā)明一或多個(gè)實(shí)施方式中，上述的第一環(huán)的頂表面具有凹陷，凹陷與頂蓋的底表面共同定義出勻化空間，多個(gè)通氣孔穿設(shè)凹陷至第一環(huán)的底面。

在本發(fā)明一或多個(gè)實(shí)施方式中，上述的多個(gè)通氣孔穿設(shè)凹陷至第一環(huán)的底面并面對(duì)第二環(huán)的內(nèi)環(huán)，且多個(gè)噴氣孔穿設(shè)內(nèi)環(huán)。

根據(jù)本發(fā)明的另一實(shí)施方式，一種探針卡，其中，探針卡包含：

配線板；

頂蓋，頂蓋耦合配線板，頂蓋上具有至少一進(jìn)氣孔；

伸縮結(jié)構(gòu)，伸縮結(jié)構(gòu)包含：

第一環(huán)，第一環(huán)連接頂蓋；以及