[發(fā)明專利]探針卡

有效

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• 申請日: 2016-12-13
• 公開（公告）號: CN107305218B
• 公開（公告）日: 2020-03-24
• 發(fā)明（設計）人: 蔡錦溢;陳建宏
• 申請（專利權）人: 旺矽科技股份有限公司
• 主分類號: G01R1/067
• 分類號: G01R1/067;G01R1/073
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 王春光

1.一種探針卡，其特征在于，所述探針卡包含：

一配線板；

一頂蓋，所述頂蓋耦合所述配線板，所述頂蓋上具有至少一進氣孔；

一伸縮結構，所述伸縮結構連接所述頂蓋，所述伸縮結構包含：

一第一環(huán)，所述第一環(huán)上具有多個通氣孔，所述頂蓋具有一底表面，所述頂蓋的底表面面對所述第一環(huán)，所述第一環(huán)具有一頂表面，所述第一環(huán)的頂表面面對所述頂蓋，所述第一環(huán)的頂表面與所述頂蓋的底表面共同定義一勻化空間，所述勻化空間連通所述頂蓋的所述進氣孔與所述第一環(huán)的所述通氣孔；以及

一第二環(huán)，所述第二環(huán)能移動地與所述第一環(huán)相耦合，且所述第二環(huán)具有一由所述第二環(huán)的內側壁向內延伸的內環(huán)及多個噴氣孔，多個所述噴氣孔穿設所述內環(huán)并連通多個所述通氣孔，所述第二環(huán)具有背對所述頂蓋的一底表面，所述底表面位于所述內環(huán)，多個所述噴氣孔的出口位于所述第二環(huán)的底表面，其中，所述第一環(huán)的內側壁與所述第二環(huán)的內側壁共同定義一壓力空間；以及

至少一探針，所述探針電性連接所述配線板，并且所述探針延伸至所述壓力空間中。

2.根據權利要求1所述的探針卡，其特征在于，所述頂蓋上具有多個所述進氣孔，多個所述進氣孔中的至少一個所述進氣孔為緩沖進氣孔，所述緩沖進氣孔連通所述勻化空間，多個所述進氣孔中的至少一個所述進氣孔為壓力進氣孔，所述壓力進氣孔連通所述壓力空間。

3.根據權利要求1所述的探針卡，其特征在于，所述第二環(huán)的底表面與所述第二環(huán)的外側壁之間形成的內角是銳角。

4.根據權利要求1所述的探針卡，其特征在于，多個所述噴氣孔沿著由所述第二環(huán)的底表面至所述壓力空間的長度方向與所述第二環(huán)的軸線之間具有角度，所述角度大于1度并且小于10度。

5.根據權利要求1所述的探針卡，其特征在于，所述第一環(huán)的頂表面具有一凹陷，所述凹陷與所述頂蓋的底表面共同定義出所述勻化空間，多個所述通氣孔穿設所述凹陷至所述第一環(huán)的底面。

6.根據權利要求5所述的探針卡，其特征在于，多個所述通氣孔面對所述內環(huán)。

7.一種探針卡，其特征在于，所述探針卡包含：

一配線板；

一頂蓋，所述頂蓋耦合所述配線板，所述頂蓋上具有至少一進氣孔；

一伸縮結構，所述伸縮結構包含：

一第一環(huán)，所述第一環(huán)連接所述頂蓋；以及

一第二環(huán)，所述第二環(huán)能移動地與所述第一環(huán)相耦合，且所述第二環(huán)具有一由所述第二環(huán)的內側壁向內延伸的內環(huán)并具有背對所述頂蓋的一傾斜底表面，所述傾斜底表面至少部分位于所述內環(huán)，所述第一環(huán)的內側壁與所述第二環(huán)的內側壁共同定義一壓力空間；以及

至少一探針，所述探針電性連接所述配線板，并且所述探針延伸至所述壓力空間中。

8.根據權利要求7所述的探針卡，其特征在于，所述第二環(huán)的所述傾斜底表面與所述第二環(huán)的外側壁之間形成一大于或等于82度并且小于或等于89度的內角。

9.根據權利要求7所述的探針卡，其特征在于，所述第一環(huán)的頂表面具有一凹陷，且所述第一環(huán)具有多個通氣孔穿設所述凹陷至所述第一環(huán)的底面，并且多個所述通氣孔與所述壓力空間相連通。

10.一種探針卡，其特征在于，所述探針卡包含：

一配線板；

一頂蓋，所述頂蓋耦合所述配線板，所述頂蓋上具有至少一進氣孔；

一伸縮結構，所述伸縮結構連接所述頂蓋，所述伸縮結構包含：

一第一環(huán)，所述第一環(huán)固設于所述頂蓋，所述第一環(huán)具有多個通氣孔及一凹陷；以及

一第二環(huán)，所述第二環(huán)能移動地與所述第一環(huán)相耦合，所述第二環(huán)具有一由所述第二環(huán)的內側壁向內延伸的內環(huán)及多個噴氣孔，多個所述通氣孔穿設所述凹陷至該第一環(huán)的底面并面對所述內環(huán)，多個所述噴氣孔穿設所述內環(huán)并連通多個所述通氣孔與所述至少一進氣孔，其中，所述第一環(huán)的內側壁與所述第二環(huán)的內側壁共同定義一壓力空間，且所述凹陷對所述內環(huán)的投影，與所述內環(huán)至少部分重疊；以及

至少一探針，所述至少一探針電性連接所述配線板，并且所述至少一探針延伸至所述壓力空間中。