[發明專利]用于制造光電倍增管的排氣裝置及操作方法

有效

• 申請號: 201611143807.6
• 申請日: 2016-12-13
• 公開（公告）號: CN106531593B
• 公開（公告）日: 2018-03-13
• 發明（設計）人: 孫建寧;王興超;張勤東;王志宏;黃國瑞;胡松;謝飛;李珅;侯巍;金睦淳
• 申請（專利權）人: 北方夜視技術股份有限公司
• 主分類號: H01J9/385
• 分類號: H01J9/385
• 代理公司: 北京中濟緯天專利代理有限公司11429
• 代理人: 王菊花

技術領域

本發明涉及光電倍增管技術領域，具體而言涉及一種用于制造光電倍增管的排氣裝置及操作方法。

背景技術

光電倍增管是一種真空管，用于微弱光信號的探測。光電倍增管通過排氣裝置進行制作，制作的過程包括烘烤除氣、光電陰極制作、電子清刷、封接等。傳統技術制作光電倍增管時，光電陰極制作過程中，管芯位于光電倍增管的內部，無法進行電子清刷，同時光電陰極制作時，堿源蒸汽會污染管芯中的電子倍增器，進而影響光電倍增管的增益及噪聲。本發明新設計的排氣裝置，在光電倍增管光電陰極制作時，管芯位于光電倍增管外部，光電倍增管玻璃球殼與管芯是分離的，光電陰極制作完成后，再把管芯放入玻璃球殼內，并完成封接。

發明內容

本發明所解決的技術問題是：根據光電倍增管的結構，提供一種新型排氣裝置，能夠在光電陰極制作時，將玻璃球殼及管芯分開，避免管芯中的電子倍增器受到堿蒸汽的污染，同時對管芯中的電子倍增器進行電子清刷。

為達成上述目的，本發明提出一種用于光電倍增管制造的排氣裝置，包括：鐘罩、底板、機架、電子清刷系統、陰極系統、分子泵、干泵以及電控系統，其中：

所述鐘罩設置有鐘罩升降機構，能夠升降，并具有加熱功能，所述底板上方安裝有載物臺，載物臺包括三個工位，能夠旋轉，底板下方安裝有陰極系統、電子清刷系統，所述陰極系統具有陰極組件升降機構，所述電子清刷系統具有升降、平移機構，并通過旋轉擋板與鐘罩隔離。

本發明與現有技術相比，其顯著優點為：1)該結構的排氣裝置，制作光電倍增管過程中，光電陰極制作時，管芯不在玻璃球殼內，位于其它腔室內，避免了堿源蒸汽對管芯中電子倍增器的污染；2)光電倍增管制作過程中，能夠在真空環境下，將管芯放入玻璃球殼內，并完成密封封接；3)該裝置具有三個工位，工作效率高。

應當理解，前述構思以及在下面更加詳細地描述的額外構思的所有組合只要在這樣的構思不相互矛盾的情況下都可以被視為本公開的發明主題的一部分。另外，所要求保護的主題的所有組合都被視為本公開的發明主題的一部分。

結合附圖從下面的描述中可以更加全面地理解本發明教導的前述和其他方面、實施例和特征。本發明的其他附加方面例如示例性實施方式的特征和/或有益效果將在下面的描述中顯見，或通過根據本發明教導的具體實施方式的實踐中得知。

附圖說明

附圖不意在按比例繪制。在附圖中，在各個圖中示出的每個相同或近似相同的組成部分可以用相同的標號表示。為了清晰起見，在每個圖中，并非每個組成部分均被標記。現在，將通過例子并參考附圖來描述本發明的各個方面的實施例，其中：

圖1是根據本發明某些實施例的用于光電倍增管制造的排氣裝置的結構示意圖。

圖2是根據本發明某些實施例的底板的示意圖。

圖3是根據本發明某些實施例的底板下方陰極系統法蘭、電子清刷系統法蘭分布結構示意圖。

圖4是根據本發明某些實施例的電子清刷系統結構示意圖。

圖5是根據本發明某些實施例的陰極系統結構示意圖。

具體實施方式

為了更了解本發明的技術內容，特舉具體實施例并配合所附圖式說明如下。

在本公開中參照附圖來描述本發明的各方面，附圖中示出了許多說明的實施例。本公開的實施例不必定意在包括本發明的所有方面。應當理解，上面介紹的多種構思和實施例，以及下面更加詳細地描述的那些構思和實施方式可以以很多方式中任意一種來實施，這是因為本發明所公開的構思和實施例并不限于任何實施方式。另外，本發明公開的一些方面可以單獨使用，或者與本發明公開的其他方面的任何適當組合來使用。

結合圖1-圖5所示，根據本發明的實施例，一種用于制造光電倍增管的排氣裝置，包括鐘罩1、底板3、機架4、分子泵5、電子清刷系統6、陰極系統7以及干泵8，所述排氣裝置還包括電控系統，用于控制所述分子泵、電子清刷系統、陰極系統以及干泵的運行。

所述鐘罩1可升降地安裝并覆蓋到底板3的上方，并具有加熱功能，能夠加熱載物臺303上的玻璃球殼2。底板3的上表面安裝有載物臺303，載物臺303包括三個工位，并可旋轉，底板3下方安裝有電子清刷系統6和陰極系統7，所述陰極系統7具有陰極組件升降機構703，所述電子清刷系統6具有升降、平移機構，并通過旋轉擋板301與鐘罩1隔離。

所述鐘罩1設置有鐘罩升降機構101，能夠升降。