[發(fā)明專利]用于制造光電倍增管的排氣裝置及操作方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201611143807.6
• 申請日: 2016-12-13
• 公開（公告）號: CN106531593B
• 公開（公告）日: 2018-03-13
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 孫建寧;王興超;張勤東;王志宏;黃國瑞;胡松;謝飛;李珅;侯巍;金睦淳
• 申請（專利權(quán)）人: 北方夜視技術(shù)股份有限公司
• 主分類號: H01J9/385
• 分類號: H01J9/385
• 代理公司: 北京中濟緯天專利代理有限公司11429
• 代理人: 王菊花

1.一種用于制造光電倍增管的排氣裝置，其特征在于，包括鐘罩、底板、分子泵、電子清刷系統(tǒng)、陰極系統(tǒng)以及干泵，所述排氣裝置還包括電控系統(tǒng)用于控制所述分子泵、電子清刷系統(tǒng)、陰極系統(tǒng)以及干泵的運行，其中：

所述底板的上表面安裝有載物臺，載物臺包括三個工位，各工位相互獨立并可旋轉(zhuǎn)；

所述鐘罩可升降地安裝并覆蓋到底板的上方，并在其內(nèi)壁上安裝有加熱裝置，用于加熱位于底板上方的載物臺上的玻璃球殼；通過載物臺的旋轉(zhuǎn)使得玻璃球殼在陰極系統(tǒng)及電子清刷系統(tǒng)之間旋轉(zhuǎn)平移；

所述電子清刷系統(tǒng)具有升降、平移機構(gòu)，并通過旋轉(zhuǎn)擋板與鐘罩隔離；電子清刷系統(tǒng)位于底板下側(cè)，通過電子清刷系統(tǒng)法蘭與底板相連，電子清刷系統(tǒng)用于將管芯升入載物臺上的玻璃球殼中，將管芯與玻璃球殼進行金屬封接；

所述陰極系統(tǒng)具有陰極組件升降機構(gòu)，所述陰極系統(tǒng)位于底板下側(cè)，通過陰極系統(tǒng)法蘭與底板相連，陰極系統(tǒng)被設(shè)置成將陰極組件升到載物臺上的玻璃球殼中，制作光電陰極；

所述底板包括旋轉(zhuǎn)擋板、氟膠圈以及載物臺；底板位于鐘罩下方，底板與鐘罩之間采用氟膠圈進行密封，氟膠圈位于底板上部邊緣位置；底板上部布置有載物臺，載物臺具有三個工位，三個工位均勻分布，相互獨立，用于固定光電倍增管玻璃球殼；

所述載物臺設(shè)置成圍繞中心軸旋轉(zhuǎn)，通過伺服電機控制旋轉(zhuǎn)角度，可從陰極系統(tǒng)上方旋轉(zhuǎn)至電子清刷系統(tǒng)上方；旋轉(zhuǎn)擋板位于電子清刷系統(tǒng)法蘭上方并可旋轉(zhuǎn)，用于遮擋電子清刷系統(tǒng)；

所述排氣裝置包括三個陰極系統(tǒng)法蘭、三個電子清刷系統(tǒng)法蘭，陰極系統(tǒng)法蘭與電子清刷系統(tǒng)法蘭交叉分布，均勻分布在底板下方；陰極系統(tǒng)法蘭、電子清刷系統(tǒng)法蘭所在的圓周直徑與載物臺的三個工位所在的圓周直徑相同；

所述電子清刷系統(tǒng)分布在底板下方，包括管芯、磁流體、管芯升降機構(gòu)以及電子槍平移機構(gòu)，管芯升降機構(gòu)通過伺服電機帶動傳動絲扛控制管芯升降，傳動絲扛位于電子清刷系統(tǒng)內(nèi)部，通過磁流體進行真空密封；電子清刷系統(tǒng)通過電子槍平移機構(gòu)控制管芯電子槍平移；

所述陰極系統(tǒng)分布在底板下方，包括陰極組件、傳動絲扛、波紋管、陰極組件升降結(jié)構(gòu)以及導(dǎo)向桿，陰極組件升降機構(gòu)通過步進電機帶動傳動絲扛旋轉(zhuǎn)控制陰極組件升降，通過導(dǎo)向桿保證升降穩(wěn)定性，利用波紋管進行真空密封。

2.一種權(quán)利要求1所述的用于制造光電倍增管的排氣裝置的操作方法，其特征在于，包括下述步驟：

通過鐘罩升降機構(gòu)升起鐘罩；

將玻璃球殼安裝在載物臺上；

將管芯安裝在電子清刷系統(tǒng)中；

將陰極組件安裝在陰極系統(tǒng)中；

旋轉(zhuǎn)載物臺，將玻璃球殼平移至陰極系統(tǒng)上方；

將陰極組件升入玻璃球殼內(nèi)；

將管芯升入鐘罩內(nèi)，降下鐘罩，此時鐘罩與陰極系統(tǒng)、電子清刷系統(tǒng)形成真空室；

開啟干泵和分子泵，進行真空抽氣，達到設(shè)定的真空度時，開啟鐘罩內(nèi)加熱裝置，對玻璃球殼、管芯、陰極組件進行烘烤除氣；

烘烤除氣完成后，將管芯降至電子清刷系統(tǒng)中，關(guān)閉旋轉(zhuǎn)擋板，通過電子槍平移機構(gòu)將電子槍平移至管芯上方，進行電子清刷，同時在玻璃球殼內(nèi)蒸鍍光電陰極；

陰極制作完成后，將陰極組件降至陰極系統(tǒng)中；

電子清刷完成后，通過電子槍平移機構(gòu)將電子槍平移至管芯側(cè)上方；

打開旋轉(zhuǎn)擋板，旋轉(zhuǎn)載物臺，將玻璃球殼從陰極系統(tǒng)上方旋轉(zhuǎn)至電子清刷系統(tǒng)上方，將管芯升入玻璃球殼中，管芯與玻璃球殼對接，完成密封封接。