[發明專利]一種利用電弧離子鍍在模具表面制備多層薄膜的方法在審
| 申請號： | 201611137139.6 | 申請日： | 2016-12-12 |
| 公開（公告）號： | CN108220889A | 公開（公告）日： | 2018-06-29 |
| 發明（設計）人： | 曹玉坤 | 申請（專利權）人： | 沈陽云美科技有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/32 | 分類號： | C23C14/32;C23C14/16;C23C14/06;C23C8/36;C23C28/00 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 110003 遼寧省沈陽市*** | 國省代碼： | 遼寧;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 電弧離子鍍 制備 模具表面 薄膜 多層薄膜 第一層 等離子體氮化 鍍膜工藝 鍛造模具 使用壽命 第三層 砂處理 微噴 | ||
【權利要求書】：
1.一種利用電弧離子鍍在模具表面制備多層薄膜的方法，其特征在于，包括如下步驟：
1)模具表面等離子體氮化，將模具放入真空等離子體氮化爐處理，形成氮化層；對等離子體氮化后的模具表面進行微噴砂處理，再進行清洗，然后將模具裝入工裝內并置于鍍膜真空腔中；
2)采用電弧離子鍍方式在待鍍模具表面制備第一層薄膜，第一層薄膜為Mn薄膜，厚度為50～60nm；
3)采用電弧離子鍍方式在第一層薄膜上繼續制備第二層薄膜，第二層薄膜為CrSiZn薄膜，厚度為240～280nm；
4)采用電弧離子鍍方式在第二層薄膜上繼續制備第三層薄膜，第三層薄膜為TiAlSiCN薄膜，厚度為4～5μm；
5)薄膜微噴砂處理，采用Al2O3沙粒對薄膜進行噴砂表面細化處理。
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