[發明專利]一種基于衰減組件的MEMS光纖衰減器

有效

• 申請號: 201611128856.2
• 申請日: 2016-12-09
• 公開（公告）號: CN108614326B
• 公開（公告）日: 2020-05-08
• 發明（設計）人: 吳礪;徐云兵;胡豪成;潘忠靈;李陽;肖鵬
• 申請（專利權）人: 福州高意通訊有限公司
• 主分類號: G02B6/26
• 分類號: G02B6/26;G02B26/08
• 代理公司: 福州君誠知識產權代理有限公司 35211
• 代理人: 余小麗

本發明公開了一種基于衰減組件的MEMS光纖衰減器，其沿光的傳播方向依序包括第一光纖準直器、反射鏡或反射棱鏡、MEMS、衰減組件和第二光纖準直器，MEMS上設有由MEMS驅動旋轉的反射鏡，所述衰減組件包括一對雙折射楔角片或一對雙折射晶體片以及設于該對雙折射楔角片或雙折射晶體片之間的一對雙折射晶體波片；第一光纖準直器接收光束后將光束出射到反射鏡或反射棱鏡上，再反射到MEMS的反射鏡上，經過MEMS的反射鏡反射后的光束進入衰減組件后最終從第二光纖準直器輸出。本發明光纖衰減器的原理是將雙折射晶體波片插入雙折射楔角片或雙折射晶體片之間構成通過入射光角度微小變化產生光強變化的MEMS光纖衰減器，其可以獲得較理想的WDL和PDL性能。

技術領域

本發明涉及光纖通訊領域，尤其涉及一種基于衰減組件的MEMS光纖衰減器。

背景技術

可變光衰減器（VOA, Variable Optical Attenuator）是光通訊網絡中的常用器件，可變光衰減器可以根據光路當中的需要任意衰減需要的光強。MEMS光纖衰減器是可變光衰減器中很常見的一種，該衰減器常用MEMS作為主要控制元件，通過控制MEMS上反射鏡的角度變化引起光束傳播方向變化達到光衰減的目的。

圖1為傳統MEMS光纖衰減器結構示意圖，該衰減器主要由一個雙光纖準直器11和一個MEMS 12構成，光信號經雙光纖準直器11的其中一根光纖進入準直器，通過該雙光纖準直器11將光束準直后出射到MEMS 12的反射鏡上，再經MEMS 12反射鏡反射回到雙光纖準直器11，然后從雙光纖準直器11的另一根光纖耦合輸出。通過控制MEMS 12上反射鏡的旋轉，改變在MEMS 12反射鏡上反射光束的傳播方向（角度）來實現控制光衰減的目的。該MEMS光纖衰減器結構簡單，易于裝配，是最為常見的MEMS光纖衰減器的結構。但是，該MEMS光纖衰減器通常情況下PDL和WDL指標不是特別好，PDL和WDL是可變光衰減器的兩個非常重要的指標，通常情況在20dB衰減下，該MEMS光纖衰減器的PDL會達到0.3dB, WDL會達到0.5dB。

發明內容

為了解決現有技術中的不足，本發明的目的在于提供一種基于衰減組件的MEMS光纖衰減器，所述光纖衰減器采用一對雙折射楔角片或一對雙折射晶體片，雙折射晶體波片插入雙折射楔角片或雙折射晶體片之間構成通過入射光角度微小變化產生光強變化的MEMS光纖衰減器。

為實現上述目的，本發明采用以下技術方案：

一種基于衰減組件的MEMS光纖衰減器，其沿光的傳播方向依序包括第一光纖準直器、反射鏡或反射棱鏡、MEMS、衰減組件和第二光纖準直器，所述MEMS上設有由MEMS驅動旋轉的反射鏡，所述衰減組件包括一對雙折射楔角片或一對雙折射晶體片，以及設于該對雙折射楔角片或雙折射晶體片之間的一對雙折射晶體波片；

所述第一光纖準直器接收光束后將光束出射到反射鏡或反射棱鏡上，光束再經該反射鏡或反射棱鏡反射到MEMS的反射鏡上，經過MEMS的反射鏡反射后的光束進入衰減組件，光束通過衰減組件后最終從第二光纖準直器輸出。

所述第一光纖準直器和第二光纖準直器為兩個單光纖準直器。

所述第一光纖準直器和第二光纖準直器為同一個準直器，該準直器為雙光纖準直器，光束經雙光纖準直器的其中一根光纖進入雙光纖準直器，然后依次經過反射鏡或反射棱鏡、MEMS的反射鏡、衰減組件，最后光束從雙光纖準直器的另一根光纖輸出。

進一步，當所述衰減組件為一對雙折射楔角片以及設于該對雙折射楔角片之間的一對雙折射晶體波片時，所述一對雙折射楔角片的光軸在垂直于光線傳播方向的平面內，兩個雙折射楔角片的光軸呈一定的夾角；所述一對雙折射晶體波片的光軸在垂直于光線傳播方向的平面內，兩個雙折射晶體波片的光軸角度相同并且光軸方向是在兩個雙折射楔角片的光軸夾角的中心線上。