[發明專利]一種基于衰減組件的MEMS光纖衰減器

有效

• 申請號: 201611128856.2
• 申請日: 2016-12-09
• 公開（公告）號: CN108614326B
• 公開（公告）日: 2020-05-08
• 發明（設計）人: 吳礪;徐云兵;胡豪成;潘忠靈;李陽;肖鵬
• 申請（專利權）人: 福州高意通訊有限公司
• 主分類號: G02B6/26
• 分類號: G02B6/26;G02B26/08
• 代理公司: 福州君誠知識產權代理有限公司 35211
• 代理人: 余小麗

1.一種基于衰減組件的MEMS光纖衰減器，其特征在于：其沿光的傳播方向依序包括第一光纖準直器、反射鏡或反射棱鏡、MEMS、衰減組件和第二光纖準直器，所述MEMS上設有由MEMS驅動旋轉的反射鏡，所述衰減組件包括一對雙折射楔角片以及設于該對雙折射楔角片之間的一對雙折射晶體波片；所述一對雙折射楔角片的光軸在垂直于光線傳播方向的平面內，兩個雙折射楔角片的光軸呈一定的夾角；所述一對雙折射晶體波片的光軸在垂直于光線傳播方向的平面內，兩個雙折射晶體波片的光軸角度相同并且光軸方向是在兩個雙折射楔角片的光軸夾角的中心線上；

所述第一光纖準直器接收光束后將光束出射到反射鏡或反射棱鏡上，光束再經該反射鏡或反射棱鏡反射到MEMS的反射鏡上，經過MEMS的反射鏡反射后的光束進入衰減組件，光束通過衰減組件后最終從第二光纖準直器輸出。

2.根據權利要求1所述的一種基于衰減組件的MEMS光纖衰減器，其特征在于： 所述第一光纖準直器和第二光纖準直器為兩個單光纖準直器。

3.根據權利要求1所述的一種基于衰減組件的MEMS光纖衰減器，其特征在于： 所述第一光纖準直器和第二光纖準直器為同一個準直器，該準直器為雙光纖準直器，光束經雙光纖準直器的其中一根光纖進入雙光纖準直器，然后依次經過反射鏡或反射棱鏡、MEMS的反射鏡、衰減組件，最后光束從雙光纖準直器的另一根光纖輸出。

4.根據權利要求1所述的一種基于衰減組件的MEMS光纖衰減器，其特征在于：所述一對雙折射晶體波片分別為Ti0₂晶體和YVO₄晶體。