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[發明專利]一種開方后硅塊的檢測方法在審

專利信息
申請號: 201611115947.2 申請日: 2016-12-07
公開(公告)號: CN106853443A 公開(公告)日: 2017-06-16
發明(設計)人: 俞豪威;梁庭衛 申請(專利權)人: 安徽愛森能源有限公司
主分類號: B07B13/04 分類號: B07B13/04;B07C5/344
代理公司: 六安眾信知識產權代理事務所(普通合伙)34123 代理人: 熊偉
地址: 237200 *** 國省代碼: 安徽;34
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 開方 后硅塊 檢測 方法
【權利要求書】:

1.一種開方后硅塊的檢測方法,其特征在于:該硅塊的檢測方法包括以下步驟:

(1)硅塊材料初步篩選,將開方后的小方錠的篩選的邊寬尺寸為155—157.5mm,將不合尺寸的硅塊篩除,以備后續檢測。

(2)然后對硅塊的表面進行少子壽命測試,且硅塊的表面平整度<0.5mm,測試時,使用WT2000系列測試儀測試非坩堝面,先設置掃描寬度2mm,、尋找9個測試點,然后在硅塊的頂部和底部以少子壽命為0.5μs畫線,然后記錄測試小方錠的少子壽命的平均值。

(3)硅塊材料精篩,通過對小錠的均值進行范圍篩選,將不合格的硅塊小錠進行去除,其中小錠電阻率ρ>0.4ohm.cm,少子壽命局部τ≥0.5μs。

2.根據權利要求1所述的一種開方后硅塊的檢測方法,其特征在于,所述的步驟3中的硅塊材料精篩中對于整個大錠低電阻的電阻率均值ρ<0.2ohm.cm。

3.根據權利要求1所述的一種開方后硅塊的檢測方法,其特征在于,所述的步驟3中的硅塊材料精篩中對于整個大錠少子壽命的少子壽命均值τ≥0.2μs,且單點少子壽命值τ<0.5μs。

4.根據權利要求1所述的一種開方后硅塊的檢測方法,其特征在于,所述的步驟2中對于硅塊的表面進行掃描時的掃描速度設為5s/次,且掃描采集3次。

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