[發(fā)明專利]有機(jī)材料蒸鍍?cè)O(shè)備和方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201611110521.8
• 申請(qǐng)日: 2016-12-02
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN106654058B
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-01-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳黎暄
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 深圳市華星光電技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): H01L51/56
• 分類號(hào): H01L51/56
• 代理公司: 深圳市德力知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 44265
• 代理人: 林才桂

本發(fā)明提供一種有機(jī)材料蒸鍍?cè)O(shè)備和方法。本發(fā)明的有機(jī)材料蒸鍍?cè)O(shè)備，其蒸發(fā)裝置包括蒸發(fā)器皿、及導(dǎo)熱球；所述蒸發(fā)器皿用于承載有機(jī)材料，所述導(dǎo)熱球用于分散在有機(jī)材料中使有機(jī)材料受熱均勻，在蒸鍍過(guò)程中，所述導(dǎo)熱球在有機(jī)材料內(nèi)部均勻傳熱，從而能夠平衡整個(gè)蒸鍍過(guò)程中有機(jī)材料的熱蒸發(fā)速率，有效提高蒸鍍過(guò)程中有機(jī)材料熱蒸發(fā)速率的穩(wěn)定性，進(jìn)而改善基板上的成膜均勻性，提高OLED器件質(zhì)量。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種有機(jī)材料蒸鍍?cè)O(shè)備和方法。

背景技術(shù)

OLED(Organic Light-Emitting Diode，有機(jī)發(fā)光二極管)顯示器，也稱為有機(jī)電致發(fā)光顯示器，是一種新興的平板顯示裝置，由于其具有制備工藝簡(jiǎn)單、成本低、功耗低、發(fā)光亮度高、工作溫度適應(yīng)范圍廣、體積輕薄、響應(yīng)速度快，而且易于實(shí)現(xiàn)彩色顯示和大屏幕顯示、易于實(shí)現(xiàn)和集成電路驅(qū)動(dòng)器相匹配、易于實(shí)現(xiàn)柔性顯示等優(yōu)點(diǎn)，因而具有廣闊的應(yīng)用前景。

在OLED器件的制備過(guò)程中，往往需要利用有機(jī)小分子制備功能層，例如電子傳輸層(Electron Transport Layer，ETL)、空穴傳輸層(Hole Transport Layer，HTL)、空穴阻擋層(Hole Blocking Layer，HBL)、或發(fā)光層(Emitting Layer，EL)。在這類有機(jī)小分子材料的功能層的制備中，目前普遍采用熱蒸鍍的成膜方法，通過(guò)加熱的方式將材料由固態(tài)通過(guò)升華或熔融變?yōu)檎魵鉅顟B(tài)，高速運(yùn)動(dòng)的氣態(tài)分子到達(dá)玻璃基板并在基板上沉積固化，再變回為OLED材料的固體薄膜。具體地，就是將小分子材料置放于例如鎢舟的器皿中，如圖1所示，通過(guò)電加熱裝置110傳遞能量給鎢舟120，再通過(guò)鎢舟120將熱量傳遞給小分子材料200，小分子材料200受熱后，變成氣態(tài)分子跑出鎢舟120，穿過(guò)掩膜板300而沉積在基板400上，形成圖案化的有機(jī)薄膜。

在熱蒸鍍過(guò)程中，小分子材料200熱蒸發(fā)的速度非常重要，因?yàn)檫@關(guān)系到小分子材料200在上方基板400上沉積成膜的均勻性。而由于小分子材料200在鎢舟120這樣的器皿中放置時(shí)，本身的傳熱速率并不快，靠近中心區(qū)域的小分子材料200溫度上升較慢，導(dǎo)致小分子材料200熱蒸發(fā)的速度存在不穩(wěn)定的狀況。同時(shí)，對(duì)于升華型的小分子材料200，隨著加熱的進(jìn)行，升華一定時(shí)間后小分子材料200與鎢舟120壁之間會(huì)形成空隙，空隙形成后，小分子材料200需要加熱到更高的溫度才可以達(dá)到升華的速率，并且還容易發(fā)生塌陷，從而使得熱蒸發(fā)速度劇烈波動(dòng)。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種有機(jī)材料蒸鍍?cè)O(shè)備，蒸發(fā)裝置包括用于分散于有機(jī)材料中而使有機(jī)材料受熱均勻的導(dǎo)熱球，能夠平衡整個(gè)蒸鍍過(guò)程中有機(jī)材料的熱蒸發(fā)速率。

本發(fā)明的目的還在于提供一種有機(jī)材料蒸鍍方法，通過(guò)向有機(jī)材料中摻雜導(dǎo)熱球，改善有機(jī)材料熱蒸發(fā)速率的穩(wěn)定性，進(jìn)而改善基板上的成膜均勻性，提高OLED器件質(zhì)量。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種有機(jī)材料蒸鍍?cè)O(shè)備，包括：加熱裝置、及設(shè)于加熱裝置上的蒸發(fā)裝置；

所述蒸發(fā)裝置包括蒸發(fā)器皿、及導(dǎo)熱球；所述蒸發(fā)器皿用于承載有機(jī)材料，所述導(dǎo)熱球用于分散在有機(jī)材料中使有機(jī)材料受熱均勻。

所述導(dǎo)熱球的粒徑為1μm-100μm。

所述導(dǎo)熱球?yàn)楹藲そY(jié)構(gòu)，包括內(nèi)核體、及包覆內(nèi)核體的導(dǎo)熱層。

所述導(dǎo)熱層為碳納米管層、石墨烯層、或陶瓷層；

所述內(nèi)核體為聚合物微球、或SiO₂微球。

所述導(dǎo)熱層為金屬層，所述內(nèi)核體為SiO₂微球，所述導(dǎo)熱球由熔融的金屬材料均勻地包覆SiO₂微球而制得。

所述導(dǎo)熱球?yàn)榻饘傥⑶颉?/p>

所述蒸發(fā)器皿為鎢舟。